在先進(jìn)半導(dǎo)體工藝上，國(guó)內(nèi)最大的晶圓代工廠中芯國(guó)際SMIC的14nm工藝已經(jīng)量產(chǎn)，改進(jìn)版的 12nm工藝也在導(dǎo)入中，取得了優(yōu)秀的成績(jī)?？紤]到國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工藝上的落后，光指望中芯國(guó)際一家也是不行的，上海華虹集團(tuán)日前透露其14nm FinFET工藝也全線貫通，SRAM良率已達(dá)25%。

1月12日下午，，華虹集團(tuán)在無錫新落成的華虹七廠研發(fā)大樓召開“開放、創(chuàng)新、合作—華虹集團(tuán)2020年全球供應(yīng)商迎新座談會(huì)”，邀請(qǐng)了國(guó)內(nèi)30多家、國(guó)外50多家供應(yīng)商合作伙伴出席，華虹集團(tuán)高管分享了該公司的最新進(jìn)展。

華虹方面表示，2019年是華虹集團(tuán)產(chǎn)能擴(kuò)張、工藝提升的關(guān)鍵年，該公司多個(gè)項(xiàng)目都取得了重要進(jìn)展：

·作為華虹集團(tuán)在上海市域以外的第一個(gè)制造項(xiàng)目，華虹七廠于9月17日實(shí)現(xiàn)順利投產(chǎn)，首期1萬片產(chǎn)能的機(jī)臺(tái)順利串線并完成一系列工藝驗(yàn)證，進(jìn)入正常生產(chǎn)階段，創(chuàng)造了業(yè)界同類產(chǎn)線建成投產(chǎn)的最快記錄，成為中國(guó)大陸第一條12英寸特色工藝產(chǎn)線，也是中國(guó)大陸第一條12英寸功率器件代工產(chǎn)線；

·華虹六廠自2018年10月18日投產(chǎn)以來，產(chǎn)能爬坡順利，目前已經(jīng)完成月產(chǎn)2萬片的裝機(jī)產(chǎn)能；

·華虹五廠實(shí)現(xiàn)連續(xù)兩年盈利，年度出貨量、單日作業(yè)量屢創(chuàng)新高；

·華虹宏力8英寸特色工藝制造平臺(tái)（華虹一、二、三廠）在產(chǎn)能規(guī)模、營(yíng)運(yùn)效率方面持續(xù)保持領(lǐng)先，并連續(xù)9年實(shí)現(xiàn)盈利。

華虹集團(tuán)成為業(yè)界唯一一家連續(xù)兩年建設(shè)并投產(chǎn)運(yùn)營(yíng)兩條12英寸生產(chǎn)線的企業(yè)

除了產(chǎn)能建設(shè)之外，華虹集團(tuán)在技術(shù)研發(fā)上也獲得了多項(xiàng)重要突破，新研發(fā)的65/55納米節(jié)點(diǎn)得射頻和BCD特色工藝平臺(tái)，處于國(guó)際先進(jìn)水平；28納米工藝（28LP/28HK/28HKC+）均實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)；22納米研發(fā)快速推進(jìn)；14納米研發(fā)或重大進(jìn)展；更先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的先導(dǎo)工藝研發(fā)快速部署。

尤其是最新一代的工藝，華虹集團(tuán)總工程師趙宇航指出其14nm FinFET工藝已經(jīng)全線貫通，SRAM良率25%，2020年將快速推進(jìn)。

這也是華虹集團(tuán)首次對(duì)外公布14nm工藝的具體良率情況，SRAM芯片的25%良率對(duì)生產(chǎn)來說肯定不行，但是對(duì)研發(fā)、實(shí)驗(yàn)來說已經(jīng)是一大進(jìn)步。

在總體進(jìn)度上，華虹的14nm工藝肯定是不如中芯國(guó)際的14nm快的，后者的14nm工藝去年良率就達(dá)到了95%，并已經(jīng)開始進(jìn)入量產(chǎn)階段，比國(guó)家預(yù)定目標(biāo)提前一年，現(xiàn)在正在產(chǎn)能提升及新工藝導(dǎo)入階段。

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