近期，中國科學(xué)院微電子研究所硅光子平臺完成了平臺工藝設(shè)計工具包（PDK），與深圳逍遙科技有限公司光電芯片全流程設(shè)計自動化平臺PIC Studio的集成，助力于微電子所硅光子平臺的多樣性。

硅光子技術(shù)是利用成熟的CMOS平臺和技術(shù)，采用硅基材料進(jìn)行光電器件和芯片的開發(fā)與生產(chǎn)。該技術(shù)是后摩爾時代微電子跨領(lǐng)域發(fā)展的方向之一，也是光電子走向大規(guī)模集成的必然途徑。硅光子不僅在現(xiàn)階段的光通信、光互連領(lǐng)域有迫切的應(yīng)用需求，在未來的芯片內(nèi)光互連和光計算機(jī)上都有重要的應(yīng)用前景。

中國科學(xué)院微電子研究所硅光子平臺基于微電子所先導(dǎo)中心成熟的8英寸CMOS工藝線，該CMOS工藝線支撐開發(fā)了成套硅光工藝和器件，制定了設(shè)計規(guī)則和工藝規(guī)范，并形成了PDK。該硅光子平臺已為280多個客戶提供了20批次MPW流片服務(wù)和約70次定制化流片服務(wù)，得到了業(yè)內(nèi)人士的高度評價。為了進(jìn)一步擴(kuò)大平臺能力和規(guī)范服務(wù)流程，該硅光子平近期與深圳逍遙科技有限公司合作，將PDK內(nèi)容與其設(shè)計平臺PIC Studio進(jìn)行集成。

PIC Studio工具鏈包括pLogic原理圖工具、Advanced SDL原理驅(qū)動版圖生成工具、pSim鏈路仿真工具和PhotoCAD版圖設(shè)計工具。pSim仿真支持基于測量的物理模型和工藝容忍度分析，提供實(shí)用的波導(dǎo)、電子和光子器件庫，用于頻域和眼圖分析。與第三方軟件集成可支持從FDTD器件求解到系統(tǒng)仿真以及Electrical-Optical-Electrical (E-O-E)光電聯(lián)合設(shè)計仿真流程。通過使用微電子所硅光平臺PDK所提供的器件庫，用戶可以方便且靈活地進(jìn)行符合平臺規(guī)范的硅光芯片設(shè)計。這改變了我國硅光子流片在過去基本依賴國外平臺的局面，為我國的硅光子技術(shù)研究和產(chǎn)品研發(fā)提供了強(qiáng)大的支持。

基于上述技術(shù)集成，微電子所硅光子平臺將為客戶提供更為便捷、靈活的產(chǎn)品設(shè)計方案，大大提高設(shè)計效率，有利于客戶的產(chǎn)品更快地投入到市場。

關(guān)于中國科學(xué)院微電子研究所：

微電子所成立于1958年，是我國微電子科學(xué)技術(shù)與集成電路領(lǐng)域的重要研發(fā)機(jī)構(gòu)。微電子所在半導(dǎo)體器件與集成電路制造、集成電路設(shè)計與應(yīng)用、集成電路裝備等領(lǐng)域展開科研工作，設(shè)有13個研發(fā)單元，具備從原理器件、集成工藝、制造裝備到核心芯片開發(fā)的全鏈條、體系化科技創(chuàng)新與關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)能力。微電子所將秉承“惟精惟一、求是求新”的所訓(xùn)，聚焦國家重大戰(zhàn)略需求，加快提升原始創(chuàng)新能力，加快突破關(guān)鍵核心技術(shù)，砥礪奮進(jìn)、開拓創(chuàng)新，為實(shí)現(xiàn)我國集成電路領(lǐng)域科技自立自強(qiáng)不斷做出新的貢獻(xiàn)。

關(guān)于逍遙科技：

逍遙科技是一家致力于為“特色工藝”半導(dǎo)體芯片設(shè)計提供自動化解決方案的創(chuàng)新型企業(yè)。特色工藝半導(dǎo)體芯片應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，包括光電子、功率器件、MEMS/智能傳感、模擬/射頻芯片等。由于芯片版圖布線方式、標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)化單元（PCell）、特征尺寸、材料對信號傳輸?shù)挠绊懙鹊确矫?，與數(shù)字電路芯片存在較大差異，傳統(tǒng)EDA工具難以滿足特色工藝芯片的設(shè)計需求。

逍遙科技集結(jié)了一支擁有專業(yè)EDA背景的資深團(tuán)隊?；诙嗄暝谔厣に囆酒O(shè)計自動化領(lǐng)域的需求分析、方法論研究、產(chǎn)品規(guī)劃與開發(fā)實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，我們與行業(yè)客戶緊密合作，研發(fā)出滿足行業(yè)需求的EDA全流程解決方案。部分功能不僅填補(bǔ)了“特色工藝”EDA在國內(nèi)的空白，更在行業(yè)中處于領(lǐng)先地位。

逍遙科技正在與國內(nèi)外晶圓代工廠及中試線通力合作，致力于建立PDK設(shè)計套件，以實(shí)現(xiàn)芯片從設(shè)計到流片的全流程。逍遙科技將與廣大業(yè)界同行一起努力，加速實(shí)現(xiàn)EDA軟件的國產(chǎn)化進(jìn)程，突破EDA軟件的“卡脖子”狀態(tài)！為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)力量。