表面粗糙度，是指加工表面具有的較小間距和微小峰谷不平度，其兩波峰或兩波谷之間的距離（波距）很小（在1mm以下），它屬于微觀幾何形狀誤差。表面粗糙度越小，則表面越光滑。

表面粗糙度的評(píng)定方法

1.二維粗糙度評(píng)定

在常規(guī)工業(yè)加工領(lǐng)域中，Ra是常用的表面粗糙度評(píng)定參數(shù)，其定義為在取樣長(zhǎng)度L內(nèi)，輪廓偏距的絕對(duì)值的算術(shù)平均值。

2.三維粗糙度評(píng)定

隨著工業(yè)制造越來(lái)越精密化，特別是半導(dǎo)體和3C電子行業(yè)，傳統(tǒng)的粗糙度評(píng)定為二維參數(shù)評(píng)定，評(píng)定的時(shí)候在一條線上進(jìn)行評(píng)定，不能夠完整地反映整個(gè)表面的全部信息，無(wú)法滿足行業(yè)發(fā)展需求。

表面形貌的三維評(píng)定方法是利用區(qū)域表面獲得所需要的相關(guān)信息，給出表面形成機(jī)理信息和研究表面的直觀圖像，三維評(píng)定從整體上對(duì)零件表面特征進(jìn)行描述，具有全局性。Sa為常用的三維表面粗糙度評(píng)定參數(shù)。

Sa為表面算術(shù)平均高度，指輪廓表面內(nèi)的點(diǎn)與中心面距離的算術(shù)平均或幾何平均值，在取樣區(qū)域D上，被測(cè)量的輪廓面和建立的基準(zhǔn)面之間的z坐標(biāo)距離的算術(shù)平均，即表面粗糙度曲面方程z坐標(biāo)絕對(duì)值的算術(shù)平均，數(shù)學(xué)表達(dá)式如下。

表面粗糙度測(cè)量方案

中圖儀器擁有豐富多樣的粗糙度測(cè)量解決方案，可滿足各行業(yè)測(cè)量需求。

1.SJ5760-R大量程粗糙度測(cè)量?jī)x

SJ5760-R大量程粗糙度測(cè)量?jī)xZ0軸行程±20μm~±400μm，粗糙度測(cè)量范圍Ra0.1μm~Ra64μm，可進(jìn)行R參數(shù)、P參數(shù)、W參數(shù)、Motif參數(shù)等多種參數(shù)評(píng)定，應(yīng)用非常廣泛。

SJ5760-R用于軸承鋼球的表面粗糙度測(cè)量

2.SJ5730高精度粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x

SJ5730高精度粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x一次測(cè)量可同時(shí)評(píng)定粗糙度及輪廓參數(shù)，具有14mm大量程粗糙度測(cè)量范圍，分辨率高達(dá)到次納米級(jí)，系統(tǒng)殘余誤差極小（<2nm），非常適合測(cè)量大曲面（軸承、關(guān)節(jié)、精密模具、齒輪、葉片、非球面）的超高精度表面粗糙度及微觀Pt輪廓。

SJ5730用于圓錐滾子軸承表面微觀輪廓Pt及粗糙度測(cè)量

3.SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀

SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀，以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造等領(lǐng)域，可測(cè)從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度。

硅晶圓粗糙度測(cè)量