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半導體配電工程母線弧光保護方案

acrelwwd ? 來源:acrelwwd ? 作者:acrelwwd ? 2025-01-02 16:02 ? 次閱讀
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半導體電工程為什么能用到弧光保護?

1.快速切除故障

半導體生產(chǎn)設(shè)備對供電連續(xù)性和穩(wěn)定性要求極高。例如在芯片制造的光刻工序中,突然斷電可能導致正在加工的芯片報廢?;」獗Wo系統(tǒng)能在弧光故障發(fā)生的瞬間(通常在幾毫秒內(nèi))快速檢測并切除故障,減少停電范圍,降低對生產(chǎn)的影響。

2.保護人員安全

半導體生產(chǎn)環(huán)境中存在大量的電氣設(shè)備和復(fù)雜的電路?;」夤收习l(fā)生時,會瞬間釋放出巨大的能量,產(chǎn)生強光、高溫和強烈的沖擊波。弧光保護可以及時切斷電源,防止人員被弧光傷害。

3.減少設(shè)備損壞

半導體制造設(shè)備昂貴且精密?;」猱a(chǎn)生的高溫和強大的電磁力可能損壞設(shè)備的電氣元件和機械結(jié)構(gòu)?;」獗Wo能夠有效避免故障電弧對半導體生產(chǎn)設(shè)備造成進一步損壞。

什么是弧光:

1、空氣被電離時,溫度隨之急劇上升產(chǎn)生電弧,這種放電稱之為電弧光放電

2、電流增大,光強增大

3、主要集中在200-400nm的紫外區(qū)、部分紫光。

弧光產(chǎn)生的原因:

1、設(shè)備元件老化、絕緣損壞

2、過電壓

3、人為失誤

4、污染、腐蝕

5、柜體結(jié)構(gòu)不合理、維護不到位

弧光保護的意義:

1、在燃弧初期快速斷開故障點

2、使得快速恢復(fù)供電成為可能

3、延長一次設(shè)備的使用壽命

4、避免人員傷亡

5、可以實現(xiàn)中低壓母線保護功能

6、有效補充中低壓系統(tǒng)母線保護缺陷

(母差保護接線復(fù)雜、對CT要求高,安裝于中低壓母線上較為困難,且保護范圍受CT安裝位置限制)

弧光保護與傳統(tǒng)母線保護方案的比較:

環(huán)流原理的高阻抗母線保護

方案特點:是專用的母線保護方案,保護動作時間一般為35 ~ 60 ms。

方案缺點:接線復(fù)雜、對CT 要求高,安裝在中低壓開關(guān)柜有很多困難,也不經(jīng)濟;

由于其保護范圍受到CT 安裝位置的限制,不能保護發(fā)生故障幾率較高的電纜接頭處的故障;

不能提供故障定位,實用性差。

弧光保護

方案特點:用于保護中低壓開關(guān)柜(母線室、手車室、電纜室):

方案優(yōu)點:動作時間快,相比于傳統(tǒng)的保護系統(tǒng)更具優(yōu)越性;

采用弧光和電流過流雙重判據(jù),增加了可靠性和安全性;

能對故障點準確地定位,可減少維修人員查找故障點的時間,大大減短了維修時間,從而保障事故檢修之后快速恢復(fù)供電。

弧光保護原理:

弧光保護裝置通過檢測母線室弧光、進線電流(母聯(lián)柜電流)判據(jù)啟動。

弧光保護裝置產(chǎn)品

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性能特點:

每臺裝置可選采集6/12/18/24/30路探頭

弧光探頭通過塑料光纖直接傳輸光信號至弧光保護裝置

單判據(jù)動作時間3.8ms,雙判據(jù)動作時間7.8ms

高可靠性,通過國家權(quán)威檢測機構(gòu)認證

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弧光探頭:檢測范圍:角度≥180°半徑≥0.5m

感光類型:可見光/紫外光

功能特點:自帶濾光功能,無源型弧光傳感器探頭及光纖鏈路實時自檢,弧光光纖:雙股、阻燃不含金屬件,沒有電氣安全隱患

說明書(分ARB6和ARB4兩種):

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安裝實例

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wKgZPGd2SA-AbTEuAAEURYHsqIs76.jpeg

產(chǎn)品資質(zhì)

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審核編輯 黃宇

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