奧松電子的絕對(duì)濕度傳感器專利，使得熱敏電阻迅速感應(yīng)到空氣濕度的變化，進(jìn)而提高了其本身的響應(yīng)速度，大大增強(qiáng)了絕對(duì)濕度傳感器的靈敏度。

近日廣州奧松電子新型MEMS半導(dǎo)體傳感器芯片生產(chǎn)線正式投入運(yùn)營(yíng)，從成立至今的短短7年里，該公司在溫濕度傳感器、氣體傳感器等多個(gè)傳感器領(lǐng)域有所建樹(shù)。

日常生活中，空氣中的水蒸氣的含量不但會(huì)影響空氣的濕度，而且會(huì)使空氣出現(xiàn)潮濕或者干燥的現(xiàn)象。絕對(duì)濕度傳感器正是用來(lái)測(cè)量空氣真實(shí)的干濕程度，但市面上絕對(duì)濕度傳感器部分的工藝是采用玻璃密封熱敏電阻作為濕度感應(yīng)原件。

因?yàn)槠涔に嚱Y(jié)構(gòu)的影響，導(dǎo)致熱敏電阻對(duì)外界溫度的響應(yīng)非常緩慢，加熱至穩(wěn)定的時(shí)間甚至需要數(shù)十秒鐘，而且正常使用中由于其響應(yīng)速度偏慢，所以靈敏度較低。

為此，奧松電子申請(qǐng)了一項(xiàng)名為“絕對(duì)濕度傳感器、熱敏電阻及熱敏電阻的制作方法”的發(fā)明專利（申請(qǐng)?zhí)枺?01711494556.0），申請(qǐng)人為廣州奧松電子有限公司。

圖1 絕對(duì)濕度傳感器的結(jié)構(gòu)框圖

絕對(duì)濕度傳感器的結(jié)構(gòu)框圖如上圖1所示，它主要包括分別位于左右兩側(cè)的第一測(cè)量單元和第二測(cè)量單元。1至4分別代表水分子、第一外殼、熱敏電阻以及第二外殼，其中第一外殼2為非封閉外殼設(shè)置一窗口，使得熱敏電阻3部分裸露在外殼外，進(jìn)而通過(guò)該窗口與空氣中的水分子1接觸。

在絕對(duì)濕度傳感器工作狀態(tài)時(shí)，將絕對(duì)濕度傳感器通電，使第一測(cè)量單元與第二測(cè)量單元流過(guò)相同的電流，初始時(shí)兩個(gè)測(cè)量單元中的熱敏電阻阻值相同。而第一測(cè)量單元中的熱敏電阻3通過(guò)與空氣中的水分子1直接接觸，使阻值發(fā)生變化，計(jì)算此時(shí)第一測(cè)量單元中的熱敏電阻3的阻值，并將該阻值與第二測(cè)量單元中的熱敏電阻3的阻值進(jìn)行對(duì)比，計(jì)算兩者的差值。最后將阻值差通過(guò)算法換算成實(shí)時(shí)的空氣絕對(duì)濕度變化，從而計(jì)算出空氣中水蒸氣的密度。

圖2 絕對(duì)濕度傳感器中熱敏電阻的制作方法

上圖2是絕對(duì)濕度傳感器中熱敏電阻制作方法的流程圖，首先，將晶圓基板進(jìn)行熱氧化（S1），然后通過(guò)低壓化學(xué)氣相沉積法，在進(jìn)行熱氧化后的基板表面生長(zhǎng)一層絕緣膜（S2）。接著，在絕緣膜層刻蝕出掩膜，將掩膜覆蓋在絕緣膜層上非微熱板層的區(qū)域（S3），并根據(jù)磁控濺射在覆蓋有掩膜的絕緣層上鍍制一層微熱板層，鍍制完成后剝離掩膜使微熱板層不會(huì)完全覆蓋絕緣層（S4），再在絕緣層以及微熱板層上鍍一層保護(hù)層（S5）。最后則是采用砂輪切割上述基板，得到電阻單元，將其經(jīng)過(guò)固晶、打線以獲得單個(gè)的熱敏電阻（S6）。通過(guò)上述方法生產(chǎn)熱敏電阻，生產(chǎn)周期端，產(chǎn)量高，體積小。

簡(jiǎn)而言之，奧松電子的絕對(duì)濕度傳感器專利，使得熱敏電阻迅速感應(yīng)到空氣濕度的變化，進(jìn)而提高了其本身的響應(yīng)速度，大大增強(qiáng)了絕對(duì)濕度傳感器的靈敏度。

奧松電子作為國(guó)內(nèi)一流濕度傳感器生產(chǎn)制造基地，不僅技術(shù)力量雄厚，而且十分注重產(chǎn)品研發(fā)，多次與國(guó)內(nèi)外科研機(jī)構(gòu)建立合作事宜，同時(shí)也為我國(guó)濕度檢測(cè)技術(shù)的進(jìn)步做出了大量的貢獻(xiàn)。

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