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關(guān)于華虹宏力對功率技術(shù)的投入分析

0oS6_華虹宏 ? 來源:djl ? 2019-10-18 10:18 ? 次閱讀
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開展首日,來自華虹宏力研發(fā)部門的邢軍軍科長便已在“第二屆(上海)電源半導(dǎo)體技術(shù)論壇”以“深耕卓越功率技術(shù),智造綠色‘芯’未來”為題火熱開講,讓我們一起走進(jìn)現(xiàn)場吧!

IC China2017現(xiàn)場新聞速遞:

華虹宏力是全球首家、最大的功率器件8英寸代工廠,在生產(chǎn)功率器件方面擁有15年的良好往績,可提供全電壓解決方案,更是業(yè)內(nèi)首個擁有深溝槽超級結(jié)(Deep Trench Super Junction,DT-SJ)及場截止型IGBT(Field Stop,F(xiàn)S IGBT)工藝平臺的200mm代工廠。目前,華虹宏力在加速研發(fā)適用于高端工業(yè)及新能源汽車的IGBT技術(shù)。

IGBT技術(shù)隨著綠色能源、工業(yè)4.0及新能源汽車等市場的發(fā)展,需求日益旺盛,引起了業(yè)界廣泛關(guān)注。華虹宏力擁有國內(nèi)最全、最先進(jìn)的全套IGBT背面制程代工技術(shù),可生產(chǎn)技術(shù)性能與國際領(lǐng)先者的產(chǎn)品相比肩的場截止型IGBT。邢軍軍科長表示:“通過設(shè)備升級、改造,華虹宏力成功配置了一整套IGBT超薄片(可生產(chǎn)至60微米薄片)背面工藝/測試生產(chǎn)線,成功實現(xiàn)量產(chǎn)。配合獨特的激光退火工藝用于背面注入雜質(zhì)激活,大大提高背面注入雜質(zhì)的激活率?!贝送?,華虹宏力的IGBT采用了FS/SPT/LPT(軟穿通)縱向結(jié)構(gòu)器件及溝槽柵柵結(jié)構(gòu),有效降低了損耗和降低生產(chǎn)成本。

超級結(jié)產(chǎn)品作為一種新型的功率型MOSFET結(jié)構(gòu),擁有極低的傳導(dǎo)損耗和極快的開關(guān)速度,在工業(yè)電源、逆變器、快速充電器、電動車充電樁等傳統(tǒng)和新興領(lǐng)域有著諸多應(yīng)用。華虹宏力獨特的、富有競爭力的DT-SJ工藝享有加工周期短,費用低,光罩層數(shù)少(一般8~9層photo layer)等顯著優(yōu)勢?!敖衲昴瓿?,華虹宏力又推出了第三代 Super Junction平臺。”邢軍軍科長介紹道,“該平臺每單元區(qū)域?qū)娮瑁?a href="http://m.makelele.cn/tags/rs/" target="_blank">Rsp)為1.2ohm.m㎡,技術(shù)參數(shù)達(dá)到了業(yè)界一流水平。”華虹宏力還將深耕超級結(jié)技術(shù),持續(xù)往高耐壓(~1000V)/大電流(~40A)驅(qū)動方向發(fā)展,延續(xù)其“全球功率器件領(lǐng)導(dǎo)者”的戰(zhàn)略布局。

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