UV-LED是輸出波長為紫外區(qū)域的發(fā)光二極管，波長范圍大致為200~380nm。UV-LED具有能效高、壽命長、節(jié)能環(huán)保、使用靈活方便的特點。與低壓汞燈、中高壓汞燈、氙燈和準(zhǔn)分子燈其他紫外光源相比，UV-LED光源具有輻射效率高，工作速率快、工作壽命長（1-2萬小時）、環(huán)境友好不含汞、熱輻射小等優(yōu)異的特性。因此，UV-LED逐漸代替?zhèn)鹘y(tǒng)紫外光源，成為了主流的光源結(jié)構(gòu)。

由于紫外線光量子具有較大的能量，因此紫外光可廣泛地應(yīng)用于光刻、固化、曝光等改變成分的場景。

紫外固化

紫外線固化和紫外線粘接當(dāng)紫外線照射時，光敏劑吸收紫外光，使單體處于激發(fā)狀態(tài)。激發(fā)的單體通過聚合反應(yīng)固化為聚合物。

紫外線曝光

在光刻膠膜中發(fā)生的化學(xué)過程導(dǎo)致其在顯影液中溶解度的增加(正膠)或減少(負(fù)膠)，從而可以產(chǎn)生出特定結(jié)構(gòu)光刻膠膜。

光功能分子

光功能分子可以重復(fù)光引起的結(jié)構(gòu)變化，因為分子在照射紫外光時會做出反應(yīng)，導(dǎo)致結(jié)構(gòu)變化，但在不同波長照射光時結(jié)構(gòu)會恢復(fù)。

在實際的工業(yè)生產(chǎn)、科研場景和半導(dǎo)體制造過程中，一些場景往往需要高功率UVLED光源以保證最終的生產(chǎn)效果。

紫外線固化

將電子元件/汽車零件的固化、相機(jī)鏡頭/針頭集成到、自動生產(chǎn)線

激勵光源

熒光顯微鏡、熒光分析、生命科學(xué)

紫外線照射

光刻、檢測設(shè)備的嵌入式、表面/外觀檢測

高功率 UVLED光源能夠輸出高功率、高穩(wěn)定性的光，平穩(wěn)地控制輸出波長和功率，可滿足生產(chǎn)線安裝，研發(fā)過程中的高性能化學(xué)和物理過程的研究，呈現(xiàn)出快速且穩(wěn)定的固化過程。

虹科高功率UVLED點光源是先進(jìn)的紫外發(fā)光二極管光引擎，采用“UV-LED、電源和冷卻系統(tǒng)”的集成結(jié)構(gòu)，可實現(xiàn)多個大功率 UV-LED安裝，實現(xiàn)業(yè)界高功率輸出。

優(yōu)勢：

1. 實現(xiàn)光譜模塊化

完全靈活地組合和選擇可用的波長，適用于各種紫外線應(yīng)用場景

多波長組合型紫外光源的優(yōu)點：

創(chuàng)建新的固化工藝以提高性能

深度固化，實現(xiàn)高聚合度，提高結(jié)合強(qiáng)度

2.更改照射范圍

由于虹科UVLED光源是點光源類型的，因此通過“改變鏡頭和工作距離”，可以自由改變照射范圍。除了支持表面發(fā)射外，還可以將高功率光照射到狹窄區(qū)域進(jìn)行冷凝。此外，由于區(qū)域是均勻的，因此可以均勻地執(zhí)行任務(wù)。

可選配件：

單級或多級液體光導(dǎo)

聚光/聚焦光學(xué)器件

各種聚光和聚焦光學(xué)器件可用于方形、六角形或圓形曝光。

其他均質(zhì)化光管可根據(jù)要求增強(qiáng)均勻性。

產(chǎn)品介紹

虹科ALE/1

ALE/1是代替以往的放電燈的高輸出、高穩(wěn)定的LED光源裝置，先進(jìn)的UVLED光引擎最多可內(nèi)置5種LED，可輸出多個波長（365nm，385nm，405nm，435nm）。LED模塊易于更換，可靈活應(yīng)對應(yīng)用程序更改。

特點：

高達(dá)30W光輸出

定制光譜成分（紫外線、可見光、近紅外線）

適應(yīng)未來需求且具備顯著所有權(quán)成本優(yōu)勢的無汞光源

閉環(huán)控制輸出、以實現(xiàn)最大過程穩(wěn)定性

易于集成到新的和現(xiàn)有設(shè)置中、無需外部冷卻

應(yīng)用：

半導(dǎo)體制造（曝光機(jī)、先進(jìn)封裝投影***、晶圓邊緣曝光、光掩模檢查等）

點固化在汽車、電子、光電子、制藥等行業(yè)的應(yīng)用

質(zhì)量保證和檢查（NDT）

生命科學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用

虹科ALE/3

ALE/3是代替以往的水銀燈的高輸出LED紫外線光源裝置，可內(nèi)置2種LED，可同時輸出多個波長，是粘合劑硬化及半導(dǎo)體晶片的周邊曝光等應(yīng)用中有效光源方案。

特點：

高達(dá)15 W光輸出

可選擇單光譜設(shè)置（365、385、405或435nm）和多光譜設(shè)置（365和405nm）

適應(yīng)未來需求且具備顯著所有權(quán)成本優(yōu)勢的無汞光源

易于集成到新的和現(xiàn)有設(shè)置中、無需外部冷卻

應(yīng)用：

LED光源替代200W汞燈的完美解決方案

點固化在汽車、電子、光電子、制藥等行業(yè)的應(yīng)用

晶圓邊緣曝光（WEE）在半導(dǎo)體制造行業(yè)的應(yīng)用

質(zhì)量保證和檢查（NDT）

生命科學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用

審核編輯黃昊宇