氣動執(zhí)行器是用氣壓力驅(qū)動啟閉或調(diào)節(jié)閥門的執(zhí)行裝置，又被稱氣動執(zhí)行機構(gòu)或氣動裝置，不過一般通俗的稱之為氣動頭。在現(xiàn)代自動化、智能化工廠中，特別是在氣體傳輸技術(shù)領(lǐng)域中，氣動執(zhí)行器得到了廣泛的應(yīng)用，為實際應(yīng)用生產(chǎn)發(fā)揮著極為重要的作用。

氣動執(zhí)行器通常用于控制需要快速和準(zhǔn)確響應(yīng)的過程，因為它們不需要大量的動力。然而，當(dāng)需要大量的力來操作閥門（例如，主蒸汽系統(tǒng)閥門］）時，通常使用氣壓致動器。雖然氣動執(zhí)行器有許多設(shè)計，但活塞類型最常見。而在現(xiàn)有的氣動執(zhí)行器在實際應(yīng)用中，當(dāng)氣動執(zhí)行器因自身故障而造成氣流堵塞時，由于氣動執(zhí)行器本身沒有檢測報警裝置，因而無法及時提醒工作人員發(fā)現(xiàn)故障，容易造成生產(chǎn)的安全隱患。

為解決上述問題需要一種能夠在實際應(yīng)用中實時檢測氣流輸送狀態(tài)的氣體流量檢測裝置，以便及時發(fā)現(xiàn)故障進行處理，從而及時消除安全隱患。氣體流量傳感器 － FS5001L來檢測氣流輸送狀態(tài)的氣體流量。

FS5001L系列氣體流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。傳感器采用標(biāo)貼式安裝，使安裝尺寸更加緊湊，可以很容易的實現(xiàn)在小空間內(nèi)的多傳感器集成。

FS5001L氣體流量傳感器產(chǎn)品特點

傳感器靈敏度高，有極小的始動流量

表貼式安裝，結(jié)構(gòu)緊湊

多種信號輸出

零點穩(wěn)定度高

全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性

低功耗、低壓損

FS5001L氣體流量傳感器機械尺寸

FS5001L氣體流量傳感器技術(shù)參數(shù)

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