株式會社村田制作所（以下簡稱本公司）研發(fā)了能支持要求達到ASIL D(1)的系統(tǒng)的6軸一體封裝、3D MEMS慣性力傳感器“SCHA600系列”（以下簡稱本產品），并計劃于2020年12月底開始批量生產。

(1) 指Automotive Safety Integrity Level（車輛安全完整性等級）。一般按A < B < C < D的順序，要求高水準安全措施。

近年來汽車行業(yè)因高級駕駛輔助系統(tǒng)（ADAS）的高精度化，需要在只靠全球衛(wèi)星導航系統(tǒng)（GNSS）無法定位的隧道里、橋梁下也能精確檢測車輛位置的傳感器技術。本產品充分運用本公司獨家3D MEMS技術(2)，定位精確度能達到誤差數(shù)十厘米的水準，為高級駕駛輔助系統(tǒng)（ADAS）、自動駕駛等各系統(tǒng)的高精度化做貢獻。

(2) 即靜電容量型3D MEMS (3維微機電系統(tǒng))。將硅材料加工成3維結構，實現(xiàn)了傳感器精度優(yōu)異、組件尺寸小、功耗低。

產品的特點

1. 為車載系統(tǒng)高性能化和提高設計自由度做貢獻

由獨家3DMEMS結構，實現(xiàn)了優(yōu)秀的偏壓穩(wěn)定性、低噪、高抗振性能

將3軸角速度和加速度一體封裝，能夠隨意設置

2. 自我診斷功能(3)

失效安全功能是本產品的特點，它運用參考信號進行監(jiān)控，檢測通信異常、檢驗bit錯誤的校驗以及飽和、超出額定范圍等異常信號。已取得專利的本公司的自我診斷功能可以對MEMS元件內部工作情況至整個信號電路是否正常工作進行驗證。

(3) 自我檢測異常進行診斷，并通過輸出進行通知的功能

3. 為車載系統(tǒng)的安全性做貢獻

本6軸慣性力傳感器符合ASIL D功能安全開發(fā)的ISO26262符合AEC-Q100(4)標準

(4) Automobile Electronics Council（汽車電子協(xié)會）規(guī)定的集成電路和IC的業(yè)界標準

主要技術規(guī)格

主要用途

本產品以環(huán)境條件嚴酷，需要更高性能傳感器的下列用途為對象。

高級駕駛輔助系統(tǒng)（ADAS）

自動駕駛（AD）

車道保持輔助系統(tǒng)（LKA）

航位推算法