“中國是我們?nèi)蚪陙碓鏊僮羁斓牡貐^(qū)，即使在全球半導(dǎo)體行業(yè)不景氣的情況下，中國市場仍增長明顯?！卑雽?dǎo)體材料廠商Entegris（應(yīng)特格）執(zhí)行副總裁及首席運(yùn)營官Todd Edlund近日接受第一財(cái)經(jīng)等記者采訪時(shí)表示，未來將在中國不斷加強(qiáng)投資，根植中國的半導(dǎo)體行業(yè)。

近日，Entegris在上海的中國技術(shù)中心正式落成運(yùn)營，將能夠更快響應(yīng)中國客戶的分析和應(yīng)用需求。Todd告訴記者，“在沒有建立中國技術(shù)中心之前，如果我們想對(duì)化學(xué)品、過濾器進(jìn)行測試，要運(yùn)到國外的技術(shù)中心，等出了結(jié)果后再帶回給中國客戶，這往往要耗費(fèi)幾周時(shí)間，但該技術(shù)中心建立后，這項(xiàng)工作的完成可以按天來計(jì)算，而不再是按周算?！?/p>

Entegris是為半導(dǎo)體和其他高科技行業(yè)提供特殊化學(xué)品和先進(jìn)材料解決方案的企業(yè)。半導(dǎo)體材料主要應(yīng)用于晶圓制造與芯片封裝環(huán)節(jié)，是制約良率的關(guān)鍵因素之一。

材料重要性凸顯

半導(dǎo)體制造涉及數(shù)百個(gè)高度復(fù)雜和敏感的制造步驟。從晶圓裸片到芯片成品，中間需要經(jīng)過氧化、濺鍍、光刻、刻蝕、離子注入以及封裝等上百道特殊的工藝步驟。Entegris通過提供工藝步驟中使用的特種材料和化學(xué)品為半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)服務(wù)，提供廣泛的產(chǎn)品來監(jiān)控、保護(hù)、運(yùn)輸和交付這些關(guān)鍵工藝材料，并在整個(gè)制造過程中提供凈化液體化學(xué)和氣體的系統(tǒng)制造過程。

隨著晶圓技術(shù)的進(jìn)步，污染物的控制仍然是提高半導(dǎo)體性能的最大挑戰(zhàn)之一。Todd指出，從28納米到7納米的邏輯芯片，金屬雜質(zhì)的密度已經(jīng)下降了1000%，對(duì)于晶圓致命顆粒的尺寸也縮小了近400%。

“一旦污染控制不好，良率就很難提升。其中包括干凈的化學(xué)品從原材料變成成品化學(xué)品，到把它發(fā)貨給客戶，用于晶圓生產(chǎn)整個(gè)過程。對(duì)于原材料供應(yīng)鏈來說，往往從起點(diǎn)到終點(diǎn)，到用戶使用，時(shí)間跨度幾個(gè)月甚至跨大陸，所以鏈條比較長，就會(huì)導(dǎo)致發(fā)生污染的機(jī)會(huì)變得尤其多。”Entegris高級(jí)副總裁及首席技術(shù)官Jim ONeill告訴第一財(cái)經(jīng)記者。

而對(duì)于半導(dǎo)體制造商而言，良率九成和九五成相差巨大。Todd表示，對(duì)于3D NAND晶圓廠而言，1%的良率提高可能意味著每年1.1億美元的凈利潤；而對(duì)于尖端的邏輯晶圓廠而言，1%的良率提升意味著1.5億美元的凈利潤?！靶〉娜毕輹?huì)造成良率損失，哪怕很小的缺陷，影響的不只是良率，還會(huì)影響可靠度。以汽車行業(yè)為例，自動(dòng)駕駛的車輛對(duì)于可靠度的要求是史無前例的?！?/p>

方正證券一份研報(bào)指出，從行業(yè)競爭格局看，全球半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)依然由日、美、韓、德等國家占據(jù)絕對(duì)主導(dǎo)，國產(chǎn)半導(dǎo)體材料的銷售規(guī)模占全球比重不到5%，從整體技術(shù)水平和銷售規(guī)模來看，國產(chǎn)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)和海外化工及材料龍頭仍存在較大差距。

中國也在發(fā)展自己的半導(dǎo)體材料行業(yè)，半導(dǎo)體材料和設(shè)備也將是國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金二期支持的重點(diǎn)。對(duì)于中國半導(dǎo)體材料行業(yè)的發(fā)展，Jim認(rèn)為，最重要的一個(gè)挑戰(zhàn)是工程材料，“尤其是對(duì)高性能的材料、高純度的材料還有缺陷的控制，這幾個(gè)技術(shù)問題不解決，半導(dǎo)體整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈也發(fā)展不起來。當(dāng)然最關(guān)鍵還是人才，有技能的人才太重要了?！?/p>

扎根中國

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正向中國大陸轉(zhuǎn)移，也吸引著Entegris等外企加大在華投資。

此次上海的技術(shù)中心配備了四大實(shí)驗(yàn)室：微污染物控制應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室、先進(jìn)材料處理應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室、表面處理和集成應(yīng)用（SPI）實(shí)驗(yàn)室、分析和計(jì)量實(shí)驗(yàn)室。據(jù)記者了解，該技術(shù)中心的檢測標(biāo)準(zhǔn)與其他海外標(biāo)準(zhǔn)一致，采購的設(shè)備基本都是最先進(jìn)的。

在提到為何落戶上海時(shí)，Todd指出，上海有中國最先進(jìn)的半導(dǎo)體制造業(yè)，而且上海地區(qū)客戶數(shù)量，包括有決策能力的客戶數(shù)量以及客戶部署工程的能力也是最強(qiáng)的。而上海半導(dǎo)體行業(yè)的人才儲(chǔ)備也是該公司最為看重的。

Todd告訴記者，Entegris兩三年以前就在制定本地化策略，旨在提高項(xiàng)目實(shí)施的速度，可以更好地滿足客戶需求的速度。以故障分析為例，中國技術(shù)中心成立后，故障分析從三個(gè)月縮短為兩周。

Entegris在2018年度財(cái)報(bào)中表示，可能刺激行業(yè)增長的一個(gè)因素便是中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展。近年來，中國開始建造的晶圓廠達(dá)到歷史新高，該公司預(yù)計(jì)中國半導(dǎo)體行業(yè)的大量投資將繼續(xù)，預(yù)計(jì)未來幾年，包括本地和跨國公司將創(chuàng)建超過10個(gè)新的晶圓廠項(xiàng)目。

財(cái)報(bào)中還提到，除了新建產(chǎn)線，中國現(xiàn)有的晶圓廠也正致力于快速提升其制造最新一代先進(jìn)制程產(chǎn)品的能力。

根據(jù)SEMI（國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)）數(shù)據(jù)，預(yù)計(jì)2017年到2020年間，全球投產(chǎn)的晶圓廠約62座，其中26座位于中國，占全球總數(shù)的42%。整個(gè)產(chǎn)業(yè)的擴(kuò)張無疑將增加對(duì)上游材料產(chǎn)品的需求。
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