內(nèi)容概要

從光譜范圍來看，傳統(tǒng)的輻射校準(zhǔn)光源，如氘燈、石英窗鹵素鎢燈、長弧氙燈等在光譜測量范圍上都具有非常大的局限性，因為上述光源無法在200 nm-800 nm范圍內(nèi)保持較高的輸出。另外，傳統(tǒng)光源需要在使用100小時或更短時間后進行重新校準(zhǔn)，在使用500小時后還需要更換燈泡。為了解決上述問題，Hamamatsu集團旗下的Energetiq公司經(jīng)過一系列不懈的努力革命性地研發(fā)出單點激光驅(qū)動光源技術(shù)，并將其命名為LDLS（Laser Driven Light Source），該類光源不僅可以在170 nm至2100nm的光譜范圍內(nèi)提供超高發(fā)光亮度，而且整個光源的發(fā)光壽命相比較于傳統(tǒng)光源也高出了整整一個數(shù)量級。

本講座視頻中，濱松中國工程師詳細(xì)介紹了LDLS的原理、性能特點、典型應(yīng)用案例，以及應(yīng)用中的常見問題，帶著大家進一步了解這個顛覆性的技術(shù)。

Q&A

Q：光源使用都必須需要充氮氣？還是使用紫外時充氮氣？

LDLS光源輸出大量深紫外光，200nm以下的深紫外光會使氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧，同時臭氧會吸收240nm~270nm的深紫外光。因此，如需使用170nm~270nm的深紫外光，光源在使用時需要充入純凈氮氣。同時，充入氮氣也可以防止燈泡被空氣中有機蒸汽污染。為了保證光學(xué)器件的潔凈，氮氣需要滿足6級潔凈度，充入氮氣的氣壓需要保持在0.14 MPa。

Q：光源對環(huán)境的要求是什么？高穩(wěn)定性指標(biāo)能到多少？

光源對環(huán)境的要求：為了防止光源光窗和其他光學(xué)器件的污染，需要將光源在相對潔凈的環(huán)境中使用。光源需要向外部散發(fā)熱量，需要將光源放置在散熱良好的空間中。

高穩(wěn)定性指標(biāo)能到多少：請參照EQ-99XFC的穩(wěn)定性測試情況。

Q：光束特性是什么，是準(zhǔn)直光么，發(fā)散角是多少？

EQ-99X是自由空間輸出的點光源，NA=0.47；

EQ-77是自由空間輸出的點光源，NA=0.5；

EQ-400是自由空間輸出的點光源，NA=0.5；

EQ-99XFC是光纖輸出，NA=0.22。

Q：發(fā)光器件是耗材么，后期需要怎么維護？

我們推薦每9千小時進行一次燈泡更換，燈泡更換需要返廠，更換完成后會重新老化校準(zhǔn)保留測試數(shù)據(jù)。

Q：紫外波段使用時高純度氮氣流量1slm，消耗量非常大，是否可能封閉燈室減少氮氣用量？

封閉燈室，需要通過膠水或者焊接的方式將燈室完全密封。燈室部分，需要對燈泡和光源部分進行更換和調(diào)整，而且EQ-77，EQ-400光源，還需要水冷部分，所以無法封閉燈室，只能通過流動的氮氣。

Q：能做到150mm的大光斑么？

LDLS的特點是小光斑，高亮度，通過外置光學(xué)系統(tǒng)，可以將光束擴大到150mm，但是光束擴大后亮度也會相應(yīng)降低，所以需要總體看擴大光束后亮度降低的情況能否滿足實際需求。

審核編輯：湯梓紅