Roban系列飛秒激光加工系統(tǒng)應用案例
Roban系列飛秒激光加工系統(tǒng)在微切割和轉孔、表面微結構刻寫、選擇性激光燒蝕、透明材料激光內(nèi)部特性加工、激光誘導化學改性加工中有廣泛的應用。
圖1. 砷化鎵（直徑2英寸，厚度300微米）鉆孔。左圖直徑800 mm、500 mm、 300 mm 和 200 mm 微孔陣列. 右圖直徑5mm、3mm、 2mm、1mm、800 mm and 500 mm 微孔圖樣。
圖2. 藍寶石晶體表面光柵刻劃，周期2 mm和3 mm。
圖3. 透明材料（藍寶石）內(nèi)部激光誘導折射率變化--衍射光柵
審核編輯黃宇
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