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星納微(天津)精密科技有限公司成立于天津，公司致力于精密儀器設(shè)備制造，注重科技創(chuàng)新。作為國內(nèi)領(lǐng)先的的3D量測(cè)設(shè)備及高精度的氣浮平臺(tái)供應(yīng)商，我們?yōu)楦餍袠I(yè)的用戶提供完善的系統(tǒng)解決方案。公司的產(chǎn)品包括：控制軟件、驅(qū)動(dòng)器、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，納米級(jí)定位平臺(tái)，精密氣浮平臺(tái)，3D自動(dòng)量測(cè)機(jī)，3D輪廓儀，激光掃描振鏡等一系列精密儀器設(shè)備及解決方案。公司的產(chǎn)品及方案廣泛地應(yīng)用于各個(gè)行業(yè)：醫(yī)療器械、生命科學(xué)、半導(dǎo)體和集成電路、激光加工、光電、自動(dòng)化、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、航天航空、電子制造和測(cè)試、高?？蒲械扔懈呔雀叻€(wěn)定性要求的眾多行業(yè)。

產(chǎn)品概述：
對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行三維形貌測(cè)量，集合了相位差干涉，白光干涉，共聚焦，多焦面疊加的四合一的技術(shù)，可以做面型測(cè)量，共面度檢測(cè)，研磨后的粗糙度檢測(cè)，顆粒度檢測(cè)，結(jié)構(gòu)測(cè)量，孔深孔徑，真圓度，膜厚測(cè)量，RDL線路量測(cè)，鐳切槽檢測(cè)，線寬，線距，去干膜前銅厚，SOLDER MASK開口尺寸，銅面粗糙度等眾多三維量測(cè)項(xiàng)目。
3D自動(dòng)量測(cè)機(jī)主要是對(duì)晶圓、PCB板等產(chǎn)品進(jìn)行的三維形貌測(cè)量。設(shè)備可高精度、快速、自動(dòng)化進(jìn)行PCB產(chǎn)品表面3D形貌測(cè)量。

性能指標(biāo)：

1).高精度（0.1nm高度分辨率）
2).超快速（2S/FOV）
3).多功能（共聚焦/干涉/多焦面）
4).多點(diǎn)編程量測(cè)
5).自動(dòng)化（自動(dòng)掃描、自動(dòng)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)、自動(dòng)數(shù)據(jù)上傳）
6).條碼讀取調(diào)用模板
7).CCD影像定位（漲縮、擺放偏移校正）
8).SECS/GEM