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蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的高分辨率高效檢測(cè)

三本精密儀器 ? 2024-07-15 17:48 ? 次閱讀
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蔡司代理三本精密儀器小編介紹掃描電子顯微鏡作為最常見(jiàn)的電子顯微儀器之一,不僅在微觀形貌表征方面大放異彩,也在各種元素表征、晶相分析、原位測(cè)試等領(lǐng)域有著諸多應(yīng)用,已經(jīng)成為微區(qū)分析的重要手段。

一、高分辨能力
蔡司熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(ZEISS, Sigma 500)采用肖特基型熱場(chǎng)發(fā)射電子槍及GEMINI光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì),電子束能量均勻穩(wěn)定,在保證成像分辨能力同時(shí)還能產(chǎn)出足夠強(qiáng)的信號(hào)用于呈現(xiàn)較高的成像質(zhì)量,目前廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、地球科學(xué)和生命科學(xué)等領(lǐng)域。

蔡司場(chǎng)發(fā)射電鏡sigma
其關(guān)鍵性能指標(biāo)如下:
加速電壓:20V~30kV;
電子束束流:5 pA~20nA;
極限分辨率:0.8 nm@15kV 1.6 nm @1kV;
放大倍數(shù):10~106×。

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二、廣泛的適用性
蔡司場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡要求待測(cè)樣品為干燥的固體,且無(wú)揮發(fā)性物質(zhì),對(duì)樣品的包容性較強(qiáng)。對(duì)于大多數(shù)干燥且導(dǎo)電的固體樣品無(wú)需特殊制備過(guò)程,只要根據(jù)樣品大小、形狀和觀察需求,用適當(dāng)方法固定在相應(yīng)樣品臺(tái)上即可。為應(yīng)對(duì)不同的表征需要,本實(shí)驗(yàn)室配置的樣品臺(tái)包括12.5mm釘形臺(tái)、25mm釘形臺(tái)、12.5mm全碳釘形臺(tái)、帶夾片釘形臺(tái)、可夾持樣品臺(tái)、90°/45°樣品臺(tái)、90°帶夾片樣品臺(tái)、EBSD專用樣品臺(tái)。

此外,實(shí)驗(yàn)室還可配置如下制樣設(shè)備,可用于樣品的前處理:
1. 離子濺射儀(Bright KAS-2000F):配有鉑靶材,用于在樣品表面濺射鍍導(dǎo)電層,增加樣品導(dǎo)電性。
2. 臨界點(diǎn)干燥儀(Quorum K850):用于生物組織樣品梯度脫水后,用液態(tài)二氧化碳置換樣品中的丙酮,并實(shí)現(xiàn)無(wú)張力的干燥過(guò)程。

三、強(qiáng)大的功能擴(kuò)展性
蔡司掃描電鏡Sigma系列的大腔體設(shè)計(jì)可以容納更大的樣品,并為表征實(shí)驗(yàn)提供更多的擴(kuò)展空間。除用于成像的E-T二次電子探頭和Inlens二次電子探頭外,儀器還配有背散射電子探頭(BSE)、牛津儀器X-Max能譜探頭(EDS)、牛津儀器Nordlys電子背散射衍射探頭(EBSD)、透射電子探頭(STEM)、Gatan C1003冷熱臺(tái)等附件,可用于元素表征、晶相分析、透射成像、原位變溫實(shí)驗(yàn)等多種實(shí)驗(yàn)場(chǎng)景。

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