我們知道，MEMS（Micro-Electro-Mechanical System微機電系統(tǒng)）是在微電子技術(shù)（半導體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件，是一個集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。

MEMS加工技術(shù)帶動了傳感器向微型化發(fā)展，盡管MEMS技術(shù)能夠?qū)⒐に嚲瓤刂圃诤苄〉姆秶鷥?nèi)，但還是很難精確地控制擴散硅的摻雜濃度，這就直接導致了MEMS傳感器零位溫度漂移和靈敏度溫度漂移的存在。工作溫度范圍變化通過兩種方法影響傳感器：其一是造成零點漂移，其二是影響整個量程的輸出。當MEMS傳感器工作溫度的范圍不斷增大時，為減少由于溫度的變化產(chǎn)生的漂移現(xiàn)象，就需要對MEMS傳感器進行溫度補償。不過，溫度范圍越寬，補償技術(shù)難度越大，校準工作量也越大，所能保證全溫度范圍的精度也越難。

為解決溫度范圍和傳感器精度之間的矛盾，北京智芯傳感科技有限公司（簡稱：智芯傳感）通過多年的研發(fā)和實踐，推出了ZXP6系列高精度寬溫域差壓氣體壓力傳感器。該壓力傳感器的核心是MEMS壓力傳感器和專用調(diào)理芯片，采用了當前先進的壓力傳感器技術(shù)和高集成、低功耗、高精度的數(shù)字信號處理技術(shù)，提供了完整的壓力校準和溫度補償，獲得放大的模擬輸出信號，可實現(xiàn)全溫區(qū)范圍內(nèi)最大誤差率僅為1%。

智芯傳感ZXP6系列差壓氣體壓力傳感器適用領(lǐng)域也非常廣泛，目前已在醫(yī)療、工業(yè)和消費電子等多個領(lǐng)域進行產(chǎn)品應(yīng)用并收獲市場高度認可及客戶廣泛好評。其中，在醫(yī)療應(yīng)用方面，ZXP6差壓氣體壓力傳感器憑借優(yōu)秀的性能參數(shù)表現(xiàn)及產(chǎn)品特性，成為呼吸機氣路系統(tǒng)的關(guān)鍵部件。在呼吸機工作過程中，ZXP6差壓氣體壓力傳感器生成的信號，能夠幫助微處理器調(diào)節(jié)電機，從而調(diào)整或維持病人吸氣和呼氣所需的氣壓，時刻監(jiān)測病人的呼吸信號來控制呼吸器的動作，使之與人體呼吸同步。而在另一款“救命神器”制氧機的使用中，ZXP6差壓氣體壓力傳感器可對制氧機中吸附塔壓力進行精準測量，進而為制氧機供氧調(diào)節(jié)提供重要數(shù)據(jù)支持，確保充足供氧，同時，可對患者是否有開始吸氣進行監(jiān)測，以避免不吸氣時氧氣的浪費。此外，ZXP6差壓氣體壓力傳感器還在生物安全柜、肺量計、呼吸功能檢測儀器等多個醫(yī)療器械中適用并發(fā)揮重要作用。

智芯傳感ZXP6系列差壓氣體壓力傳感器性能優(yōu)良，可供量程-500-500kPa差壓和表壓的氣體測量，工作溫度范圍達到了40~125℃。另外，智芯傳感ZXP6差壓氣體壓力傳感器有貼片和插針式兩種安裝方式，采用先進的 MEMS微加工工藝設(shè)計制作，通過高可靠性封裝技術(shù)，產(chǎn)品的精度和穩(wěn)定性可以達到±1%FS。

智芯傳感ZXP6差壓氣體壓力傳感器，實現(xiàn)了寬溫域高精度監(jiān)測，憑借先進的產(chǎn)品性能在醫(yī)療、工業(yè)、消費電子等多個應(yīng)用中發(fā)揮重要作用。相信在越來越多的市場檢驗中，智芯傳感ZXP6差壓氣體壓力傳感器一定能夠進一步為客戶提供安全可靠、質(zhì)量穩(wěn)定、體驗卓越、價格合理的產(chǎn)品服務(wù)，進而創(chuàng)造更高的產(chǎn)品價值。