Silicon Microstructures, Inc.（SMI）推出了SM933X系列超低MEMS壓力傳感器系統(tǒng)。這款完全溫度補(bǔ)償和壓力校準(zhǔn)的系列壓力傳感器，壓力范圍低至125 Pa（0.50 inH2O），能夠?yàn)镠VAC（暖通空調(diào)）、工業(yè)和醫(yī)療應(yīng)用提供精準(zhǔn)的壓力傳感。SMI通過(guò)將其獨(dú)有的MEMS壓力換能器和最先進(jìn)的信號(hào)調(diào)理IC整合在一個(gè)封裝中，實(shí)現(xiàn)了行業(yè)領(lǐng)先的輸出精度（1%FS）和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

SMI差壓傳感器在醫(yī)療領(lǐng)域的應(yīng)用

該系列差壓傳感器系統(tǒng)提供兩種配置：壓力范圍為+/- 125 Pa（0.50 inH2O）的SM9333，以及壓力范圍為+/- 250 Pa（1 inH2O）的SM9336。其16位分辨率能夠解析低至0.0038 Pa的信號(hào)。此外，其卓越的預(yù)熱性能和長(zhǎng)期穩(wěn)定性，進(jìn)一步確保了使用壽命內(nèi)的預(yù)期性能。

SMI新款SM933X系列超低MEMS壓力傳感器的性能優(yōu)勢(shì)SM933X系統(tǒng)供電電壓范圍為3.0~5.5 V，憑借其低電流消耗和睡眠模式，非常適合低功耗應(yīng)用。其ASIC架構(gòu)和更高階的濾噪功能，提供了低噪聲和極低的EMI敏感度。采用具有雙垂直端口的小型SO16封裝，使其便于系統(tǒng)集成和壓力連接，此外，其MEMS傳感器本身爆裂壓力高，堅(jiān)固耐用，幾乎沒(méi)有安裝或振動(dòng)敏感度。主要應(yīng)用：HVAC、CPAP以及壓力變送器SM933X系列傳感器是流量傳感應(yīng)用的最佳解決方案，無(wú)論管道長(zhǎng)度如何，均可提供卓越的高性能表現(xiàn)，且不受氣流中的顆粒物影響。它非常適于作為HVAC傳感器，確定可變風(fēng)量（VAV）中的空氣流量，以及檢測(cè)過(guò)濾器的清潔度（例如空氣處理單元AHU中的過(guò)濾器）。在醫(yī)療應(yīng)用市場(chǎng)，超低壓力傳感器常用于CPAP（持續(xù)正壓通氣，呼吸機(jī)）流量傳感。SM933X系列傳感器憑借對(duì)安裝方向不敏感，以及高分辨率和低噪聲性能，使其更易于在CPAP流量傳感器中集成和使用。

此外，SM933X系列傳感器改進(jìn)了工業(yè)應(yīng)用中的壓力測(cè)量，利用一個(gè)小型封裝中的單個(gè)傳感器系統(tǒng)，替代了昂貴、笨重的多組件設(shè)備，并提供了長(zhǎng)期的穩(wěn)定性。其主要應(yīng)用包括壓力變送器和壓力開(kāi)關(guān)?！癝MI從90年代中期開(kāi)始一直處于MEMS低壓傳感器領(lǐng)域的領(lǐng)先位置，憑借SM933X系列的推出，該公司希望在該領(lǐng)域繼續(xù)領(lǐng)先下一個(gè)十年，”SMI總裁兼首席執(zhí)行官Omar Abed說(shuō)，“我們收到了來(lái)自主要客戶的非常積極的反饋，我們相信這一新產(chǎn)品系列的推出，將為2 inH2O以下超低壓力傳感器樹(shù)立新的標(biāo)桿，并在醫(yī)療和工業(yè)領(lǐng)域的流量和超低壓應(yīng)用中引入新一波創(chuàng)新浪潮。

”關(guān)于Silicon MicrostructuresSilicon Microstructures是Elmos全球半導(dǎo)體集團(tuán)的成員企業(yè)，該公司基于特定應(yīng)用的IC、傳感器和完整的微系統(tǒng)，為各行各業(yè)提供經(jīng)過(guò)市場(chǎng)驗(yàn)證的解決方案。Silicon Microstructures通過(guò)了ISO相關(guān)認(rèn)證，是一家MEMS壓力傳感器主要開(kāi)發(fā)商和制造商，服務(wù)各類(lèi)市場(chǎng)超過(guò)25年。Silicon Microstructures的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和質(zhì)量控制流程，使其能夠開(kāi)發(fā)當(dāng)今市場(chǎng)上最靈敏、最小的MEMS壓力傳感器。