東京電子成功開(kāi)發(fā)400層堆疊3D NAND閃存技術(shù)
東京電子9日宣布，成功開(kāi)發(fā)出了可以用于制造400段以上堆砌而成的3d nand閃存的“存儲(chǔ)器洞蝕刻技術(shù)”。研究組開(kāi)發(fā)的新技術(shù)首次使電蝕在低溫下也能應(yīng)用，發(fā)明了具有很高蝕覺(jué)速度的系統(tǒng)。
這一創(chuàng)新技術(shù)可在短短33分鐘內(nèi)完成10微米深度的刻蝕，比以往的技術(shù)大大縮短了時(shí)間。東京電子方面表示：“如果應(yīng)用該技術(shù)，不僅有助于制造高容量3d nand，還可以減少84%的地球變暖危險(xiǎn)。”
東京電子表示，開(kāi)發(fā)該技術(shù)的小組將于6月11日至16日在日本京都舉行的“2023年招待所集成電路技術(shù)及工程研討會(huì)”上發(fā)表最新成果和報(bào)告書(shū)。
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