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中芯國際獲非易失性存儲裝置及其制作方法專利

微云疏影 ? 來源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2024-05-06 10:33 ? 次閱讀
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據(jù)天眼查數(shù)據(jù),中芯國際集成電路制造(北京)有限公司近期獲得了一項新專利——“非易失性存儲裝置及其形成方法”,公告號為CN113659073B,授權(quán)日期為2024年4月30日,申請日期為2022年2月12日。

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該專利涉及一種新型非易失性存儲裝置及其制作工藝。具體而言,其步驟如下:首先,制備包含器件區(qū)與非器件區(qū)的基底;接著,在基底上依次沉積第一電極材料層及絕緣材料層;然后,在絕緣材料層上形成犧牲層,該層覆蓋非器件區(qū)并露出器件區(qū);最后,在器件區(qū)內(nèi)的絕緣材料層上生長第二電極,同時去除犧牲層以及非器件區(qū)的絕緣材料層和第一電極材料層,僅保留剩余的絕緣材料層作為絕緣層,以及剩余的第一電極材料層作為第一電極層。此方法有助于提高器件性能。

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