2022年6月10日，沈陽芯源12寸KrF涂膠顯影設(shè)備順利入駐廈門士蘭集科。作為士蘭集科引入的首臺(tái)國產(chǎn)高產(chǎn)能KrF涂膠顯影機(jī)臺(tái)，沈陽芯源產(chǎn)品獲得了客戶的高度重視和充分認(rèn)可，士蘭集科總經(jīng)理黃軍華、副總經(jīng)理李文深、相關(guān)技術(shù)和商務(wù)代表，沈陽芯源公司董事長兼總裁宗潤福、前道設(shè)計(jì)總監(jiān)程虎、市場(chǎng)總監(jiān)王星園以及現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)代表出席了搬入儀式。

此次沈陽芯源公司12寸高產(chǎn)能KrF涂膠顯影量產(chǎn)機(jī)臺(tái)的順利交付，將會(huì)為士蘭集科提供更加高端的光刻工藝解決方案及服務(wù)，為士蘭集科后續(xù)高端產(chǎn)品穩(wěn)定量產(chǎn)、產(chǎn)線升級(jí)擴(kuò)產(chǎn)提供更為安全的供應(yīng)鏈保障。同時(shí)，士蘭集科作為中國大陸12寸晶圓特種工藝產(chǎn)線的領(lǐng)導(dǎo)者，也為集成電路高端設(shè)備國產(chǎn)化替代提供了優(yōu)秀的平臺(tái)和機(jī)遇。

搬入儀式完成后，雙方進(jìn)行了深入友好的商務(wù)交流，沈陽芯源與士蘭集科簽署了戰(zhàn)略合作協(xié)議。本次戰(zhàn)略合作的達(dá)成，既是對(duì)過往雙方成功合作的肯定，也是對(duì)未來深入合作的無限期許，雙方也將繼續(xù)攜手前行，協(xié)同發(fā)展，同“芯”聚力，共創(chuàng)輝煌！