極目新聞記者 張屏

一臺智能手機里有50—200個MEMS(微機電系統(tǒng))傳感器；一臺智能汽車里至少有100個MEMS傳感器，它們占其單車成本約1/5-1/10。在MEMS技術(shù)的加持下，智能微系統(tǒng)甚至能搭建出模擬人體肺部的“芯片肺”、基于人類誘導(dǎo)多能干細胞的心臟微系統(tǒng)“片上心臟”、各種“片上器官”組成的“片上人體”……

10月19日，2024東湖論壇的22場平行論壇之一、微機電（MEMS）技術(shù)創(chuàng)新及產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇舉行，尤政、劉勝、劉明、房建成等四位院士圍繞“智能傳感 智領(lǐng)未來”作主旨報告，描繪好似科幻片的未來圖景，為推動MEMS產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展建言獻策；來自航空航天、船舶、軌道交通、汽車制造、新能源、冶金等領(lǐng)域的企業(yè)精英及專家學(xué)者開展研討交流，共謀MEMS產(chǎn)業(yè)規(guī)?；?、特色化、高端化發(fā)展。

MEMS集微傳感器、微執(zhí)行器和微能源等形成獨立智能系統(tǒng)，融合微電子技術(shù)和微機械技術(shù)，演化而成新興產(chǎn)業(yè)。MEMS制造技術(shù)廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車、生物醫(yī)療、消費電子等領(lǐng)域，對我國關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)、經(jīng)濟發(fā)展與國防安全至關(guān)重要。此次論壇備受關(guān)注，其目的是為MEMS產(chǎn)業(yè)在技術(shù)創(chuàng)新和應(yīng)用拓展方面培養(yǎng)創(chuàng)新人才，加快全行業(yè)快速發(fā)展，促進形成新質(zhì)生產(chǎn)力，推動傳感器產(chǎn)業(yè)集聚，構(gòu)建高質(zhì)量產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈提供助力。

《芯片推動系統(tǒng)技術(shù)進步，系統(tǒng)引領(lǐng)芯片技術(shù)創(chuàng)新——微系統(tǒng)技術(shù)發(fā)展的思考》《集成電路技術(shù)：挑戰(zhàn)與機遇》《量子精密磁場測量：從科學(xué)裝置到計量儀器、再到芯片化傳感器的研究探索》《MEMS傳感器芯片先進封裝測試平臺》……作為行業(yè)領(lǐng)軍人物，院士們分享了最前沿資訊和團隊最新成果。在他們的發(fā)言中，“卡脖子”三個字頻頻出現(xiàn)。

“我國在產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)仍然存在較大差距！”中國工程院院士、華中科技大學(xué)校長尤政是智能微系統(tǒng)技術(shù)及其應(yīng)用研究領(lǐng)域的領(lǐng)軍人物，他介紹，傳感器被稱為“工業(yè)基石”，是各類產(chǎn)業(yè)賴以生存和發(fā)展的基礎(chǔ)，直接決定重大裝備和整機產(chǎn)品的性能、質(zhì)量；基于微系統(tǒng)技術(shù)與MEMS技術(shù)的智能傳感器，必將成為構(gòu)筑未來智能社會基礎(chǔ)設(shè)施、工業(yè)基礎(chǔ)支撐體系、各類裝備產(chǎn)品的關(guān)鍵。目前，我國微系統(tǒng)與智能傳感器領(lǐng)域的核心關(guān)鍵技術(shù)發(fā)展滯后，在中高端市場上，超過60%的市場份額被國外愛默生、西門子、博世、意法半導(dǎo)體、霍尼韋爾等外國巨頭占據(jù)，特別是高端產(chǎn)品幾乎全靠進口，80%的傳感器芯片依賴國外。

如何改變當(dāng)前的面貌？院士們提出，首先要關(guān)注“產(chǎn)教融合”，使人才培養(yǎng)與產(chǎn)業(yè)發(fā)展深度關(guān)聯(lián)融合；其次要強化協(xié)同創(chuàng)新，對這一投資密集、產(chǎn)品應(yīng)用廣、產(chǎn)業(yè)分散的行業(yè)來說，急需政府、企業(yè)、高校、科研院所、用戶、金融機構(gòu)等各創(chuàng)新要素被納入統(tǒng)籌規(guī)劃，做到合理布局、協(xié)同創(chuàng)新，并通過公共研發(fā)平臺建設(shè)和共性技術(shù)開發(fā)與共享機制，來實現(xiàn)行業(yè)的高效運行；最后要加大示范應(yīng)用，可以圍繞國家的重大工程任務(wù)、國家亟需的重要戰(zhàn)略裝備以及有代表性的社會經(jīng)濟生活需求，有組織地開展創(chuàng)新，體現(xiàn)新型舉國體制的優(yōu)勢，推動產(chǎn)業(yè)集聚，形成生態(tài)鏈。

來源：極目新聞