在半導(dǎo)體制造的復(fù)雜工藝中，超純?cè)噭┖统儦怏w是保障晶圓表面清潔與蝕刻精度的核心材料。然而，痕量金屬雜質(zhì)如Fe、Cu、Na等卻成為制約晶圓廠良率提升的關(guān)鍵因素。

季豐電子CA實(shí)驗(yàn)室以領(lǐng)先的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，可助力晶圓廠攻克這一難題，為客戶提供專業(yè)的超純?cè)噭┡c氣體管道金屬雜質(zhì)檢測(cè)服務(wù)。

一半導(dǎo)體制造中的檢測(cè)需求

1超純?cè)噭┑年P(guān)鍵作用

● SC1、BOE、DHF等超純?cè)噭┍粡V泛用于清潔和蝕刻硅片表面，去除顆粒、氧化層以及金屬化污染物，確保硅片表面疏水性的形成。

● 精準(zhǔn)的配比與痕量金屬檢測(cè)是提升制程良率的重要保障。

2超純氣體的核心價(jià)值

● 氮?dú)庾鳛槎栊源祾邭怏w，保護(hù)硅片免受活性氧和水分的影響。

● 微量金屬雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體器件性能與可靠性造成顯著影響。

二CA實(shí)驗(yàn)室的技術(shù)優(yōu)勢(shì)

1專業(yè)的樣品前處理方式

● 純凈度保障：避免引入額外雜質(zhì)。

● 多種前處理手段：如直接進(jìn)樣、稀釋進(jìn)樣、超純水稀釋等，針對(duì)不同樣品需求提供精準(zhǔn)處理方案。

2高靈敏度檢測(cè)技術(shù)

● 安捷倫ICP-MS/MS & ICP-OES設(shè)備：

● ppb甚至ppt級(jí)別的檢測(cè)限，精準(zhǔn)識(shí)別痕量金屬雜質(zhì)。

● 雙重質(zhì)量過(guò)濾消除干擾，保障實(shí)驗(yàn)結(jié)果可靠性。

● 多元素同步檢測(cè)：快速分析多種金屬雜質(zhì)，適應(yīng)半導(dǎo)體多樣化需求。

3顆粒度測(cè)試能力

? 超精密光學(xué)系統(tǒng)：精準(zhǔn)識(shí)別0.1微米以上顆粒。

? 高效穩(wěn)定：確保生產(chǎn)線上每次檢測(cè)結(jié)果一致。

4定制化服務(wù)

● 提供針對(duì)超純氣體管道、超純?cè)噭┑牟蓸优c檢測(cè)方案，如氣袋法和吸收液法。

● 確保檢測(cè)方案與晶圓廠具體需求無(wú)縫銜接。

5快速響應(yīng)機(jī)制

● 實(shí)驗(yàn)室保證快速響應(yīng)客戶需求，縮短檢測(cè)周期，為生產(chǎn)過(guò)程保駕護(hù)航。

三總結(jié)

CA實(shí)驗(yàn)室以其領(lǐng)先的痕量金屬檢測(cè)技術(shù)，為半導(dǎo)體行業(yè)提供從超純?cè)噭┑匠儦怏w的全方位解決方案。通過(guò)定制化服務(wù)、高效檢測(cè)和快速響應(yīng)，CA實(shí)驗(yàn)室不僅幫助客戶提高產(chǎn)品良率，更推動(dòng)了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的品質(zhì)升級(jí)。我們期待與更多行業(yè)伙伴攜手，共同邁向更高水平的技術(shù)發(fā)展。

季豐電子

季豐電子成立于2008年，是一家聚焦半導(dǎo)體領(lǐng)域，深耕集成電路檢測(cè)相關(guān)的軟硬件研發(fā)及技術(shù)服務(wù)的賦能型平臺(tái)科技公司。公司業(yè)務(wù)分為四大板塊，分別為基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)室、軟硬件開發(fā)、測(cè)試封裝和儀器設(shè)備，可為芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、封裝測(cè)試、材料裝備等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈和新能源領(lǐng)域公司提供一站式的檢測(cè)分析解決方案。

季豐電子通過(guò)國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”、國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、上海市“科技小巨人”、上海市企業(yè)技術(shù)中心、研發(fā)機(jī)構(gòu)、公共服務(wù)平臺(tái)等企業(yè)資質(zhì)認(rèn)定，通過(guò)了ISO9001、 ISO/IEC17025、CMA、CNAS、IATF16949、ISO/IEC27001、ISO14001、ANSI/ESD S20.20等認(rèn)證。公司員工近1000人，總部位于上海，在浙江、北京、深圳、成都等地設(shè)有子公司。