MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫(yī)學等多種學科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。

MEMS傳感器通常被分為以下7類：

1、壓力傳感器和計量壓力的傳感器。

2、熱學傳感器：溫度和熱量傳感器。

3、力學傳感器：力、壓強、速度和加速度傳感器。

4、化學傳感器：化學濃度、化學成分和反應(yīng)率傳感器。

5、磁學傳感器：磁場強度、磁通密度和磁化強度傳感器。

6、輻射傳感器：電磁波強度傳感器。

7、電學傳感器：電壓、電流和電荷傳感器。

除了上面介紹的幾種典型的MEMS傳感器外，還有許許多多的MEMS傳感器，如用于微觀判斷的MEMS觸覺傳感器、MEMS生物傳感器、MEMS圖像傳感器等。在不同環(huán)境中，MEMS傳感器的技術(shù)應(yīng)用也是不同的。但是，無論何種傳感器，都需要有防護涂層才能夠使其延長使用壽命。

派瑞林是一種新型敷形涂層材料，是一種對二甲苯聚合物，它具有化學惰性，不溶于酸、堿和有機溶劑，并能抗水解剝蝕，由這種技術(shù)形成的薄膜涂層能覆蓋到絲織物的棱邊和縫隙內(nèi)。其表面呈疏水性，對水汽和腐蝕性氣體滲透性差，熱穩(wěn)定性好，在酸霧、霉菌、潮濕、腐蝕性等惡劣環(huán)境中有很好的隔離防護功能。派瑞林(Parylene)膜層因其生成環(huán)境溫度較低、介電常數(shù)小、潤滑性好、摩擦系數(shù)低、絕緣性和防腐性好等特點，在多個領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

目前傳感器敏感元件直接暴露在使用環(huán)境中，缺乏防護涂層，容易受到水汽和鹽霧等惡劣環(huán)境的影響，從而導致傳感器敏感元件的使用壽命較短，派瑞林(Parylene)可在真空下氣相沉積，其活性分子的良好穿透力能在元件內(nèi)部、底部，周圍形成無針孔，厚度均勻的透明絕緣涂層，給傳感器敏感元件提供一個完整的優(yōu)質(zhì)防護涂層，抵御酸堿、鹽霧、霉菌及各種腐蝕性氣體的侵害。

另外，派瑞林涂層技術(shù)因其涂層均勻、致密、超薄，不會改變傳感器的靈敏性、外觀、尺寸、彈性等，近年來在傳感器表面鍍膜Parylene已經(jīng)成為一種趨勢，經(jīng)Parylene鍍膜防護的傳感器包括汽車傳感器、腐蝕環(huán)境用傳感器、生物醫(yī)學傳感器、聲學傳感器、生物醫(yī)學電極和植入傳感器等等。Parylene對傳感器的保護除了絕緣防護外，更多是用做惡劣環(huán)境防護材料，Parylene膜層能耐酸、堿和有機溶劑，對水汽和鹽霧等惡劣環(huán)境有極好的阻隔防護能力。

審核編輯 黃宇