來(lái)源：《半導(dǎo)體芯科技》編譯

微型掃描儀體積小、重量輕、能效高，是移動(dòng)場(chǎng)景應(yīng)用的理想選擇。Fraunhofer IPMS已開(kāi)發(fā)出200多種不同的微型掃描儀，以滿足客戶的特定要求。服務(wù)范圍涵蓋整個(gè)價(jià)值鏈，從設(shè)計(jì)和原型開(kāi)發(fā)到在自己的無(wú)塵室進(jìn)行8英寸晶圓試生產(chǎn)。Fraunhofer IPMS不斷擴(kuò)大掃描鏡技術(shù)的應(yīng)用范圍，提供新穎的專利設(shè)計(jì)方案和技術(shù)模塊，并集成人工智能。

△微型掃描儀在醫(yī)療技術(shù)中潛力巨大

微型掃描儀是一種微小的光學(xué)元件，可以使微小的鏡面繞一個(gè)或多個(gè)軸線偏轉(zhuǎn)，從而實(shí)現(xiàn)非?？焖俸途_的掃描或投影。其非接觸式操作、體積小、重量輕、能效高，為醫(yī)療技術(shù)開(kāi)辟了新的可能性。微型掃描儀的醫(yī)療應(yīng)用包括醫(yī)用內(nèi)窺鏡、共聚焦顯微鏡、熒光顯微鏡、光譜儀和眼科的圖像采集。

Fraunhofer IPMS的微型掃描儀具有掃描角度大、掃描頻率高以及長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的特點(diǎn)。該研究所的服務(wù)還包括支持客戶開(kāi)發(fā)用于可控高精度驅(qū)動(dòng)的特定模塊設(shè)置和電子解決方案。特別是對(duì)于中小型企業(yè)來(lái)說(shuō)，F(xiàn)raunhofer研究所提供的各種評(píng)估套件使他們有可能將微型掃描儀技術(shù)集成到其產(chǎn)品開(kāi)發(fā)中，而無(wú)需耗費(fèi)大量時(shí)間和成本在內(nèi)部開(kāi)發(fā)符合規(guī)范的控制電子設(shè)備。

Fraunhofer IPMS 微型掃描儀在醫(yī)療技術(shù)中的應(yīng)用

近年來(lái)，F(xiàn)raunhofer IPMS已經(jīng)能夠?qū)ζ湎惹盀榭蛻糸_(kāi)發(fā)的微型掃描儀進(jìn)行驗(yàn)證，以便將其集成到客戶的產(chǎn)品中。因此，這些設(shè)備在實(shí)際應(yīng)用中證明了它們的價(jià)值。

例如，幾年前，F(xiàn)raunhofer IPMS開(kāi)發(fā)了雙諧振MEMS掃描儀，構(gòu)成了數(shù)字化牙科用緊湊型X射線膠片掃描儀的核心。這些微型掃描儀在公司內(nèi)部的無(wú)塵室中通過(guò)了客戶產(chǎn)品認(rèn)證，作為試生產(chǎn)的一部分，年產(chǎn)量可達(dá)數(shù)千臺(tái)。在專門開(kāi)發(fā)的集成電子元件載體上進(jìn)行組裝以及隨后的測(cè)試也在Fraunhofer IPMS進(jìn)行。研究所的ISO 9001認(rèn)證保證了Fraunhofer IPMS的質(zhì)量符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

Fraunhofer IPMS醫(yī)療技術(shù)的其他應(yīng)用還包括為Norlase公司開(kāi)發(fā)激光掃描儀，用于眼科治療視網(wǎng)膜和青光眼患者。通過(guò)使用Fraunhofer IPMS的MEMS掃描儀，系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了前所未有的小型化和高分辨率。

該研究所正在為新成立的Envision Diagnostics公司開(kāi)發(fā)用于標(biāo)準(zhǔn)化、快速和可靠的眼科檢查的微型掃描儀，該檢查可記錄、評(píng)估和顯示所有質(zhì)量參數(shù)。這將為醫(yī)生提供更全面、更可靠的患者數(shù)據(jù)，使他們能夠做出更安全的決策。

Fraunhofer IPMS顯微掃描鏡在顯微鏡中的應(yīng)用

顯微掃描鏡在醫(yī)學(xué)顯微鏡中也有很多應(yīng)用。借助光學(xué)相干斷層掃描技術(shù)，可以對(duì)物體的表面和深度結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析，分辨率可達(dá)微米級(jí)。Fraunhofer IPMS公司生產(chǎn)的微掃描鏡能夠記錄一種新型的環(huán)境參數(shù)，用于腫瘤輪廓的新型激光掃描顯微鏡的核心部件。這使得癌癥手術(shù)更快、更精確、更安全。在手術(shù)室中，外科醫(yī)生可以使用顯微鏡檢查剛剛切除腫瘤的組織。事先涂抹的熒光標(biāo)記使切口后殘留的癌細(xì)胞清晰可見(jiàn)。這樣就可以完全、精確地切除這些癌細(xì)胞。由于顯微鏡能準(zhǔn)確顯示健康組織的起始位置，因此周圍組織不會(huì)受到影響。而且無(wú)需等待實(shí)驗(yàn)室結(jié)果。

ZEISS公司的ZEISS Lattice Lightsheet 7被德國(guó)總統(tǒng)授予2022年德國(guó)未來(lái)獎(jiǎng)，它也使用了 Fraunhofer IPMS的微型掃描儀技術(shù)。用于對(duì)活細(xì)胞進(jìn)行平滑3D成像的顯微鏡系統(tǒng)使用了該研究所開(kāi)發(fā)的光偏轉(zhuǎn)立方體（LDC）掃描儀模塊。該模塊已通過(guò)認(rèn)證，并作為當(dāng)前產(chǎn)品試產(chǎn)的一部分提供給客戶ZEISS公司。

審核編輯 黃宇