目前芯片蝕刻是我國半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵技術(shù)之一，芯片蝕刻主要是利用化學(xué)反應(yīng)來蝕刻掉芯片表面不需要的部分，以實現(xiàn)芯片電路的制造。在半導(dǎo)體生產(chǎn)中會涉及到很多特殊氣體，而多數(shù)都有毒性和腐蝕性，如氯化氫、溴化氫、氟化氫等。

如何及時準(zhǔn)確地檢測到有害氣體超標(biāo)并快速告警，對于確保生產(chǎn)環(huán)境的安全和員工的生命健康具有重要作用，需要在現(xiàn)場部署有害氣體監(jiān)測儀來實現(xiàn)24小時不間斷連續(xù)實時在線監(jiān)測。對此，物通博聯(lián)提供基于工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)的解決方案，助力實現(xiàn)工廠內(nèi)各種有害氣體監(jiān)測儀的數(shù)據(jù)采集與遠(yuǎn)程監(jiān)控，從而增強(qiáng)安全管理水平與響應(yīng)能力。

根據(jù)國家政策標(biāo)磚與行業(yè)生產(chǎn)要求，通常要求在抽風(fēng)口或環(huán)境點安裝有害氣體監(jiān)測儀，并接入自動控制系統(tǒng)PLC實現(xiàn)通風(fēng)排期設(shè)備的相互互鎖動作，出現(xiàn)異?？焖訇P(guān)閉所有氣源。其中設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)對于是否快速響應(yīng)至關(guān)重要。

因此，通過將物通博聯(lián)工業(yè)智能網(wǎng)關(guān)部署在抽風(fēng)口和環(huán)境點中，接入有害氣體監(jiān)測儀、PLC中，進(jìn)行實時數(shù)據(jù)采集并上傳到本地上位機(jī)或云平臺中，構(gòu)建實時高效的通信網(wǎng)絡(luò)，能夠監(jiān)測有害氣體超標(biāo)并快速報警，從而采取措施及時管理控制，確保生產(chǎn)安全與生命安全。

企業(yè)預(yù)定設(shè)定報警閾值與通知方式，當(dāng)網(wǎng)關(guān)采集到異常超標(biāo)數(shù)據(jù)時就能自動報警并通過微信、短信、郵件、聲光等方式進(jìn)行通知，從而提醒工作人員及時采取措施管理控制，通過停機(jī)停工、啟停風(fēng)機(jī)等行動去保護(hù)自身，避免因人工監(jiān)測誤差而導(dǎo)致的意外事故。

此外，通過實時數(shù)據(jù)與歷史數(shù)據(jù)的比較分析，結(jié)合運(yùn)維工作經(jīng)驗，合理調(diào)整設(shè)備運(yùn)維周期與生產(chǎn)習(xí)慣，確保巡檢、維護(hù)等工單工作有序開展，更能借助數(shù)據(jù)分析實現(xiàn)預(yù)測性維護(hù)，更進(jìn)一步增強(qiáng)安全管理水平，防患于未然。

審核編輯 黃宇