隨著物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)在工業(yè)領(lǐng)域中的應(yīng)用，工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)成為發(fā)展的方向和趨勢(shì)。氣體流量參數(shù)是工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)實(shí)驗(yàn)計(jì)量和各種經(jīng)濟(jì)核算所必須的重要數(shù)據(jù)，是能源計(jì)量的重要組成部分。在工業(yè)自動(dòng)化程度方面的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。而當(dāng)今時(shí)代，氣體流量傳感器在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中的作用越來(lái)越明顯：比如天然氣、冶金、礦山、石油、航空、工業(yè)包裝、工業(yè)潔凈等領(lǐng)域都有氣體流量傳感器的身影。下面帶大家了解一下流量傳感器在工業(yè)領(lǐng)域中的相關(guān)應(yīng)用吧。

測(cè)量流體流量的儀表統(tǒng)稱為流量計(jì)或流量表，是工業(yè)測(cè)量中重要的儀表之一。流體流量的測(cè)量在工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)和過(guò)程控制中占有重要地位。流體大致分為液態(tài)和氣態(tài)兩種介質(zhì)，對(duì)這兩種介質(zhì)測(cè)量的關(guān)鍵零部件就是流量傳感器。

通過(guò)氣體流量的測(cè)量，人們可以掌握流動(dòng)過(guò)程、進(jìn)行生產(chǎn)工藝的自動(dòng)控制、實(shí)施能源管理。在先進(jìn)的精密制造車(chē)間，比如晶圓、精密儀器制造等都需要在潔凈車(chē)間里進(jìn)行生產(chǎn)。而潔凈車(chē)間的空氣，必須達(dá)到千級(jí)，甚至百級(jí)的潔凈度才能滿足生產(chǎn)的要求。封閉的潔凈車(chē)間需要每天置換潔凈的空氣。這就需要流量傳感器進(jìn)行自動(dòng)監(jiān)測(cè)和控制，既能滿足生產(chǎn)的需要，又能控制不必要的過(guò)度能源消耗，有效提高投入產(chǎn)出比。美國(guó)Siargo 氣體質(zhì)量流量傳感器 － FS4001使用siargo專有的MEMS流量傳感器與封裝技術(shù)。該傳感器的測(cè)量范圍是0～ 30 sccm到0 ～ 1000 sccm。每個(gè)模型的流量是通過(guò)專門(mén)設(shè)計(jì)的封裝，以及智能電子產(chǎn)品，以便達(dá)到適宜的靈敏度。

該包裝盒是由化學(xué)惰性和熱穩(wěn)定的聚碳酸酯材料制成的。壓力等級(jí)較高是5BAR（73 PSI），受益于siargo獨(dú)特的MEMS芯片結(jié)構(gòu)、特殊包裝技術(shù)和堅(jiān)固耐用的傳感器外殼?？捎糜趶V泛的應(yīng)用范圍包括儀器（如氣相色譜質(zhì)譜法）、泄漏檢測(cè)、過(guò)程控制、氣體流量計(jì)量以及醫(yī)療應(yīng)用。FS4001需要8 ～ 24 VDC電源提供一個(gè)模擬和／或數(shù)字用戶接口。模擬輸出是線性的從0．5到4．5 VDC從0到滿刻度流量相應(yīng)。數(shù)字輸出是通過(guò)RS232傳輸。RS232通信協(xié)議可以在本手冊(cè)中找到。

其次根據(jù)工業(yè)用途的不同，應(yīng)用的傳感器可分為流量與微流量?jī)煞N。比如需要添加氧氣進(jìn)行催化反應(yīng)、薯片包裝的氮?dú)馓畛涞?，都要進(jìn)行微流量控制，以便達(dá)到理想的監(jiān)控效果。工采網(wǎng)提供的微流量傳感器 － F1031是利用熱力學(xué)原理對(duì)流道中的氣體介質(zhì)進(jìn)行流量檢測(cè)，具有很好的精度與重復(fù)性。F1031微流量傳感器內(nèi)置有溫度傳感器，每只都進(jìn)行專有的溫度補(bǔ)償校準(zhǔn)；同時(shí)具有線性模擬電壓輸出，方便使用。

芯片是由兩個(gè)熱偶堆和一個(gè)加熱電阻組成：熱偶堆對(duì)稱地分布在加熱電阻的上、下游；加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié)處于一個(gè)隔熱底座上。加熱電阻對(duì)熱偶堆的熱結(jié)加熱。熱偶堆熱結(jié)和冷結(jié)之間的溫度梯度導(dǎo)致輸出電壓，即本征塞貝克效應(yīng)。加熱電阻兩側(cè)的等溫線，當(dāng)流體靜止時(shí)，等溫線沿垂直加熱電阻中部的直線對(duì)稱分布，加熱電阻兩側(cè)對(duì)稱位置的溫度是相同的。當(dāng)流體從左向右流動(dòng)時(shí)，等溫線向右側(cè)傾斜。加熱電阻兩側(cè)對(duì)稱位置的溫度不再相同。溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測(cè)定。由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān)，因此傳感器可直接測(cè)出流體質(zhì)量流量。

此外，還有需要氮?dú)狻睔?、惰性氣體等進(jìn)行生產(chǎn)的工業(yè)用品，這些都離不開(kāi)氣體流量傳感器進(jìn)行測(cè)量監(jiān)控，工采網(wǎng)提供的FS4000系列質(zhì)量流量傳感器是采用的微機(jī)電系統(tǒng)流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù)，為普通氣體流量監(jiān)測(cè)開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測(cè)量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）。FS4003氣體質(zhì)量流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測(cè)量范圍到5SLPM；適用于粒子計(jì)數(shù)器和各類(lèi)分析儀器。FS4008氣體質(zhì)量流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測(cè)量范圍到50SLPM；可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測(cè)，如：空氣采樣機(jī)，氣體分析儀等。

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