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每個(gè)芯片上更多器件和更快時(shí)鐘速度的不斷發(fā)展，推動(dòng)了幾何形狀縮小、新材料和新技術(shù)的發(fā)展。由于更脆弱、功率密度更高、器件更復(fù)雜和新的失效機(jī)制，所有這些因素都對(duì)單個(gè)器件的壽命和可靠性產(chǎn)生了巨大的影響，曾經(jīng)壽命為100年的器件的生產(chǎn)工藝現(xiàn)在可能只有10年的壽命，這與使用這些器件的預(yù)期工作壽命非常接近。較小的誤差范圍意味著，必須從一開始就考慮器件的壽命和可靠性，從設(shè)備開發(fā)到工藝集成再到生產(chǎn)不斷進(jìn)行監(jiān)控，即使是很小的壽命變化，對(duì)今天的設(shè)備來說也可能是災(zāi)難性的。

雖然可靠性測試在封裝器件級(jí)進(jìn)行，但許多IC制造商正在轉(zhuǎn)移到晶圓級(jí)測試，包括需要在上游制造過程中進(jìn)行進(jìn)一步測試。晶圓級(jí)可靠性 (WLR) 測試還消除了由于封裝器件故障而造成的大部分時(shí)間、生產(chǎn)能力、資金和材料損失。因?yàn)榫A可以直接從生產(chǎn)線上拉下來進(jìn)行測試，而無需等待器件封裝，這一過程可能長達(dá)兩周，所以周轉(zhuǎn)時(shí)間明顯縮短。在器件和WLR測試中，大部分測試是相同的，所以相對(duì)容易能夠遷移到晶圓級(jí)測試。

WLR測試的應(yīng)力測量技術(shù)

應(yīng)力測量測試是一種通常用于評(píng)估半導(dǎo)體器件工作壽命和失效機(jī)制的技術(shù)。該測試側(cè)重于典型故障率浴盆曲線右側(cè)的故障（圖1），即與制造故障無關(guān)的故障。

圖 1. 典型的半導(dǎo)體可靠性曲線

應(yīng)力測量測試可以快速生成外推曲線，以預(yù)測器件的使用壽命，此類數(shù)據(jù)用于評(píng)估器件設(shè)計(jì)和監(jiān)控制造過程。由于典型的設(shè)備壽命是以年為單位測量的，因此需要技術(shù)來加速測試，最有效的方法是對(duì)設(shè)備進(jìn)行過度應(yīng)力測試，測量運(yùn)行的關(guān)鍵退化趨勢，并將數(shù)據(jù)外推到整個(gè)使用壽命。

以圖2為例，曲線的右下方部分 ( 收集的數(shù)據(jù) ) 是在高應(yīng)力條件下生成的數(shù)據(jù)，這個(gè)數(shù)據(jù)生成一條線，可用于預(yù)測正常工作條件下的設(shè)備壽命 ( 曲線左上部分 )。

圖2. HCI測試的壽命可靠性外推

經(jīng)常使用應(yīng)力測量技術(shù)的WLR測試包括熱載流子注入 （HCI）或溝道熱載流子（CHC）、負(fù)偏置溫度不穩(wěn)定性（NBT）、電遷移率 、時(shí)間相關(guān)介電擊穿（TDDB）和電荷擊穿（QBD）測試。這些測試已成為主流CMOS器件開發(fā)和工藝控制的關(guān)鍵。

WLR測試儀器趨勢與要求

現(xiàn)在新器件和材料需要修改這些已建立的測試，并要求儀器功能可以實(shí)現(xiàn)這些新技術(shù)。

可靠性測試已經(jīng)發(fā)展到適應(yīng)新設(shè)備和材料的需要。雖然HCI仍然是一個(gè)重要的可靠性問題，但工程師現(xiàn)在必須關(guān)注PMOS的NBTI ，高k柵極晶體管的電荷捕獲，以及NBTI、TDDB和HCI之間的交叉效應(yīng)，例如NBTI增強(qiáng)熱載流子，TDDB增強(qiáng)NBTI。為了應(yīng)對(duì)這些新現(xiàn)象，測量方法已經(jīng)從直流應(yīng)力和測量發(fā)展到現(xiàn)在同時(shí)使用直流和脈沖應(yīng)力來研究退化效果。此外，儀器儀表現(xiàn)在包括更全面的器件表征套件，其中包括直流I-V、 交流C-V、電荷泵和電荷捕獲。

總結(jié)了一些 WLR 測試趨勢。

	傳統(tǒng)儀器	新儀器
主流的器件 退化衡量指標(biāo)	HCI 電荷捕獲	HCI NBTI/PBTI NBTI–HCI TDDB–NBTI 電荷捕獲
方法論	DC應(yīng)力	脈沖/DC應(yīng)力
	DC測量	綜合表征 (I-V, C-V, CP)

表1. 最近的晶圓級(jí)可靠性測試趨勢

這些不斷變化的測試要求工程師找到高效合適的設(shè)備和適合工藝開發(fā)的儀器。所選擇的工具應(yīng)該采集應(yīng)力引起的參數(shù)退化的所有相關(guān)數(shù)據(jù)，并且能靈活適應(yīng)非傳統(tǒng)的WLR測試，例如應(yīng)力C-V、NBTI等等。

這個(gè)工具還應(yīng)該是可擴(kuò)展的，這樣就不需要每次出現(xiàn)新的測試問題都去購買一個(gè)全新的系統(tǒng)。這個(gè)工具應(yīng)該易于理解，這樣工程師就可以把寶貴的時(shí)間集中在分析數(shù)據(jù)上，而不是學(xué)習(xí)使用測試系統(tǒng)。

在功能方面，一個(gè)現(xiàn)代化的可靠性測試臺(tái)必須提供以下幾點(diǎn)：

?在不影響準(zhǔn)確性和外推壽命的情況下，硬件和軟件能加速測試。

?控制半自動(dòng)或自動(dòng)探針臺(tái)和溫控托盤。

?控制儀器、探頭、托盤，創(chuàng)建測試、執(zhí)行測試、管理數(shù)據(jù)。

?可更改應(yīng)力序列，以應(yīng)對(duì)新材料測試和失效機(jī)制。

?分析軟件，提供易于提取的測試參數(shù)和繪圖工具。

?

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4200A-SCS和4225-PMU超快脈沖

I-V的功能

4200A-SCS是一款模塊化、完全集成的參數(shù)分析儀，具有晶圓級(jí)可靠性測試功能。該系統(tǒng)允許對(duì)半導(dǎo)體器件和測試結(jié)構(gòu)進(jìn)行直流I-V，脈沖I-V和C-V表征，先進(jìn)的數(shù)字掃描參數(shù)分析儀結(jié)合了亞微米的測試速度和精度。4200A-SCS可以提供多達(dá)9個(gè)插槽，用于支持源測量單元 (SMU)，電容電壓單元 (CVU) 和脈沖測量單元 (PMU)， 可以通過GPIB、以太網(wǎng)或RS-232連接來控制其他外部儀器，如開關(guān)矩陣、LCR儀表和探針臺(tái)。該軟件包括一個(gè)測試序列管理器、交互式測試設(shè)置界面、類似excel的數(shù)據(jù)表格、繪圖功能。在交互式手動(dòng)模式（用于開發(fā)期間的單個(gè)測試操作）或更自動(dòng)化的生產(chǎn)用例中，它使用起來更靈活。

4225-PMU超快脈沖I-V模塊是4200A-SCS的單槽儀表卡。它有兩個(gè)通道，每個(gè)通道都有脈沖產(chǎn)生和脈沖測量的功能，并且會(huì)實(shí)時(shí)測量電流和電壓。該模塊是超高速I-V的核心硬件。

測量能力對(duì)于表征NBTI和PBTI在μs內(nèi)的退化至關(guān)重要，要為DIR（Designed-In Reliability）進(jìn)行更精確的壽命測量，支持器件和電路設(shè)計(jì)建模。它集成了具有高速電壓和電流測量能力的雙通道波形發(fā)生器，更大的測量buffer以及一個(gè)實(shí)時(shí)測試執(zhí)行引擎。

RPM遠(yuǎn)程放大器/開關(guān)是4225-PMU的可選配件。它很小，可以放在被測器件 (DUT) 附近，有很多表征時(shí)間分辨可靠性測試所必需的低電流測量范圍。通過將RPM放在靠近DUT的脈沖源，4225-RPM有助于最大限度地減少電纜長度和電纜寄生效應(yīng)，以提供更好的脈沖形狀和更高的速度測量。

此外，4225-RPM可以在4200A-SCS的源測量單元(SMU) 和多頻電容電壓單元 (CVU) 信號(hào)之間切換，允許高分辨率直流DC測量和CV測量，而無需重新布線脈沖源和測量測試。

如果既需要脈沖源又需要脈沖測試可以用4225-PMU；如果需要脈沖源但不需要脈沖測量，可以用4220-PGU脈沖卡。具有脈沖源測量能力的一個(gè)典型配置：4200A-SCS、4個(gè)SMU、2個(gè)4225-PMU和4個(gè)4225-RPM組成，此系統(tǒng)就具備了四個(gè)SMU和四個(gè)脈沖I-V通道 ( 脈沖源和測量 )，RPM允許在脈沖和SMU測試資源之間切換。該四通道系統(tǒng)為一個(gè)四端子測試裝置或在兩個(gè)測試裝置上測量兩個(gè)端子 ( 例如，柵極和漏極 ) 提供直流或脈沖源和測量。

對(duì)于前沿硅基器件的超快速BTI（偏置溫度不穩(wěn)定性）測試，可用4200-BTI-A工具包，由一個(gè)4225-PMU、兩個(gè)4225-rpm，以及自動(dòng)表征套件(ACS)軟件組成。

除了晶圓mapping功能外，ACS還包括動(dòng)態(tài)測試和其他測試范例，以最大限度地減少非應(yīng)力時(shí)間，以降低BTI表征行為的硅器件固有的恢復(fù)效應(yīng)。有關(guān)更多信息，請(qǐng)參閱標(biāo)題為“超快速BTI封裝”的技術(shù)文檔。

使用Clarius軟件進(jìn)行WLR測試

圖3. 實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)顯示的HCI測試

4200A-SCS系統(tǒng)提供的標(biāo)配軟件Clarius包括一組用于WLR測試的項(xiàng)目。這些項(xiàng)目包括一個(gè)具有可配置的測試級(jí)和項(xiàng)目級(jí)的應(yīng)力測量循環(huán)，以及一個(gè)用于在晶圓上每個(gè)site上進(jìn)行測試的循環(huán)項(xiàng)目。圖3顯示了HCI范例項(xiàng)目。該圖顯示了某一個(gè)特定的參數(shù)隨時(shí)間推移而被測試，每個(gè)點(diǎn)代表一個(gè)應(yīng)力周期后不同的測量。左邊的窗口是測試序列，顯示了測試的順序和項(xiàng)目的整體結(jié)構(gòu)。在Clarius項(xiàng)目庫中中有幾個(gè)用于WLR測試的項(xiàng)目，包括 :

■熱載流子注入（HCI）

■負(fù)溫度偏置不穩(wěn)定性（NBTI）

■電遷移了（EM）

■電荷擊穿（QBD）

熱載流子注入（HCI）退化

在現(xiàn)代ULSI電路中，HCI退化是一個(gè)相當(dāng)重要的可靠性問題。電荷載流子在MOSFET通道上被大電場加速時(shí)獲得動(dòng)能。雖然大多數(shù)載流子到達(dá)了漏極，但熱載流子（具有非常高動(dòng)能）由于撞擊電離可以在漏極附近產(chǎn)生電子——空穴對(duì)，這是原子級(jí)別的碰撞。另一些則可以注入柵極通道界面，破壞Si-H鍵，增加界面陷阱密度。HCI的影響是器件參數(shù)的時(shí)間相關(guān)性退化，如閾值電壓 (VT)，線性和飽和區(qū)域的漏極電流(IDLIN 和 lDSAT) 和跨導(dǎo) (Gm) 。

半導(dǎo)體可靠性熱載流子效應(yīng)詳解直播回顧

典型的HCI測試程序包括對(duì)DUT進(jìn)行預(yù)應(yīng)力表征，然后是應(yīng)力和測量循環(huán)（圖4）。在該循環(huán)中，器件在高于正常工作電壓的電壓下工作。在應(yīng)力之間監(jiān)測器件參數(shù)，并將這些參數(shù)的退化繪制為累計(jì)應(yīng)力對(duì)時(shí)間的曲線（圖2）。在進(jìn)行該應(yīng)力和測量循環(huán)之前，相同設(shè)備的測量參數(shù)作為基準(zhǔn)值。

圖4. HCI/NBTI/EM測試的流程

熱載流子的監(jiān)測參數(shù)有：Vr、Gm、IDLIN、 IDSAT、IDLEAK。這些參數(shù)在應(yīng)力前進(jìn)行初步測量，并在每個(gè)累積時(shí)間的應(yīng)力后重新測量。IDLIN是器件工作在線性區(qū)域測量到的漏極電流；IDSAT是器件工作在飽和區(qū)時(shí)測量的漏極電流。Vr和Gm可以使用恒流或外推方法來確定。外推法中，VT由IDS -VGS曲線的最大斜率確定。

圖5顯示了Clarius中的項(xiàng)目hci-1-dut進(jìn)行的測試。4200A-SCS的公式編輯器工具大大簡化了提取這些參數(shù)的過程。內(nèi)置的函數(shù)包括微分來獲取Gm，用一個(gè)MAX函數(shù)來獲得最大Gm (gnext)，以及一個(gè)最小二乘線擬合函數(shù)來提取Vr (Vtext)。計(jì)算這些參數(shù)的公式可以在4200A-SCS提供的HCI項(xiàng)目中找到，也可以在測試庫中找到相應(yīng)的測試。圖6顯示了Formulator的自動(dòng)數(shù)據(jù)分析能力。

圖5. 在Clarius HCI-1-dut項(xiàng)目中的HCI測試

圖6. 4200A-SCS中典型的VT和Gm測量結(jié)果

在單個(gè)晶體管上很容易執(zhí)行HCI測試，但是每次HCI測試通常需要很長時(shí)間才能完成，因此希望有許多DUT并行受力，然后在應(yīng)力之間順序表征以節(jié)省時(shí)間。這個(gè)測試過程需要一個(gè)開關(guān)矩陣來處理并行應(yīng)力和應(yīng)力之間的順序測量。4200A-SCS提供應(yīng)力電壓并測量，而開關(guān)矩陣可以實(shí)現(xiàn)多個(gè)設(shè)備的并行應(yīng)力和順序測量。圖7顯示了用8個(gè)SMU（總共有8個(gè)不同的漏極和柵極應(yīng)力偏置）加上一個(gè)接地單元（用于接地端子）， 以并行地對(duì)20個(gè)晶體管施加應(yīng)力。表2列出了測試庫中可用的HCI測試模板。

圖7. HCI和NBTI測試中用8個(gè)SMU對(duì)20個(gè)器件并行施加應(yīng)力，單獨(dú)的地用來做公共端口

項(xiàng)目	描述
Hci-1-dut	四端口n-MOSFET的HCI項(xiàng)目。 在兩個(gè)連續(xù)應(yīng)力之間監(jiān)測參數(shù)：IDLIN、IDSAT、Ig、VT和Gm，在正向（正常運(yùn)行條件）和反向（反向源和漏偏置）條件下進(jìn)行測量。 Subsite中設(shè)置為DC電壓應(yīng)力。
Hci-4-dut	兩個(gè)四端n-MOSFET器件和兩個(gè)四 端p-MOSFET器件與一個(gè)開關(guān)矩陣的HCI項(xiàng)目。在兩個(gè)連續(xù)應(yīng)力之間監(jiān)測參數(shù)：IDLIN、IDSAT、Ig、VT和Gm，在正向（正常運(yùn)行條件）和反向（反向源和漏偏置）條件下進(jìn)行測量。 Subsite中設(shè)置為DC電壓應(yīng)力。如果測試的設(shè)備少于4個(gè)，則項(xiàng)目樹中不需要的器件就不勾選，也可以根據(jù)器件修改測試項(xiàng)。
Hci-pulse	類似于 hci-1-dut，此項(xiàng)目使用交流應(yīng)力。

表2 . 在Clarius中的HCI測試庫

｜結(jié)論｜

不斷發(fā)展的設(shè)計(jì)尺度和新材料使得可靠性測試比以往任何時(shí)候都更加重要，這也推動(dòng)了對(duì)可靠性測試和建模的需求進(jìn)一步向上游發(fā)展，特別是在研發(fā)過程中。儀器制造商正在使用更快、更敏感、高度靈活的新型可靠性測試工具來應(yīng)對(duì)，以幫助降低測試成本并縮短上市時(shí)間。Keithley的4200A-SCS參數(shù)分析儀和工具包提供了快速測試所需的硬件和軟件以及完整的器件特性和可靠性測試。

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