中科微感MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術(shù)再次突破瓶頸，良品率接近98%
中科微感金屬氧化物基MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術(shù)再次突破瓶頸。以CM-A107S氫氣傳感器為例，晶圓級(jí)萬(wàn)顆批量生產(chǎn)，單顆LGA封裝的MEMS氫氣傳感器初始阻值和響應(yīng)值一致性偏差逼近5%，良品率接近98%。本量產(chǎn)技術(shù)的突破，為人工智能嗅覺(jué)傳感器的普遍應(yīng)用推廣打下堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)，為未來(lái)氣味數(shù)字化應(yīng)用提供了標(biāo)準(zhǔn)化和低成本的硬件解決方案。
隨機(jī)抽取70顆CM-A107S氫氣傳感器（LGA封裝），進(jìn)行空氣中每顆阻值和500 ppm氫氣響應(yīng)值測(cè)試統(tǒng)計(jì)，結(jié)果如下圖所示。
審核編輯：劉清
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫(xiě)或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場(chǎng)。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問(wèn)題，請(qǐng)聯(lián)系本站處理。
舉報(bào)投訴
-
氣體傳感器
+關(guān)注
關(guān)注
14文章
607瀏覽量
39169 -
MEMS技術(shù)
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
144瀏覽量
21913 -
LGA封裝
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
14瀏覽量
3449
原文標(biāo)題：中科微感MEMS氣體傳感器量產(chǎn)技術(shù)再次突破瓶頸，批量一致性偏差逼近5%，良品率接近98%
文章出處：【微信號(hào)：MEMSensor，微信公眾號(hào)：MEMS】歡迎添加關(guān)注！文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。
發(fā)布評(píng)論請(qǐng)先 登錄
相關(guān)推薦
熱點(diǎn)推薦
突破經(jīng)典設(shè)計(jì)｜FS98H 微型光纖陀螺儀，量產(chǎn)與性能雙優(yōu)
mems
利科夫慣性導(dǎo)航
發(fā)布于 :2026年03月05日 09:31:49
中科飛龍完成近億元B1輪融資，國(guó)資賦能MEMS傳感器技術(shù)攻堅(jiān)與場(chǎng)景落地
近日，國(guó)內(nèi)高性能MEMS傳感器領(lǐng)域頭部企業(yè)、國(guó)家專(zhuān)精特新“小巨人”企業(yè)—— 北京中科飛龍傳感技術(shù)有限責(zé)任公司 （以下簡(jiǎn)稱(chēng)“
探索SGX_EVAL_EC電化學(xué)氣體傳感器評(píng)估套件：開(kāi)啟氣體傳感器設(shè)計(jì)新征程
探索SGX_EVAL_EC電化學(xué)氣體傳感器評(píng)估套件：開(kāi)啟氣體傳感器設(shè)計(jì)新征程 在氣體傳感器儀器設(shè)
博世MEMS傳感器的主要應(yīng)用及明星產(chǎn)品
博世全面覆蓋汽車(chē)領(lǐng)域 MEMS 傳感器的各個(gè)環(huán)節(jié)，從研發(fā)設(shè)計(jì)到量產(chǎn)制造，均具備深厚實(shí)力。迄今為止，博世已累計(jì)生產(chǎn)超過(guò) 230 億顆MEMS傳感器
氣體傳感器：原理、技術(shù)與實(shí)用指南
? 在環(huán)境監(jiān)測(cè)、工業(yè)生產(chǎn)、安防等眾多領(lǐng)域，氣體傳感器發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，為及時(shí)準(zhǔn)確地檢測(cè)各種氣體成分和濃度提供了關(guān)鍵手段。 工 作 原 理? 半導(dǎo)體氣體
奧迪威MEMS能量表方案：氫氣檢測(cè)技術(shù)的革新突破
MEMS傳感器技術(shù)仍在不斷發(fā)展演進(jìn)。未來(lái)，隨著人工智能技術(shù)的融合，MEMS傳感器將具備更強(qiáng)大的信
MEMS慣性傳感器?都有哪些種類(lèi)？MEMS慣性傳感器有哪些特點(diǎn)
MEMS慣性傳感器都有哪些種類(lèi)？MEMS慣性傳感器有哪些特點(diǎn)，下面火豐精密小編為你講解一下：
MEMS慣性
什么是照度傳感器和接近傳感器
近年來(lái)，照度傳感器和接近傳感器在我們身邊各類(lèi)設(shè)備中的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。除了單獨(dú)使用照度傳感器和接近傳感器
瑞之辰MEMS壓力傳感器：“小而精”技術(shù)引領(lǐng)國(guó)產(chǎn)替代
“小而精”，已經(jīng)成為工業(yè)傳感器的研發(fā)趨勢(shì)，瑞之辰用MEMS技術(shù)打破了“尺寸小等于性能弱”的固有認(rèn)知。尺寸為10mm×2.6mm的金屬封裝壓力傳感器，不僅是
瑞之辰多樣化MEMS傳感器，打造工業(yè)級(jí)智能打氣泵解決方案
在智能制造2025戰(zhàn)略推動(dòng)下，中國(guó)工業(yè)裝備領(lǐng)域正迎來(lái)傳感器技術(shù)升級(jí)的“黃金窗口期”。深圳市瑞之辰科技有限公司依托自主MEMS核心技術(shù)矩陣，推出面向智能打氣泵領(lǐng)域的全場(chǎng)景
從技術(shù)到戰(zhàn)略，解碼瑞之辰MEMS傳感器進(jìn)取之路
在工業(yè)自動(dòng)化與智能化浪潮下，傳感器作為工業(yè)系統(tǒng)的“神經(jīng)末梢”，其性能決定了數(shù)據(jù)采集的精度和可靠性。深圳市瑞之辰科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“瑞之辰”）憑借在MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器領(lǐng)域的前瞻布局與
微著科技 致力于成為中國(guó)高性能MEMS傳感器及解決方案領(lǐng)域的領(lǐng)航者
高校，并在傳感器領(lǐng)域擁有超過(guò)十年的技術(shù)積累。微著科技致力于成為中國(guó)高性能MEMS傳感器及解決方案領(lǐng)域的領(lǐng)航者，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)化、自主化和可控化的進(jìn)
創(chuàng)飛芯0.13μm eFuse OTP IP量產(chǎn)突破1.5萬(wàn)片
一站式NVM存儲(chǔ)IP供應(yīng)商珠海創(chuàng)飛芯（CFX）宣布，憑借自主研發(fā)采用 eFuse 結(jié)構(gòu)的OTP IP，在基于0.13μm 平臺(tái)的 CMOS 圖像傳感器量產(chǎn)方面取得重大突破，晶圓量產(chǎn)數(shù)量成功突破
MEMS聲敏傳感器分類(lèi)與應(yīng)用
等多個(gè)領(lǐng)域展現(xiàn)出了廣闊的應(yīng)用前景。本文將帶您深入了解MEMS聲敏傳感器的分類(lèi)與應(yīng)用，探索這個(gè)微型化聲音世界的奧秘。 ? 一、MEMS聲敏傳感器的分類(lèi)
微型傳感革命：國(guó)產(chǎn)CMOS-MEMS單片集成技術(shù)、MEMS Speaker破局
=（電子發(fā)燒友網(wǎng)綜合報(bào)道）在萬(wàn)物互聯(lián)與智能硬件的浪潮下，傳感器微型化、高精度化正成為產(chǎn)業(yè)升級(jí)的核心驅(qū)動(dòng)力。MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）與CMOS（互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體）技術(shù)的深度融合，被視為突破
發(fā)表于 03-18 00:05
?2743次閱讀
工商網(wǎng)監(jiān)
評(píng)論