10.9.1 導(dǎo)電原子力顯微鏡(CAFM)∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》
Conductive Atomic Force Microscope(CAFM)
審稿人：北京大學(xué) 張嘉陽
審稿人：北京大學(xué) 王潤聲
https://www.pku.edu.cn
10.9先進表征技術(shù)與測試技術(shù)
第10章 集成電路基礎(chǔ)研究與前沿技術(shù)發(fā)展
《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》下冊
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