全球領(lǐng)先的200mm純晶圓代工廠──華虹半導(dǎo)體有限公司（「華虹半導(dǎo)體」或「公司」，連同其附屬公司，統(tǒng)稱「集團(tuán)」，股份代號(hào)：1347）與麗恒光微電子科技有限公司（「麗恒光微」）今日共同宣布，聯(lián)合推出全球最小氣壓計(jì)PS3606，其采用華虹半導(dǎo)體創(chuàng)新的MEMS制造技術(shù)和麗恒光微的單芯片集成傳感器方案設(shè)計(jì)，整個(gè)傳感器產(chǎn)品尺寸1.1毫米x0.9毫米，厚度僅為0.45毫米。該產(chǎn)品也是全球第一款采用晶圓級(jí)封裝的單芯片集成氣壓計(jì)。

麗恒光微基于華虹半導(dǎo)體200mm CMOS-MEMS工藝平臺(tái)研發(fā)生產(chǎn)的PS3606，采用業(yè)界最先進(jìn)的晶圓級(jí)封裝技術(shù)，封裝尺寸全球最小，并且憑借晶圓級(jí)封裝技術(shù)優(yōu)勢(shì)，極大程度上降低了產(chǎn)品的封裝成本和測(cè)試成本。同時(shí)，該款高性能氣壓計(jì)采用了麗恒光微獨(dú)創(chuàng)的CMOS-MEMS單芯片集成方案，具有測(cè)量精確度高、系統(tǒng)穩(wěn)定性好、抗干擾能力強(qiáng)等眾多優(yōu)點(diǎn)。產(chǎn)品完全擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，成為自主可控國(guó)產(chǎn)傳感器的杰出代表。

PS3606主要參數(shù)：

氣壓量程： 30~110kPa；

封裝形式：晶圓級(jí)封裝8-pin，封裝尺寸1.1 x 0.9x 0.45 mm3；

絕對(duì)精度： +/- 0.1kPa（95~105kPa，0~40℃）；

最小分辨率：1Pa（95~105kPa，25℃）；

溫度傳感器精度： +/- 0.1℃。

PS3606于今年四月份開始樣本出貨并進(jìn)行客戶推廣，預(yù)計(jì)今年下半年投入量產(chǎn)，該芯片將廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、無(wú)人機(jī)、空氣凈化器、智能可穿戴設(shè)備等電子產(chǎn)品市場(chǎng)。

華虹半導(dǎo)體執(zhí)行副總裁傅城博士表示：「MEMS傳感器正日益滲入到車聯(lián)網(wǎng)、智能家居、智能城市乃至整個(gè)物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用中，而中國(guó)已成為全球增長(zhǎng)最快的MEMS市場(chǎng)。目前華虹半導(dǎo)體正積極布局智能傳感器，并將MEMS列為公司新的發(fā)展戰(zhàn)略規(guī)劃之一。該款產(chǎn)品的推出，標(biāo)志著華虹半導(dǎo)體在發(fā)展MEMS器件與標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝及生產(chǎn)線全兼容的方向上又邁進(jìn)了一步，公司的MEMS工藝技術(shù)在尺寸和性能上達(dá)到全新的高度。這將對(duì)消費(fèi)電子、可穿戴電子設(shè)備和物聯(lián)網(wǎng)市場(chǎng)的應(yīng)用發(fā)展起到推動(dòng)性作用?！?/p>

麗恒光微總經(jīng)理毛劍宏表示：「麗恒光微在MEMS領(lǐng)域深耕多年，擁有獨(dú)創(chuàng)的CMOS-MEMS單芯片集成傳感器技術(shù)——CeMEMS（授權(quán)技術(shù)商標(biāo)），并且掌握完備的核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，包括已授權(quán)和獲準(zhǔn)申請(qǐng)專利超過(guò)160件，具有全球可持續(xù)性技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。麗恒光微結(jié)合自身發(fā)展特點(diǎn)和市場(chǎng)需求，充分利用上下游產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)，成功串聯(lián)起從MEMS傳感器設(shè)計(jì)到芯片制造以及封裝測(cè)試等一條完整的MEMS傳感器產(chǎn)品供應(yīng)鏈。氣壓計(jì)PS3606是麗恒光微推出的第三款氣壓計(jì)系列產(chǎn)品，未來(lái)將推出更多新產(chǎn)品，滿足市場(chǎng)多元化需求?！?/p>