中芯國(guó)際表示深圳工廠進(jìn)口光刻機(jī)不是EUV光刻機(jī)
IT之家3月6日消息 據(jù)中國(guó)證券報(bào)報(bào)道，3月6日下午從中芯國(guó)際獲悉，日前中芯國(guó)際深圳工廠從荷蘭進(jìn)口了一臺(tái)大型光刻機(jī)，但這是設(shè)備正常導(dǎo)入，用于產(chǎn)能擴(kuò)充，并非外界所稱的EUV光刻機(jī)。
IT之家今天早些時(shí)候報(bào)道，3月4日早上8點(diǎn)不到，中芯國(guó)際集成電路制造（深圳）有限公司從從荷蘭進(jìn)口的一臺(tái)大型光刻機(jī)順利通過(guò)出口加工區(qū)場(chǎng)站兩道閘口進(jìn)入廠區(qū)，這臺(tái)機(jī)器主要用于企業(yè)復(fù)工復(fù)產(chǎn)后的生產(chǎn)線擴(kuò)容。
據(jù)IT之家獲悉，EUV光刻機(jī)主要用于7nm及以下制程。中芯國(guó)際目前量產(chǎn)的最先進(jìn)制程為第一代FinFET 14nm，已貢獻(xiàn)2019年第四季度1%營(yíng)收。
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