光譜共焦傳感器是一種先進(jìn)的非接觸式測(cè)量技術(shù)，它結(jié)合了共焦顯微鏡和光譜成像的原理，為材料提供了高精度的數(shù)值。這種技術(shù)在真空領(lǐng)域的應(yīng)用尤其重要，由于真空條件下無法使用傳統(tǒng)的接觸式測(cè)量方法，如機(jī)械探針等，因此需要一種非接觸式的測(cè)量手段來保證測(cè)量的準(zhǔn)確性和可靠性。

項(xiàng)目背景：

測(cè)試發(fā)泡棉在真空環(huán)境的膨脹量，由于其在真空環(huán)境下，壓力僅為10Pa，腔體抽真空速度為60min，壓力在抽真空的時(shí)候會(huì)有變化。因此需要待氣壓穩(wěn)定后開始測(cè)量。

立儀光譜共焦傳感器在真空領(lǐng)域的測(cè)試

項(xiàng)目難點(diǎn)：

由于真空環(huán)境熱傳導(dǎo)效率低下，傳感器的過熱可能嚴(yán)重影響其測(cè)量精確性乃至導(dǎo)致功能失效。其次，傳感器的材料選擇至關(guān)重要，因?yàn)槟承┎馁|(zhì)如含膠類材料會(huì)在真空環(huán)境下釋放特定氣體，這可能會(huì)改變真空環(huán)境的氣體組成。此外，真空條件下，傳感器需要承受內(nèi)外壓力差異導(dǎo)致的機(jī)械應(yīng)力，這不僅要求傳感器在受力后不產(chǎn)生永久性形變，而且應(yīng)盡量減少?gòu)椥孕巫円员ＷC性能穩(wěn)定性。另外，由于真空環(huán)境中的空間折射率與常規(guī)空氣中的不同，這也對(duì)傳感器的校準(zhǔn)和精度提出了更高要求。最后，光纖與控制器之間的連接也需要特別設(shè)計(jì)，以應(yīng)對(duì)由真空腔內(nèi)外壓力差導(dǎo)致的釋氣問題。

解決方案：

立儀光譜共焦位移傳感器H系列搭配特殊材質(zhì)的D35A18真空定制款側(cè)頭，該控制器采樣評(píng)率4000Hz，定制版的側(cè)頭經(jīng)過特殊處理，其最大基準(zhǔn)距離33.0mm，量程4.0mm，使用該定制版?zhèn)阮^在真空環(huán)境下從三個(gè)方向?qū)Πl(fā)泡棉進(jìn)行測(cè)量，能夠完美的計(jì)算出發(fā)泡棉的膨脹量。