91欧美超碰AV自拍|国产成年人性爱视频免费看|亚洲 日韩 欧美一厂二区入|人人看人人爽人人操aV|丝袜美腿视频一区二区在线看|人人操人人爽人人爱|婷婷五月天超碰|97色色欧美亚州A√|另类A√无码精品一级av|欧美特级日韩特级

0
  • 聊天消息
  • 系統(tǒng)消息
  • 評(píng)論與回復(fù)
登錄后你可以
  • 下載海量資料
  • 學(xué)習(xí)在線課程
  • 觀看技術(shù)視頻
  • 寫文章/發(fā)帖/加入社區(qū)
會(huì)員中心
創(chuàng)作中心

完善資料讓更多小伙伴認(rèn)識(shí)你,還能領(lǐng)取20積分哦,立即完善>

3天內(nèi)不再提示

介紹一種基于光學(xué)等厚干涉原理的拼接鏡面邊緣傳感器新方案

MEMS ? 來(lái)源:《光學(xué)學(xué)報(bào)》 ? 作者:左恒 ? 2021-06-29 09:25 ? 次閱讀
加入交流群
微信小助手二維碼

掃碼添加小助手

加入工程師交流群

建造更大口徑的天文光學(xué)望遠(yuǎn)鏡一直是天文光學(xué)技術(shù)的重點(diǎn)研究方向。但是,隨著鏡面尺寸的增大,也會(huì)帶來(lái)制造、加工、裝調(diào)等技術(shù)方面的難題。主動(dòng)光學(xué)拼接鏡面技術(shù)是突破傳統(tǒng)單鏡面光學(xué)望遠(yuǎn)鏡口徑限制的一個(gè)有效方法:將大鏡面采用大量小鏡面拼接而成,不僅能解決制造上的技術(shù)難題,還可以節(jié)約成本。由中國(guó)科學(xué)院南京天文光學(xué)技術(shù)研究所作為主要研制單位承擔(dān)的國(guó)家九五重大科學(xué)工程郭守敬望遠(yuǎn)鏡(LAMOST),是我國(guó)目前口徑最大的地基大視場(chǎng)光學(xué)望遠(yuǎn)鏡,擁有“光譜之王”和“世界光譜工廠”等眾多美譽(yù),在世界上引領(lǐng)了大規(guī)模光譜巡天的國(guó)際潮流。LAMOST創(chuàng)新性地開辟和發(fā)展了具有中國(guó)獨(dú)立知識(shí)自主產(chǎn)權(quán)的新型主動(dòng)光學(xué)技術(shù),在國(guó)際上首先發(fā)明和實(shí)現(xiàn)在同一鏡面上同時(shí)應(yīng)用薄鏡面主動(dòng)光學(xué)和拼接鏡面主動(dòng)光學(xué),實(shí)現(xiàn)了常規(guī)不能實(shí)現(xiàn)的光學(xué)系統(tǒng),打破了大視場(chǎng)兼?zhèn)浯罂趶焦庾V巡天望遠(yuǎn)鏡的國(guó)際天文瓶頸,攻克了世界級(jí)技術(shù)挑戰(zhàn),是我國(guó)光學(xué)望遠(yuǎn)鏡研制歷程和光學(xué)工程發(fā)展史上的重大里程碑之一,奠定了我國(guó)未來(lái)天文望遠(yuǎn)鏡研制的堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

對(duì)于大口徑拼接鏡面天文望遠(yuǎn)鏡來(lái)說(shuō),只有實(shí)現(xiàn)子鏡拼接共相,才能真正發(fā)揮其高分辨性能和效率的最大威力,達(dá)到衍射極限性能。共相的精度取決于邊緣傳感器的測(cè)量精度。

邊緣傳感器位于相鄰拼接子鏡邊緣,可精確測(cè)量子鏡間的相對(duì)剛體自由度的位姿狀態(tài)誤差。目前,世界上的大型拼接鏡面望遠(yuǎn)鏡幾乎都采用基于電學(xué)原理的邊緣傳感器,這類電學(xué)傳感器安裝于子鏡背面,一般只能進(jìn)行相對(duì)測(cè)量,需要輔助設(shè)備對(duì)其進(jìn)行一定周期頻率的精確標(biāo)定;而且存在的溫漂/時(shí)漂,不僅極難改善,在實(shí)際應(yīng)用中也很難徹底消除。

南京天光所科研團(tuán)隊(duì)提出了基于光學(xué)等厚干涉原理的拼接鏡面邊緣傳感器新方案,基于等厚干涉原理,通過(guò)探測(cè)器上得到的等厚干涉條紋,即可得知相鄰子鏡的姿態(tài),具有精度高、原理簡(jiǎn)單、易于裝調(diào)、工作穩(wěn)定、無(wú)溫漂時(shí)漂、適用于野外惡劣環(huán)境下使用等突出優(yōu)點(diǎn),具體原理示意圖如下。

基于等厚干涉原理的拼接鏡面邊緣誤差檢測(cè)結(jié)構(gòu)示意圖

44def456-d871-11eb-9e57-12bb97331649.png

兩子鏡存在相對(duì)誤差時(shí)的光強(qiáng)分布條紋。(a) x軸傾斜誤差;(b) y軸傾斜誤差;(c)平移誤差

研究人員通過(guò)仿真模擬驗(yàn)證了該方案的可行性,并且優(yōu)化了同心圓識(shí)別算法,可以實(shí)現(xiàn)高精度的同心圓提取,保證對(duì)誤差進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。仿真結(jié)果顯示:理論測(cè)量精度可以達(dá)到傾斜誤差0.02“、平移誤差20nm,可以滿足大口徑拼接鏡面望遠(yuǎn)鏡的共相檢測(cè)需求。

本方案的關(guān)鍵優(yōu)勢(shì)包括:1)簡(jiǎn)化了拼接共相過(guò)程,可實(shí)時(shí)得到相鄰子鏡位姿之間的絕對(duì)誤差,無(wú)需單獨(dú)進(jìn)行額外的定標(biāo);2)利用相鄰子鏡的條紋差異信息來(lái)反演相鄰子鏡的絕對(duì)位姿誤差,可避免傳感器安裝支架和系統(tǒng)的重力變形、熱變形及安裝誤差帶來(lái)的影響;3)系統(tǒng)設(shè)計(jì)不基于電學(xué)原理,不易受溫漂和時(shí)漂的影響,也避免了電噪聲的干擾;4)原理簡(jiǎn)單,結(jié)構(gòu)緊湊,方便在鏡面上進(jìn)行大規(guī)模部署。

目前,科研團(tuán)隊(duì)針對(duì)圖像處理方法進(jìn)行了深入研究,后續(xù)將在郭守敬望遠(yuǎn)鏡(LAMOST)上進(jìn)行實(shí)地測(cè)試和應(yīng)用。該方法有望攻克拼接共相中的高精度位姿檢測(cè)等關(guān)鍵科學(xué)難題,打破國(guó)外壟斷,在眾多高精尖測(cè)量領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。

該項(xiàng)研究獲得國(guó)家自然科學(xué)基金天文聯(lián)合基金重點(diǎn)項(xiàng)目(U2031207)、國(guó)家自然科學(xué)基金 (U1931126、12073053)、中國(guó)科學(xué)院青年創(chuàng)新促進(jìn)會(huì)(2013041)等項(xiàng)目資助。

論文地址:http://www.opticsjournal.net/Articles/Abstract/gxxb/41/12/1212002.cshtml

責(zé)任編輯:lq6

聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場(chǎng)。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問(wèn)題,請(qǐng)聯(lián)系本站處理。 舉報(bào)投訴
  • 傳感器
    +關(guān)注

    關(guān)注

    2576

    文章

    55076

    瀏覽量

    791572
  • 光學(xué)
    +關(guān)注

    關(guān)注

    4

    文章

    867

    瀏覽量

    38120

原文標(biāo)題:中科院提出一種新型基于光學(xué)等厚干涉的拼接鏡面邊緣傳感器方案

文章出處:【微信號(hào):MEMSensor,微信公眾號(hào):MEMS】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

收藏 人收藏
加入交流群
微信小助手二維碼

掃碼添加小助手

加入工程師交流群

    評(píng)論

    相關(guān)推薦
    熱點(diǎn)推薦

    華為將向業(yè)界發(fā)布核心網(wǎng)網(wǎng)絡(luò)智能新方案

    在MWC2026巴塞羅那期間,華為將向業(yè)界發(fā)布核心網(wǎng)網(wǎng)絡(luò)智能新方案。目前,圍繞故障管理和網(wǎng)絡(luò)變更兩大高價(jià)值場(chǎng)景的自動(dòng)化方案已在全球14個(gè)領(lǐng)先運(yùn)營(yíng)商網(wǎng)絡(luò)商用部署。面向下階段的新方案,將
    的頭像 發(fā)表于 03-05 10:22 ?305次閱讀

    南柯電子|醫(yī)療設(shè)備電磁兼容整改:從技術(shù)突破到臨床安全的新方案

    南柯電子|醫(yī)療設(shè)備電磁兼容整改:從技術(shù)突破到臨床安全的新方案
    的頭像 發(fā)表于 11-26 09:59 ?414次閱讀

    款專為「鏡面/透明工件」而生的激光位移傳感器

    傳統(tǒng)激光位移傳感器遇到[?高透亮?]工件,會(huì)無(wú)法檢測(cè),或者誤差很大。光子精密有款專為「鏡面/透明工件」而生的激光位移傳感器。
    的頭像 發(fā)表于 08-14 10:13 ?1195次閱讀
    <b class='flag-5'>一</b>款專為「<b class='flag-5'>鏡面</b>/透明工件」而生的激光位移<b class='flag-5'>傳感器</b>

    基于像散光學(xué)輪廓儀與單點(diǎn)膜技術(shù)測(cè)量透明薄膜厚度

    設(shè)計(jì))雖具備高分辨率全場(chǎng)掃描能力,但對(duì)厚度小于25μm的薄膜存在信號(hào)耦合問(wèn)題。本研究通過(guò)結(jié)合FlexFilm單點(diǎn)膜儀的光學(xué)干涉技術(shù),開發(fā)了一種覆蓋15nm至1.2mm
    的頭像 發(fā)表于 07-22 09:53 ?862次閱讀
    基于像散<b class='flag-5'>光學(xué)</b>輪廓儀與單點(diǎn)膜<b class='flag-5'>厚</b>技術(shù)測(cè)量透明薄膜厚度

    白光色散干涉:實(shí)現(xiàn)薄膜表面輪廓和膜的高精度測(cè)量

    薄膜結(jié)構(gòu)在半導(dǎo)體制造中扮演著至關(guān)重要的角色,廣泛應(yīng)用于微電子器件、光學(xué)涂層、傳感器領(lǐng)域。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步,對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)的檢測(cè)精度和效率提出了更高的要求。傳統(tǒng)的檢測(cè)方法,如橢圓偏振法、反射
    的頭像 發(fā)表于 07-22 09:53 ?1766次閱讀
    白光色散<b class='flag-5'>干涉</b>:實(shí)現(xiàn)薄膜表面輪廓和膜<b class='flag-5'>厚</b>的高精度測(cè)量

    薄膜厚度高精度測(cè)量 | 光學(xué)干涉+PPS算法實(shí)現(xiàn)PCB/光學(xué)鍍膜/半導(dǎo)體膜高效測(cè)量

    。本文本文基于FlexFilm單點(diǎn)膜儀的光學(xué)干涉技術(shù)框架,提出一種基于共焦光譜成像與薄膜干涉原理的微型化測(cè)量系統(tǒng),結(jié)合相位功率譜(PPS)
    的頭像 發(fā)表于 07-21 18:17 ?1706次閱讀
    薄膜厚度高精度測(cè)量 | <b class='flag-5'>光學(xué)</b><b class='flag-5'>干涉</b>+PPS算法實(shí)現(xiàn)PCB/<b class='flag-5'>光學(xué)</b>鍍膜/半導(dǎo)體膜<b class='flag-5'>厚</b>高效測(cè)量

    芯片制造中高精度膜測(cè)量與校準(zhǔn):基于紅外干涉技術(shù)的新方

    、環(huán)境光干擾及薄膜傾斜因素限制,測(cè)量精度難以滿足高精度工業(yè)需求。為此,本研究提出一種融合紅外干涉與激光校準(zhǔn)的薄膜厚度測(cè)量新方法,旨在突破傳統(tǒng)技術(shù)瓶頸,實(shí)現(xiàn)更精準(zhǔn)、
    的頭像 發(fā)表于 07-21 18:17 ?2909次閱讀
    芯片制造中高精度膜<b class='flag-5'>厚</b>測(cè)量與校準(zhǔn):基于紅外<b class='flag-5'>干涉</b>技術(shù)的<b class='flag-5'>新方</b>法

    常見的溫濕度傳感器類型?

    溫濕度傳感器一種用于測(cè)量環(huán)境溫度和濕度的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于工業(yè)、農(nóng)業(yè)、氣象領(lǐng)域。以下是幾種常見的溫濕度傳感器類型及其優(yōu)缺點(diǎn): 電容式濕度傳感器
    發(fā)表于 06-24 09:24

    VirtualLab:CMOS傳感器仿真

    分析儀在CMOS示例中用于可視化整個(gè)組件中場(chǎng)傳播的橫截面。 微透鏡陣列CMOS傳感器分析 利用嚴(yán)格的FMM/RCWA,我們模擬了個(gè)像素尺寸等于或小于2μm的CMOS傳感器,并研究了在如此小的尺度下衍射效應(yīng)對(duì)器件性能的影響。
    發(fā)表于 06-16 08:49

    VirtualLab Fusion:用于光學(xué)檢測(cè)的斐索干涉

    摘要 斐索干涉儀是工業(yè)上常見的光學(xué)計(jì)量設(shè)備,通常用于高精度測(cè)試光學(xué)表面的質(zhì)量。在VirtualLab Fusion中通道配置的幫助下,我們建立了個(gè)Fizeau
    發(fā)表于 05-28 08:48

    清華大學(xué)在激光干涉光刻全局對(duì)準(zhǔn)領(lǐng)域取得新進(jìn)展

    圖1.拼接曝光加工系統(tǒng) 衍射光柵廣泛應(yīng)用于精密測(cè)量、激光脈沖壓縮、光譜分析領(lǐng)域。干涉光刻作為一種無(wú)掩膜曝光光刻方法,在衍射光柵加工制造方面具有高效率、高靈活度的優(yōu)勢(shì)。但
    的頭像 發(fā)表于 05-22 09:30 ?709次閱讀
    清華大學(xué)在激光<b class='flag-5'>干涉</b>光刻全局對(duì)準(zhǔn)領(lǐng)域取得新進(jìn)展

    光學(xué)實(shí)驗(yàn)教具應(yīng)用:邁克爾遜干涉儀實(shí)驗(yàn)

    1. 實(shí)驗(yàn)概述 邁克爾遜干涉儀是光學(xué)干涉儀中最常見的一種,其原理是束入射光分為兩束后各自被對(duì)應(yīng)的平面鏡反射回來(lái),這兩束光從而能夠發(fā)生
    發(fā)表于 05-08 08:51

    光學(xué)實(shí)驗(yàn)教具應(yīng)用:雙縫干涉實(shí)驗(yàn)

    實(shí)驗(yàn)教具中的實(shí)驗(yàn)搭建 圖1.實(shí)驗(yàn)教具光路搭建 圖2.實(shí)驗(yàn)教具結(jié)果 4.實(shí)驗(yàn)總結(jié) 雙縫干涉實(shí)驗(yàn)是光學(xué)專業(yè)必不可少的項(xiàng)實(shí)驗(yàn),為了幫助學(xué)習(xí)和理解,我們可以在VirtualLab Fusion軟件中輕易地搭建并仿真出來(lái),同時(shí)實(shí)驗(yàn)教
    發(fā)表于 05-08 08:48

    直川無(wú)線傾角傳感器:重塑貨架安全監(jiān)測(cè)的智能新標(biāo)桿

    直川科技憑借自主研發(fā)的無(wú)線傾角傳感器,以高精度、智能化、零布線的革新方案,為貨架安全監(jiān)測(cè)樹立行業(yè)新標(biāo)桿,助力企業(yè)實(shí)現(xiàn)從“被動(dòng)應(yīng)對(duì)”到“主動(dòng)防御”的跨越。
    的頭像 發(fā)表于 04-24 10:41 ?803次閱讀
    直川無(wú)線傾角<b class='flag-5'>傳感器</b>:重塑貨架安全監(jiān)測(cè)的智能新標(biāo)桿

    光學(xué)傳感器的工作原理與應(yīng)用

    在現(xiàn)代科技的廣闊天地中,光學(xué)傳感器如同雙雙敏銳的“眼睛”,無(wú)處不在地捕捉著光線中的信息,將其轉(zhuǎn)化為可供我們理解和分析的數(shù)字信號(hào)。從智能手機(jī)上的指紋解鎖,到自動(dòng)駕駛汽車的精確導(dǎo)航,再到醫(yī)療領(lǐng)域
    的頭像 發(fā)表于 04-15 18:24 ?1835次閱讀