射頻電源，是可以產(chǎn)生固定頻率的正弦波，具有一定頻率的高頻電源，主要由射頻信號(hào)源、射頻功率放大器及阻抗匹配器組成。目前射頻電源被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備、LED與太陽(yáng)能光伏行業(yè)、科學(xué)研究、射頻感應(yīng)加熱、無(wú)線通信、醫(yī)療美容及常壓等離子體消毒清洗等領(lǐng)域。

匹配器，射頻自動(dòng)匹配器主要用于將等離子體腔體的阻抗匹配成便于射頻電源輸出最大功率的阻抗,減小輸入信號(hào)的反射損耗。

射頻電源的基本組成，包括信號(hào)發(fā)生部分、功率放大部分、阻抗匹配部分、信號(hào)檢測(cè)部分和控制部分等。

信號(hào)發(fā)生，包括直流供電電源模塊+振蕩電路模塊，作用為供電和發(fā)出信號(hào)源。

功率放大，是射頻電源的核心部件其作用是將低頻電源的電能轉(zhuǎn)換為高頻電能。

阻抗匹配，則用于調(diào)節(jié)輸出阻抗，使其與負(fù)載阻抗相匹配，從而提高輸出功率和效率。

信號(hào)檢測(cè)，用于檢測(cè)射頻電源負(fù)載的電壓電流信號(hào)，并傳輸給控制電路。

控制電路，用于控制功率放大器的工作狀態(tài)，保證其定可靠地工作。

6KW射頻電源

射頻電源是等離子體設(shè)備的能量驅(qū)動(dòng)源，主要應(yīng)用于射頻濺射、等離子體化學(xué)氣相沉積(PECVD) 、等離子體鍍膜、清洗、刻蝕等制造行業(yè)。由射頻信號(hào)發(fā)生器、功率放大器、VI 檢測(cè)單元以及核心處理器等部分組成。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

先進(jìn)高效率、高穩(wěn)定性射頻功放技術(shù)

全數(shù)字控制，高穩(wěn)定度和高可靠性

輸出功率余量大，可長(zhǎng)期穩(wěn)定工作

具有精確的測(cè)量功能，包括輸出功率、反射功率和負(fù)載阻抗

具有自動(dòng)增益控制功能，能精確的控制輸出功率

支持本地控制、IO控制和遠(yuǎn)程控制，遠(yuǎn)程控制采用RS485和RJ45網(wǎng)口

采用先進(jìn)的功放技術(shù)，輸出功率可從最小輸出功率至最大額定輸出功率連續(xù)可調(diào)

德芯科技射頻電源具有高精度、高可靠，偏壓監(jiān)測(cè)，帶滅弧功能等

完善的保護(hù)功能：過(guò)荷、過(guò)流、過(guò)溫等保護(hù)

輸出頻率：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz(可選）

輸出功率：300W、600W、1KW、1.5KW、3KW、6KW、12KW、20KW(可選，可定制）

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射頻電源-射頻電源系列-微波能量應(yīng)用領(lǐng)域-德芯科技

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審核編輯 黃宇