華映科技公開的應(yīng)用在OLED顯示面板上的掩膜板貼合系統(tǒng)及方案，該方案能夠保證金屬掩膜板四個角平衡地貼合在襯底玻璃基板上面，既不產(chǎn)生縫隙，也不會壓彎襯底玻璃基板，從而大大提高產(chǎn)品的質(zhì)量。

集微網(wǎng)消息，OLED顯示面板制程中，通常用金屬掩模板蒸鍍方式在襯底基板上形成有機功能層，金屬掩模板和襯底基板的貼合情況會影響蒸鍍的質(zhì)量，最終影響OLED面板顯示的質(zhì)量。

金屬掩模板由外層的框架和中間的金屬掩模組成，需要保證框架緊密貼合在襯底玻璃基板的情況下才能確保中間的掩膜可以更緊密的貼合。在現(xiàn)有技術(shù)中，由于使用位置控制金屬掩膜板，沒有辦法確認(rèn)掩膜板框架是否與襯底玻璃貼合，從而會影響面板的顯示質(zhì)量。

而使用位置控制掩膜板與襯底玻璃基板進(jìn)行貼合時，由于掩膜板尺寸與掩膜板位置均存在誤差，設(shè)置的掩膜板位置會導(dǎo)致掩膜板與襯底玻璃基板有縫隙，或者掩膜板壓到襯底玻璃上導(dǎo)致襯底玻璃被壓彎。同時，由于位置控制同樣不能保證掩膜板的貼合情況在四個角上是相同的，也影響掩膜板和襯底玻璃基板的對位，使蒸鍍的像素點偏離設(shè)計的位置，影響面板顯示的質(zhì)量。

為解決該問題，華映科技在2022年8月2日申請了一項名為“一種掩膜板貼合系統(tǒng)及其貼合方法”的發(fā)明專利（申請?zhí)枺?02210921890.4），申請人為華映科技（集團(tuán)）股份有限公司。

根據(jù)該專利目前公開的相關(guān)資料，讓我們一起來看看這項技術(shù)方案吧。

如上圖，為該專利中公開的掩膜板貼合系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，該貼合系統(tǒng)包括：支撐框1、左A壓力傳感器2、左B壓力傳感器3、右A壓力傳感器4、右B壓力傳感器5、金屬掩膜板6和襯底玻璃基板7。

支撐框四角表面分別設(shè)置有左A壓力傳感器、左B壓力傳感器、右A壓力傳感器和右B壓力傳感器。金屬掩膜板設(shè)置在支撐框的上方，且金屬掩膜板的四角分別架設(shè)在對應(yīng)的左A、左B、右A和右B壓力傳感器上。襯底玻璃基板設(shè)置在金屬掩膜板的上方，并通過蒸鍍機的升降機構(gòu)將支撐框和金屬掩膜板抬起并與襯底玻璃基板相貼合。

在該專利中，還公開了一種掩膜板貼合系統(tǒng)的貼合方法。首先，在上方架設(shè)有金屬掩膜板的支撐框處于靜止不動時，測得四個壓力傳感器的平衡力值。由于各傳感器測得的力值為平衡力，四個壓力傳感器測得的各壓力值為金屬掩膜板重力的四分之一。需要說明的是，由于金屬掩膜板可能存在重心偏移，四個壓力傳感器測得的力值可能不相同。

其次，設(shè)定四個傳感器所在的當(dāng)前位置，由于該方案不考慮金屬掩膜板在平面上的移動，僅考慮掩膜板的升降，因此只需要在z軸上進(jìn)行描述。接著，蒸鍍機通過升降機構(gòu)將支撐框和金屬掩膜板抬高到靠近待蒸鍍的襯底玻璃基板處的平衡位置，該位置為貼合過程的平衡位置，即為四組壓力傳感器的初始位置，且四個傳感器的當(dāng)前位置均設(shè)定為同一數(shù)值。

最后，升降機構(gòu)繼續(xù)上升直到金屬掩膜板貼合襯底玻璃基板，并同時監(jiān)測左B壓力傳感器、右A壓力傳感器和右B壓力傳感器所在位置上方處的金屬掩膜板與襯底玻璃基板的貼合位置，則這些貼合位置的點確定的平面即為金屬掩膜板完全貼合沉底玻璃基板且不會壓彎襯底玻璃基板的位置。

以上就是華映科技公開的應(yīng)用在OLED顯示面板上的掩膜板貼合系統(tǒng)及方案，該方案能夠保證金屬掩膜板四個角平衡地貼合在襯底玻璃基板上面，既不產(chǎn)生縫隙，也不會壓彎襯底玻璃基板，從而大大提高產(chǎn)品的質(zhì)量。

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