季豐電子目前擁有蔡司GeminiSEM500掃描電鏡SEM熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，可為客戶呈現(xiàn)任意樣品表面更強(qiáng)的信號(hào)和更豐富的細(xì)節(jié)信息；尤其在低的加速電壓下，可在避免樣品損傷的同時(shí)，快速獲取更高清晰度的圖像。

同時(shí)，經(jīng)優(yōu)化和增強(qiáng)的Inlens探測(cè)器可高效地采集信號(hào)，幫助客戶快速獲取清晰的圖像，并使樣品損傷降至更低；在低電壓下?lián)碛懈叩男旁氡群透叩囊r度，二次電子圖像分辨率1kV達(dá)0.9nm，500V達(dá)1.0nm，無(wú)需樣品臺(tái)減速，即可進(jìn)行分析。

設(shè)備規(guī)格指標(biāo)

1、分辨率：15 kV時(shí)0.6nm；1 kV時(shí) 0.9nm (借助串聯(lián)減速功能選項(xiàng))

2、加速電壓：0.02-30 kV 連續(xù)可調(diào)

3、放大倍數(shù)：×20-2,000K

4、探針電流：3pA-20nA

能譜與超級(jí)能譜

1、能譜儀(EDS) Oxford EDS System（UltimMax80）

2、EBSD Oxford EBSD System（Symmetry）

拍照效果

1、對(duì)于導(dǎo)電性差的有機(jī)物有很好的成像效果；

2、熱場(chǎng)SEM對(duì)碳化硅注入P/N結(jié)的成像要比冷場(chǎng)SEM更新清楚。

審核編輯：彭菁