MEMS熱式流量傳感器是基于流體傳熱學(xué)原理的一類傳感器，利用 MEMS 熱式原理對管路氣體介質(zhì)進行流量監(jiān)測。

流量芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成，熱偶堆對稱的分布在加熱電阻的上、下游，加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié)處于一個隔熱底座上。

當(dāng)流體靜止時，加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度是相同的，當(dāng)流體從右向左流動時等溫線向左側(cè)傾斜，加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度不再相同，溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測定。由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān)，因此傳感器可以直接測出流體質(zhì)量流量。

煒盛科技的流量傳感器包含F(xiàn)1012、F1013、F1022、F1031/F1031V等型號，采用新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)，具有很好的精度與重復(fù)性。新推出的流量傳感器是針對原有產(chǎn)品的升級開發(fā)，采用低壓損設(shè)計，廣泛用于各類氣體流量測量。

產(chǎn)品特點

?高靈敏度、高精度、低壓損；

?極低始動流量；

?高測量重復(fù)性；

?模塊化設(shè)計；

?可用于各類產(chǎn)品定制

01

FR03流量傳感器

FR03 型流量傳感器是針對原 F1013 產(chǎn)品升級開發(fā)。

FR03H流量傳感器

FR03H 型流量傳感器是針對原 F1012 產(chǎn)品升級開發(fā)。

FR03H 技術(shù)指標(biāo)

FR06流量傳感器

FR06 型流量傳感器是針對原 F1022 產(chǎn)品升級開發(fā)。

FR06 技術(shù)指標(biāo)

FR20流量傳感器

FR20 型流量傳感器是針對原 F1031V 產(chǎn)品升級開發(fā)。

FR20 技術(shù)指標(biāo)

流量傳感器應(yīng)用領(lǐng)域流量傳感器能夠用來測量無腐蝕，非強酸和強堿的氣體，可用于空氣采樣器、分析儀、呼吸機、麻醉劑、制氧機、檢漏儀、環(huán)境監(jiān)測設(shè)備、 粒子計數(shù)器、打火機自動調(diào)火設(shè)備、氣相色譜儀等多種領(lǐng)域。