垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸。垂直度測量由正交軸的兩組直線度測量組成，詳見下面垂直度測量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測量過程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測量中，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差＝光學(xué)直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。

激光干涉儀可以實現(xiàn)機(jī)床線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測。

如機(jī)器軸垂直度誤差測量（數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)等），SJ6000激光干涉儀垂直度測量是通過比較直線度值從而確定兩個標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度，即在同一基準(zhǔn)上對兩個標(biāo)稱正交軸分別進(jìn)行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進(jìn)行比較，得出兩個軸的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測量時反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸，在兩次測量過程中既不移動、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺測量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直，而不動直線度反射鏡。

典型情況下對于1.5米長的機(jī)器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇，因為傳統(tǒng)的實物基準(zhǔn)，如直角尺（金屬或大理石等）的長度一般局限于1米的范圍內(nèi)。

SJ6000激光干涉儀應(yīng)用范圍廣：
①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測；
②結(jié)合軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析；
③可實時監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動態(tài)特性分析。