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3D打印顛覆性技術(shù)背后的真空“奧秘”

半導(dǎo)體芯科技SiSC ? 來源:半導(dǎo)體芯科技SiSC ? 作者:半導(dǎo)體芯科技SiS ? 2023-03-06 18:03 ? 次閱讀
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來源:普發(fā)真空

3D打印技術(shù)又稱增材制造(Additive manufacturing),是一種以數(shù)字模型文件為基礎(chǔ),將可粘合材料逐層疊加以構(gòu)建現(xiàn)實三維物體的技術(shù)。我們可以將這個過程比喻成“糖人制作”:師傅用熱熔的糖漿繪制出各類圖案,糖漿便是可粘合材料,通過冷卻和不斷堆疊形成具有立體感的糖人。

作為“決定未來經(jīng)濟(jì)的12大顛覆技術(shù)”之一和第三次工業(yè)革命的引擎,3D打印標(biāo)志著從傳統(tǒng)制造邁向智能制造的巨大產(chǎn)業(yè)變革,現(xiàn)被廣泛應(yīng)用于建筑、醫(yī)療、航空航天、汽車制造等多種制造業(yè)領(lǐng)域。從最初的液態(tài)樹脂到如今的金屬粉末,3D打印通過不斷的技術(shù)更迭,引發(fā)了新的技術(shù)革命浪潮。在這一顛覆性制造技術(shù)發(fā)展的背后,需要真空技術(shù)的加持。

電子束熔融與真空技術(shù)應(yīng)用

提到金屬的3D打印,我們就要談?wù)勲娮邮廴冢‥BM)了。這是一種特殊的增材制造技術(shù),產(chǎn)品由金屬粉末制成,可生產(chǎn)出傳統(tǒng)金屬加工工藝因為技術(shù)或經(jīng)濟(jì)原因無法生產(chǎn)的高度復(fù)雜的部件,且生產(chǎn)效率極高。這種工藝雖然與選擇性激光熔融(SLM)類似,但是相比于SLM所使用的激光束,EBM的能量源是電子束。因此,該工藝必須在真空環(huán)境中實現(xiàn)。真空技術(shù)在EBM工藝中扮演著多種角色,以保證整個過程的穩(wěn)定性和可靠性。具體如下:

?防止在熱金屬中形成氣泡,在真空下打印部件可達(dá)到理想的脫氣效果,形成均勻平滑的金屬層。

?防止熔融金屬粉末的氧化,打印結(jié)束后可以直接回收大量非熔化粉末,避免粉末在加熱時出現(xiàn)銹蝕。

?在真空環(huán)境下,通過分裂電子束同時在多個位置熔化粉末,從而加速打印過程。

?進(jìn)行精準(zhǔn)的氣體泄漏檢測,保證過程的密封和安全性。

為了滿足以上EBM生產(chǎn)技術(shù)的要求,需要多種真空設(shè)備的支持。

普發(fā)真空助力電子束熔融

作為全球領(lǐng)先的真空設(shè)備供應(yīng)商之一,普發(fā)真空針對電子束熔融技術(shù)提供了全面的產(chǎn)品組合,在抽真空、真空測量、真空計校準(zhǔn)以及泄漏檢測四個環(huán)節(jié)支持整個EBM生產(chǎn)過程的正常運行。

抽真空對于EBM的制造室以及電子束槍來說都非常重要。抽真空過程需要非常迅速以縮短準(zhǔn)備時間,這對于真空設(shè)備的極限真空及解吸率的要求非常高。普發(fā)真空可以為EBM抽真空提供優(yōu)秀的真空泵組,包括前級泵和高真空泵,其中普發(fā)HiPace渦輪分子泵系列產(chǎn)品在制造室抽真空領(lǐng)域的應(yīng)用已經(jīng)非常成熟。

通過抽真空獲得真空之后,還需要專業(yè)的設(shè)備測量壓力以確保達(dá)到壓力要求,即進(jìn)行真空測量。普發(fā)真空RPT 200型和HPT 200型真空計組合能夠同時達(dá)到對精準(zhǔn)度和對電子束無磁場干擾的要求,可用于測量高真空泵的前級真空壓力。另外,對真空計定期進(jìn)行校準(zhǔn),對于EBM長期的工藝穩(wěn)定性來說是必不可少的。普發(fā)真空研發(fā)的校準(zhǔn)泵組,有基本和專業(yè)型號,符合ISO 3567標(biāo)準(zhǔn),可滿足不同的真空計校準(zhǔn)需求。

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△圖2:普發(fā)真空針對電子束熔融提供全系列的產(chǎn)品組合。

當(dāng)然,真空獲得后需要有良好的密封性,才能夠真正保證EBM工藝過程中的真空度。為了能夠達(dá)到EBM系統(tǒng)對于累計泄漏率的要求,需要進(jìn)行泄漏檢測,氦氣檢漏儀在這里就要登場了。普發(fā)真空可針對不同的應(yīng)用需求,提供普遍適用的ASM 340檢漏儀或緊湊便攜的ASM 310檢漏儀。

除了以上的四個環(huán)節(jié)之外,普發(fā)真空還可為EBM提供其他真空設(shè)備和組件的定制服務(wù)。

目前在3D打印中,金屬材料的使用率越來越高,這帶動了3D打印向高端制造市場的拓展。普發(fā)真空將全力支持這一全球性的技術(shù)革命,以領(lǐng)先的真空解決方案助力3D打印制造商突破傳統(tǒng)制造業(yè)的局限,從“制造”向“智造”過渡,實現(xiàn)新一代高科技創(chuàng)新。

深圳芯盛會

3月9日,與行業(yè)大咖“零距離”接觸的機(jī)遇即將到來,半導(dǎo)體業(yè)內(nèi)封裝專家將齊聚深圳,CHIP China晶芯研討會誠邀您蒞臨“拓展摩爾定律-半導(dǎo)體先進(jìn)封裝技術(shù)發(fā)展與促進(jìn)大會”現(xiàn)場,一起共研共享,探索“芯”未來!點擊鏈接,了解詳情:http://w.lwc.cn/s/M3INb2

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審核編輯黃宇

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