半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的某些工藝涉及氣體與半導(dǎo)體基片的反應(yīng)，比如沉積工藝和刻蝕工藝，氣體的流量將對工藝結(jié)果產(chǎn)生重要影響。為了使生產(chǎn)的半導(dǎo)體獲得較高的良品率，必須對流入反應(yīng)腔室的氣體流量進(jìn)行精確控制，尤其是隨著半導(dǎo)體工藝集成度的不斷提高，對氣體流量的誤差要求也進(jìn)一步提高。

質(zhì)量流量控制器MFC，是一種用于對氣體流量進(jìn)行精確測量和控制的器件，其不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說，質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置，是一個可以手動設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。半導(dǎo)體設(shè)備基本上都會配備MFC來控制工藝氣體流量，以滿足工藝的要求。

我國工業(yè)發(fā)展起步還是比較晚的，現(xiàn)代化程度也相對比較低，所以MFC未來在我國還是有比較大的發(fā)展空間的。AS200系列產(chǎn)品是奧松電子采用先進(jìn)的MEMS技術(shù)研發(fā)，在傳感器的驅(qū)動，零點(diǎn)漂移的控制和閥控等諸多方面都采用了獨(dú)特的技術(shù)，保證了產(chǎn)品的高性能、高品質(zhì)和高可靠性，是目前市場上一款穩(wěn)定性好、精度高、泄漏率低、耐壓高的優(yōu)質(zhì)儀器。

AS200系列氣體質(zhì)量流量控制器在半導(dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場景包括:集成電路工藝設(shè)備, 如外延爐、擴(kuò)散爐、CVD、等離子刻蝕機(jī)、濺射臺、離子注入機(jī); 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉設(shè)備、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細(xì)管測量儀、氣相色譜儀及其它分析儀器。

審核編輯 黃宇