在半導(dǎo)體制造向納米級精度持續(xù)突破的進(jìn)程中，精密傳感器已成為設(shè)備性能的“神經(jīng)末梢”。

作為工業(yè)傳感領(lǐng)域的代表品牌，明治的傳感器憑借在極端工況下的穩(wěn)定性與測量精度，深度嵌入半導(dǎo)體三大核心設(shè)備——晶圓化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備（CMP）、量測設(shè)備與減薄機(jī)的關(guān)鍵工位，為芯片良率與生產(chǎn)效率提供底層支撐。

從納米級的精度控制，到全流程的質(zhì)量守護(hù)，本文將通過15大經(jīng)典應(yīng)用場景，揭示明治傳感器如何以“感知之力”賦能半導(dǎo)體制造的智能精密制造

機(jī)械拋光設(shè)備（CMP）

拋光液和冷卻液流量監(jiān)測

流量計(jì) FLV10系列

應(yīng)用場景：

固定安裝在液體管道上，檢測去離子水和漿料混合物可靠、一致性混合用于晶圓表面拋光?；虮O(jiān)測冷卻液的流量，保證設(shè)備的冷卻效果

解決方案：

1、選用明治流量計(jì)FLV系列，內(nèi)置進(jìn)口測量芯片，四行IPS LCD顯示屏實(shí)時(shí)顯示

2、幾乎滿足不同的單一潔凈液體測量，兼容性更廣3、內(nèi)置磁鋼硬件設(shè)計(jì)，自動(dòng)卡合輕松安裝

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拋光墊/晶圓表面溫度監(jiān)測

溫度傳感器 TTS-70500

應(yīng)用場景：

需要傳感器非接觸式監(jiān)測拋光墊和晶圓表面溫度，防止局部過熱導(dǎo)致材料損傷。溫度數(shù)據(jù)可用于優(yōu)化化學(xué)反應(yīng)速率和機(jī)械摩擦的協(xié)同作用

解決方案：

1、選用明治溫度傳感器TTS系列，非接觸式紅外測溫

2、測量范圍大，該系列最高可測800℃，重復(fù)精度高，測量值±1%

3、模擬電流、電壓可供選擇；可實(shí)時(shí)輸出數(shù)據(jù)，防止數(shù)值判斷延遲

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拋光布上殘留碎片/表面異常檢測

視覺檢測 ME-600V

應(yīng)用場景：

為確保合模平行度，防止飛邊，需實(shí)時(shí)監(jiān)控模版位移，精度要求高，與不同產(chǎn)品工藝要求有關(guān)

解決方案：

1、采用明治激光位移傳感器MLD25系列，通過激光三角測量法實(shí)現(xiàn)高精度的距離檢測

2、重復(fù)精度最高可達(dá)10um(30mm量程)，線性度可達(dá)±0.1% F.S

3、多種通訊方式，RS-485或者模擬量實(shí)時(shí)傳輸

晶圓拋光壓力監(jiān)測

數(shù)顯型壓力表 MQ-02DNV

應(yīng)用場景：

需要在CMP工藝設(shè)備中進(jìn)行壓力控制監(jiān)測，防止壓力過高或太低，導(dǎo)致?lián)p壞半導(dǎo)體材料或?qū)е卤砻娌黄秸?/p>

解決方案：

1、明治數(shù)顯型氣壓表MQ系列，有高壓型、低壓型可供選擇，這里選擇低壓型，開關(guān)響應(yīng)速度最快 1ms

2、標(biāo)準(zhǔn)的 MODBUS 協(xié)議，支持遠(yuǎn)程讀數(shù)和設(shè)置操作實(shí)時(shí)監(jiān)控

3、開關(guān)量、模擬量和 485 通訊可選

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減薄機(jī)

研磨工位

光柵尺系統(tǒng) LEH80系列+LED80系列

應(yīng)用場景：

要求研磨過程中實(shí)時(shí)給出厚度信息。并要求精度分辨率達(dá)到0.5um；客戶現(xiàn)場研磨水分比較大，需要高防護(hù)等級的產(chǎn)品

解決方案：

1、選用明治高精度光柵尺測量系統(tǒng)，可到達(dá)0.2um分辨率超高精度;

2、每隔80um給一次信號，可實(shí)時(shí)監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)

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收料工位

光纖傳感器PT-C32TZ+PE1-N

應(yīng)用場景：

需要傳感器檢測每層物料的收料到位，上下隔層空間有限，只能安裝尺寸比較小的傳感器。

解決方案：

1、選用光纖傳感器檢測方案，對射型光纖PT-C32TZ檢測晶圓等物料的收料到位，檢測效果穩(wěn)定且可以90°安裝，可最大限度節(jié)省安裝空間

2、搭配光纖放大器PE1系列，通過靈敏的光量數(shù)據(jù)變化，精準(zhǔn)感應(yīng)物料到位

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區(qū)域防護(hù)

安全光幕SAF10-T3203PC

應(yīng)用場景：

安裝在要求機(jī)械手搬運(yùn)過程中，避免操作人員誤入到工作范圍內(nèi)造成傷害。

解決方案：

1、選用明治TUV四級安全光幕，40米超遠(yuǎn)保護(hù)距離，檢測精度高，多光軸間距可選

2、配備雙路獨(dú)立OSSD輸出，單獨(dú)驅(qū)動(dòng)下端安全繼電器等，雙路輸出互不干擾，安全性能高穩(wěn)定可靠

3、自檢功能完善，產(chǎn)品規(guī)格多，適用范圍廣

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量測設(shè)備

晶圓厚度與翹曲度測量

光譜共焦傳感器 ADV-12CK2+ACC-016L

應(yīng)用場景：

需要對晶圓進(jìn)行高精度測量厚度以及翹曲度；要求厚度均勻性達(dá)(±1ym)，整體翹曲度(Warp≤50ym)

解決方案：

1、選用明治光譜共焦ADV-12CK2；雙通道控制器，無需換算可直接測量出厚度

2、ACC-016L測頭，0.05um超高分辨率

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晶圓ID二維碼讀取

智能讀碼器RCD-AI100-X16RD

掃碼器讀取晶圓ID二維碼，綁定工藝參數(shù)；要求讀碼器可穩(wěn)定讀取高反光的物料、安裝距離200mm，適應(yīng)晶圓表面高反光環(huán)境

解決方案：

1、選用智能讀碼器RCD-AI100-X16RD，綁定工藝參數(shù)，偏振鏡可不用擔(dān)心晶圓表面高反光環(huán)境影響成像效果

2、100-1000mm的讀碼范圍，使用范圍廣

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從CMP的納米級平坦化到減薄機(jī)的超精密雕琢，從光柵尺的“微米級定位”到光譜共焦的“亞微米級測量”，明治傳感器正以創(chuàng)新技術(shù)推動(dòng)行業(yè)向更精密、更智能的未來邁進(jìn)，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)攀登更精微的技術(shù)巔峰。