12月28日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）刻蝕設備Primo D-RIE順利付運國內優(yōu)秀的集成電路制造及研發(fā)設計服務商——廣州增芯科技有限公司（以下簡稱“增芯”），本次交付的Primo D-RIE也是該客戶12英寸智能傳感器及特色工藝晶圓生產(chǎn)線建成后搬入的首臺設備。

增芯首臺設備搬入儀式在廣州市增城智能傳感器產(chǎn)業(yè)園舉行，增城區(qū)政府領導、增芯領導團隊、中微公司代表及眾多合作伙伴出席儀式。增芯12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產(chǎn)線項目，占地面積達370畝，分兩期建設。根據(jù)規(guī)劃，項目一期將建設月加工能力達2萬片的12英寸MEMS制造生產(chǎn)線。隨著首臺設備的順利搬入，也標志著項目建設進入全新的階段。

此次付運至客戶的12英寸雙反應臺多反應腔主機系統(tǒng)Primo D-RIE，專為優(yōu)化產(chǎn)量而設計，可以配置多達三個雙反應臺反應腔，每個反應腔既可以獨立操作，又可以同時加工兩片晶圓。憑借在大規(guī)模生產(chǎn)中穩(wěn)定可靠的性能表現(xiàn)、較低的生產(chǎn)成本、較高的生產(chǎn)效率和卓越的芯片加工性能，Primo D-RIE已獲得眾多全球領先的芯片制造商的認可與肯定。

儀式上，增芯董事長陳曉飛談到項目時表示，“今年9月，增芯項目主體結構正式封頂，僅短短三個月的時間，項目首臺設備Primo D-RIE已正式搬入并裝機。這其中離不開相關部門的大力支持，也離不開全體員工鍥而不舍的拼搏奮斗，更離不開如中微公司一般的優(yōu)秀合作伙伴的全力配合及共同努力?！?/p>

中微公司副總裁、中微廣州總經(jīng)理張凱先生表示，“中微公司Primo D-RIE作為首臺設備順利搬入客戶生產(chǎn)線展現(xiàn)了客戶對中微公司技術能力與卓越服務的高度信任，今后，在設備安裝、工藝調試、產(chǎn)品通線和量產(chǎn)過程中，我們也將持續(xù)為客戶提供優(yōu)質的服務與支持，助力客戶實現(xiàn)發(fā)展和盈利目標，和行業(yè)伙伴一起為加快構建集成電路產(chǎn)業(yè)格局貢獻力量?！?/p>

中微公司持續(xù)拓展和優(yōu)化刻蝕設備產(chǎn)品線，以滿足客戶日益嚴苛的技術需求。除Primo D-RIE雙反應臺刻蝕設備以外，CCP刻蝕設備系列還包括雙反應臺刻蝕設備Primo AD-RIE、單反應臺刻蝕設備Primo SSC AD-RIE、Primo HD-RIE和刻蝕及除膠一體化的 Primo iDEA。此外，中微公司的產(chǎn)品線還包括薄膜設備和MOCVD設備。這些產(chǎn)品為客戶提供了全面綜合的設備解決方案，用于先進工藝和特色工藝的多種應用。