PAC200半自動低溫探針臺是在低溫探測環(huán)境下(液態(tài)氮低至77 K或液態(tài)氦小于20 K)自動測試高達300 mm的晶片和基板的理想解決方案。它支持廣泛的應用程序。

如今，行業(yè)界的偶像和新興企業(yè)都在大力投資超導技術的新用途。即，應對威脅到支持我們對數(shù)據(jù)，計算能力和互連設備不斷增長的需求的計算基礎架構的未來的巨大挑戰(zhàn)。量子計算(基于量子位)有望開創(chuàng)人工智能，復雜系統(tǒng)優(yōu)化，醫(yī)學分子建模，密碼學等新紀元。使用RSFQ(快速單通量量子)，RQL(倒數(shù)量子邏輯)或類似的新邏輯系列的超導冷CPU有望消除巨大的能源和熱量問題，從而限制了HPC(高性能計算)超級計算機和超大規(guī)模數(shù)據(jù)中心的增長和位置。

這些新的低溫處理器需要內存，并且要保持其能源優(yōu)勢，內存系統(tǒng)也必須是冷的。超導存儲器可能還需要幾年的時間，但是研究表明，傳統(tǒng)的CMOS DRAM結構可以在77K等低溫下非常有效地使用。需要低溫晶片測試來調整工藝并確定存儲器組件可在這些溫度下使用的溫度。

該PAC200半自動低溫探針臺是在低溫環(huán)境下使用液氮在77 K或低于20 K的液氦下在低溫環(huán)境下自動測試300 mm晶圓和基板的理想解決方案。它支持廣泛的應用，包括最新硅，化合物半導體和超導體器件的DC和RF測量。探針壓板設計用于在磁性腳上安裝探針卡或最多八個真空型定位器。為了減少熱量進入，將探針或探針卡熱錨固在低溫護罩上。行程范圍為50 mm x 50 mm的高分辨率視頻顯微鏡可安裝在帶旋轉的顯微鏡支架上，也可安裝在顯微鏡橋架上，用于振動敏感的測試應用和其他測試儀器。

以下是使PAC200探針系統(tǒng)靈活，穩(wěn)定和易于使用的一些值得注意的功能和優(yōu)點：

該系統(tǒng)是根據(jù)用戶要求定制的

它為300mm以下的晶圓或單芯片提供不同的基板載體

電動平臺提供可編程步進，可測試整個晶片上的多個芯片

Velox?探針臺控制軟件自動化測試并提高生產(chǎn)率

該系統(tǒng)提供廣泛的電氣測量(IV，CV，兩端口，多端口和差分RF)

各種探針和校準工具(例如校準基板和WinCal XE?校準軟件

可以使用其他測試設備(例如紅外光源和光學器件)

真空室和隔熱罩可提供低至77K(液氮)或低于20K(液氦)的無冰和無冷凝探測功能

壓盤最多支持8個熱錨定，可移動探針定位器或易于更換的探針卡，以增加探針數(shù)量

高度穩(wěn)定的機械結構，帶有隔振臺，可提供很高的探頭放置精度–非常適合小焊盤

它設計簡單明了，易于操作，符合人體工程學

審核編輯：湯梓紅