氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。常見氦質(zhì)譜檢漏儀故障及解決方法包括：

一、機械泵故障

1. 機械泵不動
   • 故障現(xiàn)象 ：機械泵無法啟動。
   • 解決方法 ：檢查電源電壓是否正常，開關(guān)是否打開，繞組是否斷路或接地，電機是否過熱（泵冷卻后是否可啟動）。
2. 機械泵聲音異常
   • 故障現(xiàn)象 ：機械泵運行時聲音異常。
   • 解決方法 ：檢查油位是否合適，油質(zhì)是否變質(zhì)，油溫是否過高。

二、分子泵故障

1. TMP顯示為0
   • 故障現(xiàn)象 ：儀器界面上TMP顯示為0，即分子泵沒有工作。
   • 可能原因 ：前級壓力過高（分子泵啟動壓力為200Pa）導致分子泵無法啟動；分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子損壞；電路板上的保險絲燒斷；電路板設置開關(guān)處于R位置（應在N位置）；風扇停止運行。
   • 解決方法 ：檢查真空規(guī)管、分子泵出口、機械泵油及機械泵旋轉(zhuǎn)情況；用工具撥動葉片檢查是否能轉(zhuǎn)動；更換保險絲或檢查短路現(xiàn)象；將電路板設置開關(guān)置于N位置；檢查風扇是否正常運行，如風扇正常則可能為分子泵電源故障。
2. 分子泵加速指示燈不亮
   • 故障現(xiàn)象 ：分子泵加速指示燈不亮。
   • 解決方法 ：更換保險絲或檢查是否有短路。
3. 分子泵故障燈亮
   • 故障現(xiàn)象 ：分子泵故障燈亮。
   • 解決方法 ：檢查電路板設置開關(guān)是否在R位置（應在N位置）；檢查風扇是否停止運行；如風扇正常則可能為分子泵電源故障。

三、質(zhì)譜室故障

1. 燈絲無法正常啟動
   • 故障現(xiàn)象 ：在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，燈絲仍無法發(fā)射離子流。
   • 解決方法 ：更換離子源；若燈絲指示燈閃爍，則檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路則更換燈絲，若不開路則檢查接線柱與其他接頭是否導通并消除短路現(xiàn)象。
2. 本底信號波動
   • 故障現(xiàn)象 ：本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠遠超過氦質(zhì)譜檢漏儀故障自身的本底噪聲。
   • 解決方法 ：考慮放大器是否故障；定位故障并交由專業(yè)維修人員處理。

四、檢測開始時故障

1. 檢漏鍵無效
   • 故障現(xiàn)象 ：按下檢漏鍵無反應（綠色指示燈亮）。
   • 可能原因 ：燈絲沒有啟動或燈絲斷；I/O短接插頭未插入儀器后面插座。
   • 解決方法 ：檢查燈絲是否啟動或斷開；插入I/O短接插頭到儀器后面插座。
2. 自動校準失敗
   • 故障現(xiàn)象 ：自動校準失?。艚z亮），紅色校準燈亮。
   • 解決方法 ：檢查自動校準設置開關(guān)S1是否處于OFF位置；設置的漏率值和標準漏孔值是否一致；溫度傳感器是否接上；檢查靈敏度并清洗質(zhì)譜室（如果用外部校準漏孔檢查顯示值和實際值一致，氦質(zhì)譜檢漏儀也可使用）；再按一下粗檢開關(guān)切換到自動轉(zhuǎn)換狀態(tài)。

五、檢漏故障

1. 靈敏度低
   • 故障現(xiàn)象 ：檢漏時靈敏度低。
   • 解決方法 ：檢查三極規(guī)所測壓力，等到質(zhì)譜室壓力<10-6MPa時再檢漏；如果壓力達到，則檢查離子源是否被污染并清洗離子源。
2. 氦本底太高
   • 故障現(xiàn)象 ：氦本底太高。
   • 可能原因 ：機械泵油失效（泵油長期使用變質(zhì)會吸附較多的氦氣導致氦污染）；儀器系統(tǒng)有漏；真空管路污染；三極規(guī)上壓力未達到10-6MPa；離子源污染；環(huán)境污染（如多臺氦質(zhì)譜檢漏儀同時使用且通風不良）。
   • 解決方法 ：更換機械泵油；檢查儀器系統(tǒng)是否有漏并修復；清洗真空管路；確保三極規(guī)上壓力達到10-6MPa；清洗離子源；在檢漏口的放氣閥放氣口處安裝一個幾升容量的氣瓶與低壓氦氣管路連接以減少環(huán)境氦污染。
3. 工裝設計不合理
   • 故障現(xiàn)象 ：初檢時工作正常，工作幾次后抽速大大減慢，檢漏不通過；加死堵后氦質(zhì)譜檢漏儀不漏且工作正常。
   • 可能原因 ：工裝設計不合理（如工裝結(jié)構(gòu)不合理導致內(nèi)表面太粗糙而殘留過多氦氣；密封設計不合理導致密封不可靠）。
   • 解決方法 ：優(yōu)化工裝設計以減少氦氣殘留并提高密封可靠性。
4. 操作不合理
   • 故障現(xiàn)象 ：由于操作不當導致故障（如多次對有大漏的工件進行檢漏導致質(zhì)譜室污染）。
   • 解決方法 ：清理質(zhì)譜室并反復吸氣排氣以消除污染；提高操作人員的技能水平和判斷準確性。

總之，氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過程中可能會遇到多種故障。為了確保其正常運行和準確檢漏，操作人員需要掌握常見故障及其解決方法，并嚴格按照說明書的要求進行定期保養(yǎng)和維護。