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隱秘的驗(yàn)證器:納米級(jí)的機(jī)電標(biāo)簽

中科院半導(dǎo)體所 ? 來源:悅智網(wǎng) ? 作者:Roozbeh、Swarup ? 2022-12-21 15:07 ? 次閱讀
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納米級(jí)的機(jī)電標(biāo)簽可以打擊 假冒偽劣商品。

世界上最大規(guī)模的犯罪是什么?販毒?賭博?販賣人口?都不是。最大的非法行為是假冒商品的生產(chǎn)和貿(mào)易,預(yù)計(jì)明年相關(guān)金額將超過1萬億美元。你可能已經(jīng)不止一次遇到過這種事,以為自己在亞馬遜或易趣上購(gòu)買的是名牌商品,最后卻發(fā)現(xiàn)是假冒偽劣商品。

這是一種極其常見的犯罪,合法的制造公司和分銷商因此蒙受了巨大損失。這種危險(xiǎn)遠(yuǎn)比你在討價(jià)還價(jià)時(shí)被敲竹杠要嚴(yán)重得多。比如,購(gòu)買藥品時(shí),如果你買到的不是處方里的真藥,你的健康就會(huì)陷入危險(xiǎn)。然而,可悲的是,對(duì)于世界上大多數(shù)人來說,買藥時(shí)受到這種欺騙是常態(tài)。即使是發(fā)達(dá)國(guó)家的人也很容易受到假藥或劣質(zhì)藥的影響。

假冒電子產(chǎn)品也是一種威脅,因?yàn)樗鼈儠?huì)降低重要安全系統(tǒng)的可靠性,甚至?xí)蛊胀?a href="http://m.makelele.cn/soft/data/39-96/" target="_blank">消費(fèi)電子產(chǎn)品變得危險(xiǎn)。比如,據(jù)我們所知,一些手機(jī)和電子煙在用戶面前爆炸就是因?yàn)槔锩嫜b有假電池。

把假冒偽劣商品的泛濫比作全球經(jīng)濟(jì)體系遭遇感染毫不夸張,國(guó)際反假聯(lián)盟(IACC)表示,這是另一種形式的全球大流行病,在過去20年里增長(zhǎng)了100倍。因此,許多業(yè)內(nèi)人士長(zhǎng)期以來一直在研究如何與這種禍患作斗爭(zhēng)。

打擊假冒偽劣商品的傳統(tǒng)策略是在真品中使用某種認(rèn)證標(biāo)記。這些措施包括顯示通用產(chǎn)品代碼(UPC)和二維碼(QR)圖案,有時(shí)還包括射頻識(shí)別(RFID標(biāo)簽。不過,UPC和二維碼必須位于顯眼位置以便進(jìn)行光學(xué)掃描。因此它們易被刪除、克隆和重新應(yīng)用于假冒產(chǎn)品。射頻識(shí)別標(biāo)簽不容易復(fù)制,但它們通常需要相對(duì)較大的天線,所以很難在難以察覺的情況下用它們標(biāo)記物品,而且按照它們的用途來看,其成本可能過高。

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我們提出了一個(gè)不同的解決方案,一個(gè)基于射頻(RF)納米機(jī)電系統(tǒng)(NEMS)的解決方案。和射頻識(shí)別標(biāo)簽一樣,我們的RF NEMS設(shè)備也不需要被看見和掃描。它們的微小尺寸和組成結(jié)構(gòu)的性質(zhì)使這些標(biāo)簽在很大程度上不受物理篡改或克隆的影響,而且每個(gè)標(biāo)簽的成本最多幾分錢。

隱秘的NEMS標(biāo)簽可以成為全球打擊假冒產(chǎn)品(甚至是假鈔)的有力武器。好奇嗎?下面我們將介紹這些設(shè)備的物理原理,以及它們的生產(chǎn)和操作會(huì)涉及哪些內(nèi)容。

我們可以把RF NEMS標(biāo)簽想象成一個(gè)小三明治。面包片是兩層50納米厚的氧化銦錫導(dǎo)電層,氧化銦錫是一種常用于制造透明電極的材料,例如手機(jī)觸摸屏的電極。中間是100納米厚的壓電薄膜,由摻鈧氮化鋁組成,同樣也是透明的。利用類似制造集成電路的光刻技術(shù),我們?cè)谌髦沃形g刻了一個(gè)圖案,中間有一枚由4個(gè)細(xì)長(zhǎng)臂懸掛的環(huán)。這種設(shè)計(jì)讓圓環(huán)表面可以自由振動(dòng)。 當(dāng)然,構(gòu)成壓電薄膜的材料會(huì)受到壓電效應(yīng)的影響:材料在發(fā)生機(jī)械變形時(shí)會(huì)產(chǎn)生電壓。更重要的是,這種材料也會(huì)經(jīng)歷逆壓電效應(yīng)——外加電壓會(huì)引起機(jī)械變形。我們利用了這種現(xiàn)象來誘導(dǎo)標(biāo)簽的柔性部分發(fā)生振蕩。 為了達(dá)到這個(gè)目的,我們使用光刻技術(shù)在標(biāo)簽的周邊制作了一個(gè)線圈。線圈的一端連接到頂部導(dǎo)電層,另一端連接到底部導(dǎo)電層。根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)定律,將標(biāo)簽置于振蕩磁場(chǎng)中會(huì)在壓電層上產(chǎn)生振蕩電壓。由此產(chǎn)生的壓電薄膜機(jī)械變形反過來會(huì)造成標(biāo)簽的柔性部分發(fā)生振動(dòng)。 當(dāng)激勵(lì)頻率與微小機(jī)械振蕩器的固有頻率匹配時(shí),這種振動(dòng)最強(qiáng)烈。這是一種簡(jiǎn)單的共振現(xiàn)象,歌劇演員唱出正確的音符時(shí)(如果演員真的很努力的話),共振甚至能使其聲音震碎酒杯。1831年英國(guó)曼徹斯特附近著名的布勞頓吊橋倒塌就是因?yàn)楣舱?,?dāng)時(shí)第60步槍軍團(tuán)的74名士兵在過橋,他們整齊的步伐與橋發(fā)生自然機(jī)械共振。(此次事件之后,英國(guó)軍隊(duì)要求士兵在過橋時(shí)改走便步?。┰谖覀兊脑O(shè)備中,相關(guān)的激勵(lì)是掃描儀施加的磁場(chǎng)振蕩,當(dāng)它與標(biāo)簽柔性部分的機(jī)械共振頻率匹配時(shí),就會(huì)引起最大振幅的振動(dòng)。 事實(shí)上,情況比這復(fù)雜得多。標(biāo)簽的柔性部分并不是只有一個(gè)共振頻率,而是有許多共振頻率。它就像鼓上的膜一樣,可以以各種方式發(fā)生振蕩。左側(cè)可能會(huì)隨著右側(cè)的下降而上升,反之亦然。或者,當(dāng)四周向下移動(dòng)時(shí),中間可能會(huì)上升。鼓面在受到撞擊時(shí)會(huì)發(fā)生各種各樣的變形,而且每種振蕩模式都有自己的共振頻率。 我們將納米級(jí)標(biāo)簽設(shè)計(jì)得像微小的鼓面一樣會(huì)振動(dòng),并且有許多可能的振蕩模式。這些標(biāo)簽非常小,只有幾微米寬,它們的振動(dòng)在80至90兆赫的無線電頻率范圍內(nèi)。在這種規(guī)模下,不僅僅是標(biāo)簽的幾何結(jié)構(gòu)起著重要作用,制造上的變化也發(fā)揮了作用。 例如,“三明治”的厚度(標(biāo)稱約200納米)并不是均勻分布的。不同樣品環(huán)形部分的直徑和圓度也不盡相同。這些制造上的細(xì)微變化將影響設(shè)備的機(jī)械性能,包括其共振頻率。 此外,在這種規(guī)模下,用于制造這種裝置的材料也不完全均勻。特別是在壓電層中,晶體結(jié)構(gòu)存在固有的變化。由于大量摻鈧,構(gòu)成氮化鋁晶粒的六方晶體矩陣中隨機(jī)形成了立方晶體的錐形團(tuán)簇。這些微小圓錐體的隨機(jī)站位可以讓看似相同的標(biāo)簽出現(xiàn)顯著的共振差異。

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在某些微電子設(shè)備的制造過程中,這樣的隨機(jī)變化會(huì)造成惱人的缺陷。不過在這里,隨機(jī)變化不是故障,而是一種特性!有了它,制作出來的每個(gè)標(biāo)簽都是獨(dú)一無二的標(biāo)記。也就是說,雖然標(biāo)簽顯示的共振一般由其幾何形狀控制,但其每個(gè)共振的確切頻率、振幅和銳度是隨機(jī)變化的結(jié)果。這就能讓每一件物品都變得獨(dú)一無二,防止標(biāo)簽被克隆、偽造或以重現(xiàn)原版中所有共振特性的其他方式制造出來。 RF NEMS標(biāo)簽就是安全專家所說的“物理不可克隆功能”的一個(gè)示例。給一批藥品等物品分別貼上標(biāo)簽,以記錄其產(chǎn)地和證明其真實(shí)性,這正符合醫(yī)生的要求。

這時(shí)候,你可能想知道我們是如何檢測(cè)和描述這些微小標(biāo)簽中的振蕩所具有的獨(dú)一無二的特征的。原則上,有一種方法是將設(shè)備放在測(cè)振顯微鏡下觀察其移動(dòng)情況。雖然這是可能的,而且我們已經(jīng)在實(shí)驗(yàn)室研究中這么做了,但這種策略在商業(yè)應(yīng)用中無效或并不實(shí)用。 不過事實(shí)證明,測(cè)量這些標(biāo)簽的共振并不困難。這是因?yàn)榧ぐl(fā)標(biāo)簽振動(dòng)的電子掃描儀必須提供維持這些振動(dòng)的能量。電子掃描儀要確定以這種方式消耗能量的頻率很簡(jiǎn)單。 我們目前使用的掃描儀是一種名為“網(wǎng)絡(luò)分析儀”的標(biāo)準(zhǔn)電子測(cè)試設(shè)備。(這里的“網(wǎng)絡(luò)”一詞指的是測(cè)試電路中由電阻、電容電感器組成的電子元件網(wǎng)絡(luò),而不是像互聯(lián)網(wǎng)這樣的計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)。)我們連接到網(wǎng)絡(luò)分析儀上的傳感器只是一個(gè)微小的線圈,位于標(biāo)簽幾毫米范圍內(nèi)。

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有了這個(gè)裝置,我們可以輕松地測(cè)量單個(gè)標(biāo)簽的獨(dú)特共振。我們會(huì)測(cè)量各種共振頻率峰值與相關(guān)幾何結(jié)構(gòu)的理想標(biāo)簽的峰值之間的偏移量,從而記錄該簽名。然后,我們會(huì)將這些頻率偏移轉(zhuǎn)換成一個(gè)二進(jìn)制數(shù),并將所有這些數(shù)位串在一起,形成每個(gè)標(biāo)簽特有的數(shù)字簽名。我們目前使用的方案產(chǎn)生了31位長(zhǎng)的標(biāo)識(shí)符,這意味著可能有20多億個(gè)不同的二進(jìn)制簽名,這足以獨(dú)一無二地標(biāo)記任何你能想到的可能需要驗(yàn)證的產(chǎn)品。 依靠標(biāo)簽細(xì)微的物理特性來定義其獨(dú)一無二的簽名可以防止克隆,但這會(huì)帶來另一個(gè)問題:這些特性可能會(huì)改變。 例如,在潮濕的環(huán)境中,標(biāo)簽可能會(huì)吸附空氣中的一些水分,這會(huì)改變其共振特性。不過,在標(biāo)簽上覆蓋一層薄薄的保護(hù)層(比如一些透明聚合物),就可以輕松防止這種可能性,而且不會(huì)干擾標(biāo)簽的振動(dòng)。

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我們也需要認(rèn)識(shí)到,共振頻率會(huì)隨著標(biāo)簽溫度的變化而變化。不過,我們可以避開這個(gè)復(fù)雜的問題。我們不是根據(jù)標(biāo)簽振蕩模式的絕對(duì)頻率來表征標(biāo)簽,而是測(cè)量不同共振頻率之間的關(guān)系,當(dāng)標(biāo)簽的溫度變化時(shí),這些共振頻率會(huì)以相似的相對(duì)量發(fā)生變化。無論標(biāo)簽溫度是熱還是冷,這個(gè)程序都能確保測(cè)量的特性可轉(zhuǎn)換為相同的31位數(shù)字。我們已經(jīng)在相當(dāng)大的溫度范圍內(nèi)(從0℃到200℃)測(cè)試了這個(gè)策略,并且發(fā)現(xiàn)它非常穩(wěn)健。

我們用作掃描儀的射頻網(wǎng)絡(luò)分析儀是一種昂貴的設(shè)備,與它相連的小線圈傳感器需要貼在標(biāo)簽上。雖然在某些應(yīng)用中,標(biāo)簽在產(chǎn)品上的位置可以標(biāo)準(zhǔn)化(例如用于驗(yàn)證信用卡),但在其他情況下,掃描產(chǎn)品的人可能不知道標(biāo)簽在物品的哪個(gè)位置。因此,我們現(xiàn)在正在努力開發(fā)一種更小、更便宜的掃描單元,使其傳感器不必放置在標(biāo)簽正上方。 我們也在探索在標(biāo)簽制作完成后改變其共振的可行性,因?yàn)槲覀冊(cè)谘芯恐杏幸馔獍l(fā)現(xiàn)。我們給標(biāo)簽選擇的壓電層材料有點(diǎn)不尋常。壓電設(shè)備像我們手機(jī)中的一些濾波器一樣,通常是由氮化鋁制成的,而我們采用的材料中含有大量的鈧摻雜,這增強(qiáng)了它的壓電性能。 決定使用這種更奇特的配方時(shí),我們還不知道它會(huì)出現(xiàn)第二種特性:它會(huì)使材料變成鐵電體,這意味著可以通過給它施加電壓而實(shí)現(xiàn)電極化,即使消除施加電壓后,極化仍然存在。這與我們的應(yīng)用有關(guān),因?yàn)椴牧系臉O化會(huì)影響其電氣和機(jī)械性能。在標(biāo)簽制造完成后,給標(biāo)簽賦予一種特殊的極化模式,會(huì)改變其共振頻率及其相對(duì)振幅。通過用這種方法形成的方案,小批量制造商甚至最終用戶可以將簽名“燒錄”到這些標(biāo)簽中。 我們對(duì)RF NEMS標(biāo)簽的研究得到了發(fā)現(xiàn)金融服務(wù)公司的部分資助,該公司是廣泛使用的發(fā)現(xiàn)(Discover)信用卡的母公司。不過,許多其他類型的公司肯定會(huì)對(duì)我們一直研究的微小標(biāo)簽的應(yīng)用感興趣。甚至有一天政府也可能會(huì)采用納米機(jī)械標(biāo)簽來鑒別紙幣。 當(dāng)然,這些標(biāo)簽的用途究竟有多廣泛,取決于我們正在設(shè)計(jì)的手持掃描儀的成功程度(手持掃描儀甚至可能成為智能手機(jī)的一個(gè)簡(jiǎn)單附加組件),以及我們的猜測(cè)(即這些標(biāo)簽可以在制造完成后進(jìn)行定制)是否正確。不過,在朝著一項(xiàng)技術(shù)的商業(yè)化邁出第一步時(shí),我們很高興能夠探索所有這些可能性,而且這項(xiàng)技術(shù)有朝一日可能有助于阻止世界上最廣泛的犯罪活動(dòng)。

審核編輯 :李倩

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原文標(biāo)題:隱秘的驗(yàn)證器:納米級(jí)的機(jī)電標(biāo)簽

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    在工業(yè)自動(dòng)化的浪潮中,伺服系統(tǒng)的定位精度就像是一把精準(zhǔn)的手術(shù)刀,決定著生產(chǎn)的質(zhì)量和效率。而多摩川 17 位絕對(duì)式編碼,無疑是這把手術(shù)刀上最為鋒利的刃口,它實(shí)現(xiàn)了伺服系統(tǒng)納米級(jí)的定位精度,為工業(yè)生產(chǎn)帶來了質(zhì)的飛躍
    的頭像 發(fā)表于 07-16 16:28 ?1227次閱讀
    多摩川17位絕對(duì)式編碼<b class='flag-5'>器</b>實(shí)現(xiàn)伺服系統(tǒng)<b class='flag-5'>納米級(jí)</b>定位精度

    Keithley 2450數(shù)字源表納米級(jí)材料測(cè)試的精密利器

    、操作復(fù)雜性高等問題亟待解決。美國(guó)吉時(shí)利(Keithley)推出的2450數(shù)字源表,憑借高精度、多功能及智能化設(shè)計(jì),為納米級(jí)材料測(cè)試提供了突破性解決方案,成為科研與工業(yè)領(lǐng)域的精密利器。 ? 一、核心技術(shù)特性:精密測(cè)量的基石
    的頭像 發(fā)表于 07-09 14:40 ?687次閱讀
    Keithley 2450數(shù)字源表<b class='flag-5'>納米級(jí)</b>材料測(cè)試的精密利器

    壓電納米定位系統(tǒng)搭檔金剛石色心-在納米尺度上捕捉量子世界的奧秘

    在量子計(jì)算、生物傳感、精密測(cè)量等前沿領(lǐng)域,金剛石中的氮-空位(NV)色心正成為顛覆性技術(shù)的核心材料,其獨(dú)特的量子特性為科技突破提供了無限可能,更因其卓越的性質(zhì)和廣泛的應(yīng)用而成為納米級(jí)研究的有力工具
    的頭像 發(fā)表于 06-05 09:30 ?1262次閱讀
    壓電<b class='flag-5'>納米</b>定位系統(tǒng)搭檔金剛石色心-在<b class='flag-5'>納米</b>尺度上捕捉量子世界的奧秘

    滾珠導(dǎo)軌:電子制造“納米級(jí)”精度的運(yùn)動(dòng)基石

    在電子制造與半導(dǎo)體設(shè)備追求“微米級(jí)工藝、納米級(jí)控制”的賽道上,滾珠導(dǎo)軌憑借高剛性、低摩擦與高潔凈特性,成為精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的核心載體。
    的頭像 發(fā)表于 05-29 17:46 ?631次閱讀
    滾珠導(dǎo)軌:電子制造“<b class='flag-5'>納米級(jí)</b>”精度的運(yùn)動(dòng)基石

    優(yōu)可測(cè)白光干涉儀AM系列:量化管控納米級(jí)粗糙度,位移傳感關(guān)鍵零件壽命提升50%

    位移傳感模組的編碼盤,其粗糙度及碼道的刻蝕深度和寬度,會(huì)對(duì)性能帶來關(guān)鍵性影響。優(yōu)可測(cè)白光干涉儀精確測(cè)量表面粗糙度以及刻蝕形貌尺寸,精度最高可達(dá)亞納米級(jí),解決產(chǎn)品工藝特性以及量化管控。
    的頭像 發(fā)表于 05-21 13:00 ?968次閱讀
    優(yōu)可測(cè)白光干涉儀AM系列:量化管控<b class='flag-5'>納米級(jí)</b>粗糙度,位移傳感<b class='flag-5'>器</b>關(guān)鍵零件壽命提升50%

    納米級(jí)形貌快速測(cè)量,優(yōu)可測(cè)白光干涉儀助力摩擦磨損學(xué)科發(fā)展

    研究摩擦學(xué),能帶來什么價(jià)值?從摩擦磨損到亞納米級(jí)精度,白光干涉儀如何參與摩擦學(xué)發(fā)展?
    的頭像 發(fā)表于 04-21 12:02 ?1257次閱讀
    <b class='flag-5'>納米級(jí)</b>形貌快速測(cè)量,優(yōu)可測(cè)白光干涉儀助力摩擦磨損學(xué)科發(fā)展