ASML向中國推出“特供版”***？
7月6日消息，據臺媒報道，ASML試圖規(guī)避荷蘭新銷售許可禁令，面向中國大陸市場推出特別版DUV ***。
消息稱如果該項目繼續(xù)推進，中芯國際、華虹等半導體企業(yè)可以繼續(xù)使用ASML的設備生產 28 納米及更成熟工藝的芯片。
消息稱該特別版 DUV ***基于 Twinscan NXT: 1980Di 光刻系統(tǒng)改造，而 1980Di 是 10 年前推出的舊型號，不在本次官方禁令范圍內。1980Di 是 ASML 現有效率比較低的***，支持 NA 1.35 光學器件、分辨率可以達到 <38 nm，理論上可以支持 7nm 工藝。大多數晶圓廠使用 1980Di ***，主要生產 14nm 及以上工藝芯片，很少使用其生產 7nm 芯片。
不過，ASML對此最新回應表示：一直以來ASML都遵守所適用的法律條例，我們并沒有面向中國市場推出特別版的***。
但行業(yè)人士表示，報道指出的特別版DUV***是基于Twinscan NXT:1980Di光刻系統(tǒng)改造，作為10年前就已經推出的型號，因為技術已經嚴重退檔，所以不在新的和舊有的禁令中。雖然這類***理論上可以支持7nm芯片的制造，但因其生產效率極低，良品率太差，很少半導體公司在使用。
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原文標題：ASML向中國推出“特供版”光刻機？
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工商網監(jiān)
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