氣體流量的測(cè)量值是許多工藝生產(chǎn)的重要參數(shù)之一。由于氣體的可壓縮性，決定了它的流量測(cè)量比液體復(fù)雜，儀表的輸出信號(hào)除了與輸入信號(hào)有關(guān)，還與氣體密度、溫度和壓力等因素有關(guān)。所以，氣體的流量測(cè)量普遍存在溫壓補(bǔ)償問(wèn)題。

奧松電子研發(fā)制造的AS200系列質(zhì)量流量控制器，無(wú)需溫壓補(bǔ)償，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，還能自動(dòng)控制氣體流量。用戶根據(jù)生產(chǎn)需要進(jìn)行流量設(shè)定后，AS200自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。

AS200系列產(chǎn)品是奧松電子采用先進(jìn)的MEMS技術(shù)研發(fā)，在傳感器的驅(qū)動(dòng)，零點(diǎn)漂移的控制和閥控等諸多方面都采用了獨(dú)特的技術(shù)，保證了產(chǎn)品的高性能、高品質(zhì)和高可靠性，是目前市場(chǎng)上一款穩(wěn)定性好、精度高、泄漏率低、耐壓高的優(yōu)質(zhì)儀器。

與眾不同 性能出色

1、適用于多種常規(guī)氣體、混合氣體及腐蝕性氣體，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的測(cè)量控制，精度高達(dá)±1.0% S.P. (≥35% F.S）；±0.35% F.S. (<35% F.S.)；

2、產(chǎn)品通過(guò)十萬(wàn)次重復(fù)性測(cè)試，重復(fù)精度高達(dá)±0.2%F.S.；

3、耐壓強(qiáng)度為3MPa，最大工作壓力可達(dá)0.45MPa（可定制0.6MPa），能滿足市面上大部分的客戶需求；

4、1×10-10 Pa·m3 / sec H的低泄露率，氣密性好，保障生產(chǎn)安全；

5、無(wú)需預(yù)熱，快速響應(yīng)，流量控制穩(wěn)定；

6、流量范圍覆蓋多個(gè)量程，從5SCCM到200SLM（可定制），能適應(yīng)多種場(chǎng)景需求；

7、可同時(shí)支持數(shù)字信號(hào)，0～5V 模擬信號(hào)，4～20mA或 0~20mA 模擬信號(hào)，方便客戶選擇；

8、使用雙電源（±15 VDC）或單電源（+15～+28 VDC）；

9、提供功能強(qiáng)大的免費(fèi)客戶端上位機(jī)軟件；

10、定制化解決方案，支持自動(dòng)故障報(bào)警；

11、標(biāo)準(zhǔn)開(kāi)放的通訊協(xié)議為客戶自行開(kāi)發(fā)控制、采集軟件提供便利

多領(lǐng)域多場(chǎng)景應(yīng)用廣泛

氣體質(zhì)量流量控制器（AS200系列）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密控制和測(cè)量。它們?cè)?a target="_blank">半導(dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括:集成電路工藝設(shè)備, 如外延爐、擴(kuò)散爐、CVD、等離子刻蝕機(jī)、濺射臺(tái)、離子注入機(jī); 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細(xì)管測(cè)量?jī)x、氣相色譜儀及其它分析儀器。

審核編輯 黃宇