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石墨烯成為新一代半導(dǎo)體的理想材料

DT半導(dǎo)體 ? 來源:DT半導(dǎo)體 ? 2025-03-08 10:53 ? 次閱讀
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【DT半導(dǎo)體】獲悉,隨著人工智能AI)技術(shù)的進步,對半導(dǎo)體性能的提升需求不斷增長,同時人們對降低半導(dǎo)體器件功耗的研究也日趨活躍,替代傳統(tǒng)硅的新型半導(dǎo)體材料備受關(guān)注。石墨烯、過渡金屬二硫化物(TMD)等二維材料因結(jié)構(gòu)薄、電學(xué)性能優(yōu)異成為新一代半導(dǎo)體的理想材料,但目前還缺乏高質(zhì)量合成和工業(yè)應(yīng)用的量產(chǎn)技術(shù)。

化學(xué)氣相沉積法(CVD)存在諸如電性能下降以及需要將生長的TMD轉(zhuǎn)移到不同襯底等問題,增加了工藝的復(fù)雜性。此外,在高度結(jié)晶的襯底上生長TMD的“外延”方法也需要轉(zhuǎn)移過程,并且僅限于特定襯底。因此,基于高質(zhì)量TMD 的先進3D集成技術(shù)的開發(fā)已成為現(xiàn)代半導(dǎo)體工業(yè)面臨的關(guān)鍵挑戰(zhàn),進一步強調(diào)了對新型TMD合成方法的迫切需求。

為了解決這個問題,首爾大學(xué)聯(lián)合三星電子開發(fā)了一種全新的生長方法:利用二維材料(例如石墨烯和六方氮化硼)作為模板,引導(dǎo)TMD晶體排列,從而能夠在任何襯底上合成完美的單晶TMD薄膜。研究人員為這種方法起名為“Hypotaxy”。

Hypotaxy 技術(shù)的提出,為石墨烯半導(dǎo)體的發(fā)展提供了一條全新的路線。該方法利用石墨烯作為模板,引導(dǎo) TMDs 在其下方有序排列并形成高質(zhì)量的單晶薄膜。這一過程不僅可以在各種基板上直接生長高質(zhì)量的石墨烯-TMDs 復(fù)合結(jié)構(gòu),還能避免傳統(tǒng)CVD方法所需的材料轉(zhuǎn)移步驟,從而提高制造工藝的簡便性和器件的均勻性。此外,由于Hypotaxy 過程可在400°C的低溫環(huán)境下進行,能夠與現(xiàn)有的半導(dǎo)體制造工藝兼容,滿足集成電路制造的要求。 Hypotaxy 技術(shù)結(jié)合了石墨烯和TMDs的優(yōu)勢,實現(xiàn)了高遷移率、高穩(wěn)定性和低功耗的半導(dǎo)體材料體系。在這一體系中,石墨烯不僅充當(dāng)了生長模板,還能有效提升TMDs的電子輸運特性。通過在石墨烯上預(yù)先設(shè)計納米孔結(jié)構(gòu),可以精確控制 TMDs 的生長區(qū)域,從而形成具有特定帶隙和電子特性的納米器件。

石墨烯在晶體管中的應(yīng)用

石墨烯在晶體管領(lǐng)域的應(yīng)用主要集中在高頻電子器件和低功耗邏輯電路中。由于其極高的載流子遷移率,石墨烯場效應(yīng)晶體管(GFET)在高頻電子學(xué)中具有廣泛的應(yīng)用前景。例如,GFET 已在太赫茲(THz)探測器射頻放大器和高速光電探測器中取得了重要突破。此外,隨著異質(zhì)集成技術(shù)的發(fā)展,石墨烯與氮化鎵(GaN)、碳化硅(SiC)等寬禁帶半導(dǎo)體結(jié)合的研究也備受關(guān)注,旨在提高高功率電子器件的性能。 在低功耗邏輯電路中,石墨烯的零帶隙問題使其難以直接替代硅。然而,通過構(gòu)建雙層石墨烯并施加垂直電場,研究人員可以在不犧牲電子遷移率的情況下打開石墨烯的帶隙,從而實現(xiàn)高效的場效應(yīng)晶體管(FET)。此外,利用石墨烯的高導(dǎo)熱性,未來的芯片可以采用石墨烯互連材料,以減少電子器件的熱效應(yīng),提高整體計算性能。

石墨烯在光電子器件中的應(yīng)用

光電子領(lǐng)域是石墨烯半導(dǎo)體最具潛力的應(yīng)用方向之一。由于石墨烯的超寬帶光吸收特性(涵蓋從紫外到遠(yuǎn)紅外的整個光譜范圍)和超快光響應(yīng)速度,基于石墨烯的光電探測器、激光器和太陽能電池已成為研究熱點。

在光電探測器領(lǐng)域,石墨烯-硅異質(zhì)結(jié)探測器能夠在傳統(tǒng)硅光子技術(shù)的基礎(chǔ)上顯著提高響應(yīng)速度和光電轉(zhuǎn)換效率。相比于傳統(tǒng)硅光探測器,石墨烯光探測器能夠在更廣泛的光譜范圍內(nèi)工作,并具有更快的響應(yīng)時間。因此,石墨烯在高速光通信、量子光學(xué)和生物成像領(lǐng)域的應(yīng)用潛力巨大。

此外,石墨烯在光伏領(lǐng)域的應(yīng)用也在不斷拓展。研究表明,石墨烯可以作為透明電極材料,用于提高鈣鈦礦太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。與傳統(tǒng)的氧化銦錫(ITO)相比,石墨烯具有更高的化學(xué)穩(wěn)定性和機械柔性,使其成為下一代柔性光伏電池的理想選擇。

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原文標(biāo)題:石墨烯,新一代半導(dǎo)體的理想材料

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