來(lái)源：TOKYO ELECTRON

前言

近日，Tokyo Electron(TEL)、富士金株式會(huì)社和TMEIC株式會(huì)社共同開(kāi)發(fā)出一款調(diào)控半導(dǎo)體制造的沉積工藝中臭氧濃度的新型監(jiān)測(cè)儀，并對(duì)該監(jiān)測(cè)儀與臭氧發(fā)生器的兼容性進(jìn)行全面測(cè)試。此次的聯(lián)合開(kāi)發(fā)也是TEL發(fā)起并推動(dòng)的供應(yīng)鏈倡議E-COMPASS的一部分。

01
背景BACKGROUND半導(dǎo)體制造過(guò)程的沉積步驟需要使用臭氧來(lái)形成各種氧化物薄膜，并通過(guò)可靠的臭氧濃度檢測(cè)儀實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)臭氧發(fā)生器的狀態(tài)和性能。傳統(tǒng)的臭氧濃度測(cè)量技術(shù)之一是紫外吸收法，該方法利用的是臭氧對(duì)不同波長(zhǎng)的紫外線吸收程度不同的原理，而缺點(diǎn)是，因汞是有害物質(zhì)，需要對(duì)使用了汞紫外的燈源進(jìn)行定期更換*1。TEL、富士金和TMEIC共同研發(fā)的無(wú)汞且免維保的臭氧濃度監(jiān)測(cè)儀和臭氧發(fā)生器，可以解決這一問(wèn)題。

02臭氧濃度監(jiān)測(cè)儀的特點(diǎn)FEATURES

不含汞、免維保、低功耗

■ LED紫外光源，保持并優(yōu)于傳統(tǒng)檢測(cè)儀的性能可靠性。

■ 不含汞，對(duì)環(huán)境不產(chǎn)生有害物質(zhì)。

■ 與傳統(tǒng)的兩年更換一次燈源的頻率相比，LED燈源具有超過(guò)10年的經(jīng)久耐用程度，免去維保的后顧之憂(yōu)。

■ 配置LED的監(jiān)測(cè)儀，實(shí)現(xiàn)耗電量從25W降至3W（降低88%）。這相當(dāng)于每臺(tái)監(jiān)測(cè)儀每年減少77.1千克的CO2e*2的排放量。

圖：新型臭氧濃度監(jiān)測(cè)儀

03環(huán)境價(jià)值ENVIRONMENTAL VALUE

減少CO2e排放量和運(yùn)行成本

此次開(kāi)發(fā)的新型臭氧濃度監(jiān)測(cè)儀適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備和臭氧發(fā)生器。未來(lái)五年，臭氧發(fā)生器的需求規(guī)模將翻一番，采用新型臭氧監(jiān)測(cè)儀有望幫助工廠減少310噸CO2e排放量和約1億日元的燈源更換費(fèi)用。

04技術(shù)共創(chuàng)TECHNOLOGY CO-CREATION

在此次環(huán)境技術(shù)合作中，富士金與TEL共同開(kāi)發(fā)了臭氧濃度監(jiān)測(cè)器，由TMEIC在其臭氧發(fā)生器上對(duì)該監(jiān)測(cè)儀進(jìn)行測(cè)試和性能驗(yàn)證， 從而確保該監(jiān)測(cè)儀適用于多個(gè)領(lǐng)域，其中也包括TEL的半導(dǎo)體制造設(shè)備和配套設(shè)施。

05企業(yè)理念CORPORATE PHILOSOPHY

為應(yīng)對(duì)數(shù)字化和綠色社會(huì)的未來(lái)全球趨勢(shì)的到來(lái)，今后，TEL將一如既往與業(yè)務(wù)伙伴保持緊密合作，積極提供友好環(huán)境的設(shè)備并為設(shè)備開(kāi)發(fā)環(huán)保技術(shù)。在這些業(yè)務(wù)開(kāi)展過(guò)程中，努力踐行"通過(guò)先進(jìn)的技術(shù)和可靠的服務(wù)，為創(chuàng)造富有夢(mèng)想的社會(huì)做貢獻(xiàn)"的企業(yè)理念。