RFID（RadioFrequencyIdentification），又稱無線射頻識別技術(shù)，可通過射頻信號進(jìn)行非接觸式的識別目標(biāo)，近些年來被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造業(yè)中，用于半導(dǎo)體行業(yè)的晶圓存儲柜、電子貨架、硅晶片清洗、半導(dǎo)體天車等的識別與管理當(dāng)中。

在半導(dǎo)體制造業(yè)中，RFID技術(shù)為CST材料搬運AGV小車的運行提供了強有力的支持。通過在AGV小車上安裝半導(dǎo)體RFID讀寫器，可以實現(xiàn)對半導(dǎo)體材料、設(shè)備以等的快速、準(zhǔn)確識別和跟蹤。

將半導(dǎo)體RFID讀寫器JY-V640安裝在工藝搬運設(shè)備AGV上，用于讀取信息；在CST晶圓盒上安裝TI Tag標(biāo)簽，標(biāo)簽內(nèi)錄入CST晶圓盒材料的信息。在工藝設(shè)備AGV搬運CST時，半導(dǎo)體RFID讀寫器會通過無線射頻信號識別CST晶圓盒上的TI Tag標(biāo)簽信息，獲取所運輸CST晶圓盒的信息，并根據(jù)TI Tag標(biāo)簽信息中CST晶圓盒材料的種類將其運輸?shù)綄?yīng)的目的地，同時記錄下此次運輸?shù)臅r間，并將運輸時間、CST晶圓盒種類、運輸目的等信息上傳到管理系統(tǒng)中，系統(tǒng)根據(jù)CST晶圓盒信息對進(jìn)行生產(chǎn)計劃庫存管理，實現(xiàn)運輸過程中的自動化和智能化。

同時，RFID技術(shù)還可以用于對工藝設(shè)備AGV搬運的CST晶圓盒材料進(jìn)行追蹤和管理，通過附著在CST晶圓盒材料上的RFID標(biāo)簽，可以輕松地追蹤C(jī)ST晶圓盒材料的位置和狀態(tài)，從而更好地管理整個生產(chǎn)流程。

審核編輯 黃宇