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天馬有源數(shù)字微流控芯片實現(xiàn)多類相關傳感功能集成

科技綠洲 ? 來源:天馬微電子 ? 作者:天馬微電子 ? 2022-06-20 15:58 ? 次閱讀
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隨著物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、5G等眾多新興科技接踵而至,傳感器領域迎來了迅猛的發(fā)展。但需求多元化、開發(fā)周期長、成本高、產(chǎn)能不足等現(xiàn)狀讓傳統(tǒng)傳感器開發(fā)模式面臨嚴峻挑戰(zhàn)。天馬精準把握行業(yè)發(fā)展動態(tài),積極開拓國際化的面板級傳感器業(yè)務:依托于強勁的TFT技術研發(fā)實力與靈活多樣的制造能力,在生物醫(yī)療、智慧交通、人工智能、信息通訊等領域已完成多類前瞻技術開發(fā),不僅為面板制造業(yè)開拓了高精度制造的新型領域,并且開辟了一條全新的傳感器產(chǎn)業(yè)化推進路線。

在生物醫(yī)療領域,微流控(Microfluidics)技術利用對微觀液體的精準操控,將樣品處理、反應、檢測、分析等復雜的實驗步驟集成在一個生物芯片上完成,是芯片實驗室(Lab-on-chips)的核心技術。通過集成化高通量檢測減少分析時間、試劑用量以及人力投入,從而替代傳統(tǒng)的生化實驗設備及人力,微流控被譽為未來生物科技的革命性技術,可廣泛應用于各類生化檢測領域,如臨床診斷、基因測序、免疫檢測、單細胞分析等。

微流控技術應用

然而,目前微流控芯片產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展還不夠成熟,傳統(tǒng)制造技術難以實現(xiàn)高通量、高精度、低成本芯片的批量生產(chǎn),相關技術大多處于實驗室階段,與市場化大規(guī)模應用存在一定距離。為此,天馬結(jié)合行業(yè)領先的顯示面板成熟制造工藝,成功開發(fā)了面板級微流控(Pluidic, Panel-Level-Microfluidics)技術,可提供多種工藝路線的玻璃基微流控芯片的定制化設計和批量生產(chǎn)服務,極大推動了微流控技術的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展。

天馬微流控部分樣品展示

微流控技術大體可分為基于微流道操縱連續(xù)流體的連續(xù)微流控技術和基于介電潤濕等原理操縱獨立微液滴的數(shù)字微流控技術。

在連續(xù)微流控方面,天馬研發(fā)出基于玻璃蝕刻流道方式制作的連續(xù)微流控芯片,實現(xiàn)高精度玻璃微流道芯片制造需求。天馬的連續(xù)微流控芯片具有高通量、高精度、低成本、可定制實驗等眾多優(yōu)勢,在基因測序等領域已實現(xiàn)商業(yè)項目出貨。

天馬連續(xù)微流控芯片結(jié)構(gòu)&技術優(yōu)勢

在數(shù)字微流控方面,天馬探索了多種工藝及技術路線,已成功研發(fā)基于a-Si/Oxide/LTPS等多種TFT技術的有源數(shù)字微流控芯片,以及單層/多層電極無源數(shù)字微流控芯片,實現(xiàn)多種傳感功能集成,提供了全球最為豐富的技術路線和解決方案,可滿足各類不同應用方向的功能需求。目前相關研究成果已發(fā)表在等多家SCI/EI國內(nèi)外知名期刊和會議論文上,已布局國內(nèi)外核心技術專利50余篇,并且已在PCR擴增、基因建庫、免疫檢測、單細胞分析等領域與多家客戶展開商業(yè)項目,在學術界和產(chǎn)業(yè)界均受到廣泛認可。以a-Si方案為例,使用有源方式可靈活獨立控制成千上萬個百微米級驅(qū)動電極,批量驅(qū)動pL~uL級液滴,具有高精度、高通量、低成本、可編程和便攜性等優(yōu)勢,相應產(chǎn)品也已實現(xiàn)小批量出貨。

天馬有源數(shù)字微流控芯片結(jié)構(gòu)&技術優(yōu)勢

后續(xù),天馬將進一步提升面板級微流控產(chǎn)品的性能及量產(chǎn)能力,實現(xiàn)多類相關傳感功能集成,完成更多技術方案的微流控產(chǎn)品開發(fā),為客戶提供更優(yōu)質(zhì)的微流控產(chǎn)品解決方案和生產(chǎn)服務。

MPG(Multi-Project-Glass)&技術優(yōu)勢

對于微流控等新興技術領域,天馬還提供了獨有的MPG(Multi-Project-Glass) 多項目玻璃基板技術平臺,能為創(chuàng)新公司、高校和科研單位等提供成熟的a-Si、LTPS、IGZO和LTPO背板,進行相關技術產(chǎn)品的前期研發(fā)和成果轉(zhuǎn)化,助力相關技術落地。

作為公司“2+1+N”戰(zhàn)略中“N”的重要組成部分,非顯示業(yè)務近年來快速成長,天馬將持續(xù)在相關領域進行技術和產(chǎn)品開發(fā),與廣大客戶共同推進相關產(chǎn)業(yè)量產(chǎn)孵化。

審核編輯:彭靜
聲明:本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人,不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學習之用,如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題,請聯(lián)系本站處理。 舉報投訴
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